उभ्या फर्नेस एसआयसी लेपित रिंग

उभ्या भट्टीमध्ये, एसआयसी लेपित रिंग्जचा वापर एक सामान्य उपाय आहे, मुख्यत: उच्च-तापमान उष्णता उपचार प्रक्रियेमध्ये वापरला जातोअर्धसंवाहक वेफर्स. उभ्या फर्नेस SiC कोटेड रिंग हे उच्च-कार्यक्षमता, उच्च-तापमान प्रतिरोधक घटक आहेत जे प्रक्रियेची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी किंवा संरक्षित करण्यासाठी वापरले जातात.

वर्टिकल फर्नेस SiC कोटेड रिंगची कार्ये

● कार्ये

सहाय्यक भूमिका. उच्च-तापमान भट्टीमध्ये त्यांची स्थिरता आणि अचूक स्थिती सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर्सला समर्थन देण्यासाठी वापरले जाते.

●  गंज संरक्षण

संक्षारक वायू किंवा रसायनांना बेस मटेरियल गंजण्यापासून प्रतिबंधित करा.

●  प्रदूषण कमी करा

उच्च-शुद्धता एसआयसी कोटिंग प्रक्रियेची स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी कण शेडिंग आणि अशुद्धता दूषिततेस प्रभावीपणे प्रतिबंधित करू शकते.

●  उच्च तापमान प्रतिकार

उच्च तापमान वातावरणात (सामान्यत: 1000°C पेक्षा जास्त) उत्कृष्ट यांत्रिक गुणधर्म आणि मितीय स्थिरता राखा.

अनुलंब फर्नेस sic कोटेड रिंगची वैशिष्ट्ये

●  उच्च कडकपणा आणि सामर्थ्य

SiC सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य असते आणि ते भट्टीत उच्च तापमानाचा ताण सहन करू शकतात.

●  चांगली थर्मल स्थिरता

एसआयसीची उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक थर्मल ताण कमी करण्यास मदत करते.

●  मजबूत रासायनिक स्थिरता

एसआयसी कोटिंग्ज ऑक्सिडायझिंग, acid सिडिक किंवा अल्कधर्मी वातावरणात गंज प्रतिकार करू शकतात.

●  कमी कण दूषित होणे

गुळगुळीत पृष्ठभाग कण निर्मितीची शक्यता कमी करते, जे सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या अल्ट्रा-स्वच्छ वातावरणासाठी विशेषतः योग्य आहे.

सिलिकॉन वेफर्सना समर्थन देण्यासाठी आणि उष्णतेच्या उपचारादरम्यान कण दूषित होण्यास प्रतिबंध करण्यासाठी अनुलंब भट्टीमधील प्रसार, ऑक्सिडेशन, ne नीलिंग आणि इतर प्रक्रियेसाठी वापरले जाते.

उत्पादन साहित्य आणि प्रक्रिया

● सब्सट्रेट: उच्च-गुणवत्तेच्या एसजीएल ग्रेफाइटपासून बनविलेले, गुणवत्तेची हमी दिली जाते.

●  कोटिंग: सिलिकॉन कार्बाइड लेप ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर रासायनिक वाष्प संचय (CVD) द्वारे लागू केले जाते.

●  कोटिंगची जाडी सहसा 50~500μm च्या दरम्यान असते, जी वापराच्या आवश्यकतांनुसार समायोजित केली जाते.

Chmal रासायनिक वाष्प जमा एसआयसी कोटिंगमध्ये उच्च शुद्धता आणि घनता आणि चांगली टिकाऊपणा आहे.

योग्य निवडाSic कोटिंगभट्टीतील सिलिकॉन वेफरच्या व्यास आणि वाहक वैशिष्ट्यांनुसार रिंग करा. आम्ही ते तुमच्यासाठी सानुकूलित करू शकतो. उच्च शुद्धता, दाट कोटिंग अधिक टिकाऊ आणि कमी प्रदूषणकारी आहे. कोटिंग वृद्धत्वामुळे दूषित किंवा समर्थन अपयश टाळण्यासाठी वापराच्या वारंवारतेनुसार आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार नियमितपणे बदला.

चीनमधील एक व्यावसायिक उभ्या भट्टी एसआयसी कोटेड रिंग पुरवठादार आणि निर्माता म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत उभ्या भट्टी तंत्रज्ञान आणि उत्पादनांचे समाधान प्रदान करण्यासाठी दीर्घकाळ वचनबद्ध आहे. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.

सीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

VeTek सेमीकंडक्टरअनुलंब फर्नेस sic कोटेड रिंग शॉप्स: