सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड: एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथसाठी सामग्रीची एक नवीन पिढी

प्रवाहकीय SiC सब्सट्रेट्सच्या हळूहळू मोठ्या प्रमाणात उत्पादनासह, प्रक्रियेची स्थिरता आणि पुनरावृत्तीक्षमता यावर उच्च आवश्यकता ठेवल्या जातात. विशेषतः, फर्नेसमधील थर्मल फील्डमधील दोष, किंचित समायोजन किंवा ड्रिफ्ट्स नियंत्रित केल्याने क्रिस्टलमध्ये बदल किंवा दोष वाढतील.

नंतरच्या टप्प्यात, आम्हाला "वेगाने वाढत जाणे, दाट आणि अधिक" या आव्हानाचा सामना करावा लागतो. सिद्धांत आणि अभियांत्रिकीच्या सुधारणाव्यतिरिक्त, समर्थन म्हणून अधिक प्रगत थर्मल फील्ड मटेरियलची आवश्यकता आहे. प्रगत क्रिस्टल्स वाढविण्यासाठी प्रगत सामग्री वापरा.

थर्मल फील्डमध्ये क्रुसिबलमध्ये ग्रेफाइट, सच्छिद्र ग्रेफाइट आणि टँटलम कार्बाइड पावडर सारख्या सामग्रीचा अयोग्य वापर केल्याने कार्बनच्या वाढीव समावेशासारखे दोष निर्माण होतील. याव्यतिरिक्त, काही ऍप्लिकेशन्समध्ये, सच्छिद्र ग्रेफाइटची पारगम्यता पुरेशी नाही आणि पारगम्यता वाढविण्यासाठी अतिरिक्त छिद्रे उघडणे आवश्यक आहे. उच्च पारगम्यता असलेल्या सच्छिद्र ग्रेफाइटला प्रक्रिया करणे, पावडर नष्ट होणे आणि कोरीव काम यासारख्या आव्हानांचा सामना करावा लागतो.

अलीकडे, VeTek सेमीकंडक्टरने SiC क्रिस्टल ग्रोथ थर्मल फील्ड मटेरियलची नवीन पिढी लाँच केली,सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड, जगात प्रथमच.

टँटलम कार्बाइडची ताकद आणि कडकपणा जास्त आहे आणि ते सच्छिद्र बनवणे आणखी आव्हानात्मक आहे. मोठ्या सच्छिद्रता आणि उच्च शुद्धतेसह सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड बनवणे आणखी आव्हानात्मक आहे. VeTek सेमीकंडक्टरने मोठ्या सच्छिद्रतेसह एक यशस्वी सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड लॉन्च केले आहे,जास्तीत जास्त 75%पोर्सिटीसह, आंतरराष्ट्रीय आघाडीच्या पातळीवर पोहोचणे.

याव्यतिरिक्त, याचा उपयोग गॅस फेज घटक गाळण्याची प्रक्रिया किंवा पध्दतीसाठी केला जाऊ शकतो, स्थानिक तापमान ग्रेडियंट्स समायोजित करणे, साहित्य प्रवाहाचे मार्गदर्शन करणे, गळती नियंत्रित करणे इत्यादी; हे वेगवेगळ्या स्थानिक प्रवाह वाहकांसह घटक तयार करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टरच्या दुसर्‍या सॉलिड टँटलम कार्बाईड (दाट) किंवा टँटलम कार्बाइड कोटिंगसह एकत्र केले जाऊ शकते; काही घटकांचा पुन्हा वापर केला जाऊ शकतो.

तांत्रिक मापदंड

सच्छिद्रता ≤75% आंतरराष्ट्रीय अग्रगण्य

आकार: फ्लेक, दंडगोलाकार आंतरराष्ट्रीय अग्रगण्य

एकसमान सच्छिद्रता

वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड (टीएसी) मध्ये खालील उत्पादनांची वैशिष्ट्ये आहेत

●  बहुमुखी अनुप्रयोगांसाठी सच्छिद्रता

TaC ची सच्छिद्र रचना बहु-कार्यक्षमता प्रदान करते, विशेष परिस्थितींमध्ये त्याचा वापर सक्षम करते जसे की:

गॅस प्रसार: सेमीकंडक्टर प्रक्रियांमध्ये अचूक वायू प्रवाह नियंत्रण सुलभ करते.

गाळणे: उच्च-कार्यक्षमतेचे कण वेगळे करणे आवश्यक असलेल्या वातावरणासाठी आदर्श.

नियंत्रित उष्णता अपव्यय: उच्च-तापमान प्रणालींमध्ये उष्णता कार्यक्षमतेने व्यवस्थापित करते, एकूण थर्मल नियमन वाढवते.

●   अत्यंत उच्च-तापमान प्रतिकार

अंदाजे 3,880 डिग्री सेल्सियसच्या वितळण्याच्या बिंदूसह, टॅन्टलम कार्बाइड अल्ट्रा-हाय-लेमरेचर applications प्लिकेशन्समध्ये उत्कृष्ट आहे. हा अपवादात्मक उष्णता प्रतिकार बहुतेक सामग्री अयशस्वी झाल्यास अशा परिस्थितीत सुसंगत कामगिरी सुनिश्चित करते.

●   उत्कृष्ट कडकपणा आणि टिकाऊपणा

मोहस कडकपणा स्केलवर 9-10 क्रमांकावर, हिऱ्याप्रमाणेच, सच्छिद्र TaC अत्यंत तणावाखाली देखील यांत्रिक पोशाखांना अतुलनीय प्रतिकार दर्शवते. हे टिकाऊपणा अपघर्षक वातावरणाच्या संपर्कात असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी आदर्श बनवते.

● अपवादात्मक थर्मल स्थिरता

टँटलम कार्बाइड अत्यंत उष्णतेमध्ये त्याची संरचनात्मक अखंडता आणि कार्यप्रदर्शन टिकवून ठेवते. त्याची उल्लेखनीय थर्मल स्थिरता सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि एरोस्पेस सारख्या उच्च-तापमान सातत्य आवश्यक असलेल्या उद्योगांमध्ये विश्वसनीय ऑपरेशन सुनिश्चित करते.

●   उत्कृष्ट थर्मल चालकता

सच्छिद्र स्वभाव असूनही, सच्छिद्र टीएसी कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण राखते, अशा प्रणालींमध्ये त्याचा वापर सक्षम करते जेथे वेगवान उष्णता अपव्यय गंभीर आहे. हे वैशिष्ट्य उष्णता-केंद्रित प्रक्रियेत सामग्रीची लागूता वाढवते.

Main मितीय स्थिरतेसाठी कमी थर्मल विस्तार

कमी थर्मल विस्तार गुणांकासह, टँटलम कार्बाइड तापमानातील चढउतारांमुळे होणाऱ्या आयामी बदलांना प्रतिकार करते. ही मालमत्ता थर्मल ताण कमी करते, घटकांचे आयुष्य वाढवते आणि गंभीर प्रणालींमध्ये अचूकता राखते.

सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) खालील विशिष्ट मुख्य भूमिका बजावते

●  प्लाझ्मा एचिंग आणि CVD सारख्या उच्च-तापमान प्रक्रियांमध्ये, VeTek अर्धसंवाहक सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड बहुतेकदा प्रक्रिया उपकरणांसाठी संरक्षक आवरण म्हणून वापरले जाते. हे TaC कोटिंगच्या मजबूत गंज प्रतिकार आणि त्याच्या उच्च-तापमान स्थिरतेमुळे आहे. हे गुणधर्म हे सुनिश्चित करतात की ते प्रतिक्रियाशील वायू किंवा अति तापमानाच्या संपर्कात असलेल्या पृष्ठभागांचे प्रभावीपणे संरक्षण करते, ज्यामुळे उच्च-तापमान प्रक्रियेची सामान्य प्रतिक्रिया सुनिश्चित होते.

Fish डिफ्यूजन प्रक्रियेमध्ये, सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड उच्च-तापमान प्रक्रियेत सामग्रीचे मिश्रण रोखण्यासाठी एक प्रभावी प्रसार अडथळा म्हणून काम करू शकते. हे वैशिष्ट्य बर्‍याचदा आयन रोपण आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या शुद्धता नियंत्रणासारख्या प्रक्रियेत डोपंट्सच्या प्रसार नियंत्रित करण्यासाठी वापरले जाते.

● VeTek सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाइडची सच्छिद्र रचना सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वातावरणासाठी अतिशय योग्य आहे ज्यासाठी अचूक गॅस प्रवाह नियंत्रण किंवा गाळण्याची प्रक्रिया आवश्यक आहे. या प्रक्रियेत, सच्छिद्र TaC मुख्यत्वे गॅस फिल्टरेशन आणि वितरणाची भूमिका बजावते. त्याची रासायनिक जडत्व हे सुनिश्चित करते की गाळण्याची प्रक्रिया करताना कोणतेही दूषित पदार्थ ओळखले जात नाहीत. हे प्रभावीपणे प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनाच्या शुद्धतेची हमी देते.

भरपाई सेमीकंडक्टर बद्दल

चीनचे व्यावसायिक सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड निर्माता, पुरवठादार, फॅक्टरी म्हणून आमच्याकडे आमची स्वतःची कारखाना आहे. आपल्याला आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असेल किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड खरेदी करायचे असेल तर आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.

आपल्याकडे काही चौकशी असल्यास किंवा त्याबद्दल अतिरिक्त तपशीलांची आवश्यकता असल्याससच्छिद्र टँटलम कार्बाइड、टँटलम कार्बाइड लेपित सच्छिद्र ग्रेफाइटआणि इतरटँटलम कार्बाइड लेपित घटक, कृपया आमच्याशी संपर्क साधण्यास अजिबात संकोच करू नका.

☏☏☏Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

☏☏☏ईमेल: any@vetekesemi.com