Sic कोटिंग एएलडी संवेदनशील

हे सेमीकंडक्टरSic कोटिंग एएलडी संवेदनशीलअणु थर जमा करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते (एएलडी) प्रक्रिया. त्याचे अचूक तापमान नियंत्रण, एकसमान गॅस वितरण, उच्च रासायनिक प्रतिरोध आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता चित्रपटाच्या जमा प्रक्रियेची एकरूपता आणि उच्च गुणवत्तेची सुनिश्चित करते. आपण अधिक जाणून घेऊ इच्छित असल्यास, आपण त्वरित आमच्याशी सल्लामसलत करू शकता आणि आम्ही आपल्याला वेळेत उत्तर देऊ!

अचूक तापमान नियंत्रण:

एसआयसी कोटिंग एएलडी सासेप्टरमध्ये सहसा उच्च-परिशुद्धता तापमान नियंत्रण प्रणाली असते. हे संपूर्ण ठेव प्रक्रियेदरम्यान एकसमान तापमान वातावरण राखण्यास सक्षम आहे, जे चित्रपटाची एकरूपता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

एकसमान गॅस वितरण:

एसआयसी कोटिंग एएलडी सिसेप्टरची ऑप्टिमाइझ केलेली रचना एएलडी जमा प्रक्रियेदरम्यान गॅसचे एकसमान वितरण सुनिश्चित करते. त्याच्या संरचनेमध्ये सामान्यत: संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावरील प्रतिक्रियात्मक वायूंच्या एकसमान कव्हरेजला प्रोत्साहन देण्यासाठी एकाधिक फिरणारे किंवा हलविणारे भाग समाविष्ट असतात.

उच्च रासायनिक प्रतिकार:

एएलडी प्रक्रियेमध्ये विविध प्रकारच्या रासायनिक वायूंचा समावेश असल्याने, रासायनिक वायूंच्या धूप आणि उच्च तापमान वातावरणाच्या प्रभावाचा प्रतिकार करण्यासाठी एसआयसी कोटिंग एएलडी संवेदनाक्षम सामान्यत: गंज-प्रतिरोधक सामग्री (जसे की प्लॅटिनम, सिरेमिक्स किंवा उच्च-शुद्धता क्वार्ट्ज) पासून बनविली जाते.

उत्कृष्ट थर्मल चालकता:

उष्णता प्रभावीपणे आयोजित करण्यासाठी आणि स्थिर ठेवण्याचे तापमान राखण्यासाठी, एसआयसी कोटिंग एएलडी संवेदनशील सामान्यत: उच्च थर्मल चालकता सामग्री वापरतात. हे स्थानिक ओव्हरहाटिंग आणि असमान साठा टाळण्यास मदत करते.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

उत्पादन दुकाने:

सेमीकंडक्टर चिप एपिटॅक्सी इंडस्ट्री चेनचे विहंगावलोकन：