उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक

VeTekSemi उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक हा एक महत्त्वाचा बेअरिंग घटक आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत ॲनिलिंग फर्नेस, डिफ्यूजन फर्नेस आणि इतर उपकरणांमध्ये वापरला जातो. उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक सहसा उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीपासून बनविलेले असते आणि त्यात प्रामुख्याने खालील भाग समाविष्ट असतात:

• बोट समर्थन शरीर: कंसांसारखी रचना, खास करून वापरण्यासाठी वापरली जातेसिलिकॉन वेफर्सकिंवा इतर अर्धसंवाहक सामग्री.

• समर्थन रचना: त्याची समर्थन रचना डिझाइन उच्च तापमानात भारी भार सहन करण्यास सक्षम करते आणि उच्च तापमानाच्या उपचारादरम्यान विकृत किंवा नुकसान करणार नाही.

सिलिकॉन कार्बाइड मटेरियल

च्या भौतिक गुणधर्मसिलिकॉन कार्बाइड रीक्रिस्टॉल：

जर उत्पादन प्रक्रियेची आवश्यकता जास्त असेल तर,CVD SiC कोटिंगशुद्धता 99.99995%पेक्षा जास्त पोहोचण्यासाठी उच्च शुद्धता एसआयसी वेफर बोट कॅरियरवर केले जाऊ शकते, ज्यामुळे त्याचे उच्च तापमान प्रतिकार सुधारेल.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म:

उच्च तापमान उपचारादरम्यान, उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफरला स्थानिक ओव्हरहाटिंग टाळण्यासाठी समान रीतीने गरम करण्यास सक्षम करते. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइड सामग्रीचा उच्च तापमान प्रतिरोधक 1200°C किंवा त्याहूनही अधिक तापमानात संरचनात्मक स्थिरता राखण्यास सक्षम करते.

प्रसार किंवा ne नीलिंग प्रक्रियेदरम्यान, कॅन्टिलिव्हर पॅडल आणि उच्च शुद्धता एसआयसी वेफर बोट कॅरियर एकत्र काम करतात. दकॅन्टिलिव्हर पॅडलसिलिकॉन वेफरला फर्नेस चेंबरमध्ये घेऊन जाणारे उच्च शुद्धता sic वेफर बोट कॅरियर हळूहळू ढकलते आणि प्रक्रियेसाठी नियुक्त केलेल्या स्थितीत थांबवते. 

उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक सिलिकॉन वेफरशी संपर्क राखते आणि उष्णता उपचार प्रक्रियेदरम्यान विशिष्ट स्थितीत निश्चित केले जाते, तर कॅन्टिलिव्हर पॅडल तापमान एकसमानता सुनिश्चित करताना संपूर्ण रचना योग्य स्थितीत ठेवण्यास मदत करते.

उच्च तापमान प्रक्रियेची अचूकता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट वाहक आणि कॅन्टीलिव्हर पॅडल एकत्रितपणे कार्य करतात.

VeTek सेमीकंडक्टर तुम्हाला तुमच्या गरजेनुसार सानुकूलित उच्च शुद्धता SiC वेफर बोट कॅरियर पुरवतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

हे सेमीकंडक्टरउच्च शुद्धता sic वेफर बोट कॅरियर शॉप्स: