सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड

वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (टीएसी) एक उच्च-कार्यक्षमता सिरेमिक सामग्री आहे जी टँटलम आणि कार्बनच्या गुणधर्मांना जोडते. उच्च तापमान आणि अत्यंत वातावरणात विशिष्ट अनुप्रयोगांसाठी त्याची सच्छिद्र रचना खूप योग्य आहे. टीएसी उत्कृष्ट कडकपणा, थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार एकत्र करते, जे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये एक आदर्श भौतिक निवड बनवते.

सच्छिद्र टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) टॅन्टलम (टीए) आणि कार्बन (सी) बनलेले आहे, ज्यामध्ये टॅन्टलम कार्बन अणूंसह मजबूत रासायनिक बंध तयार करते, ज्यामुळे सामग्री अत्यंत उच्च टिकाऊपणा आणि परिधान प्रतिरोध देते. सच्छिद्र टीएसीची सच्छिद्र रचना सामग्रीच्या उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान तयार केली जाते आणि विशिष्ट अनुप्रयोगांच्या गरजेनुसार पोर्सिटी नियंत्रित केली जाऊ शकते. हे उत्पादन सहसा तयार केले जातेरासायनिक वाष्प साठा (सीव्हीडी)पद्धत, त्याच्या छिद्र आकार आणि वितरणाचे अचूक नियंत्रण सुनिश्चित करणे.

टँटलम कार्बाईडची आण्विक रचना

वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड (टीएसी) मध्ये खालील उत्पादनांची वैशिष्ट्ये आहेत

● पोर्सिटी: सच्छिद्र रचना गॅस प्रसार, गाळण्याची प्रक्रिया किंवा पध्दती किंवा नियंत्रित उष्णता अपव्यय यासह विशिष्ट अनुप्रयोग परिस्थितींमध्ये भिन्न कार्ये देते.

● उच्च वितळण्याचा बिंदू: टॅन्टलम कार्बाईडचा सुमारे 3,880 डिग्री सेल्सियसचा अत्यंत उच्च वितळणारा बिंदू आहे, जो अत्यंत उच्च तापमान वातावरणासाठी योग्य आहे.

● उत्कृष्ट कठोरता: सच्छिद्र टीएसीमध्ये डायमंड प्रमाणेच एमओएचएस हार्डनेस स्केलमध्ये सुमारे 9-10 ची अत्यंत कठोरता आहे. , आणि अत्यंत परिस्थितीत यांत्रिक पोशाखांचा प्रतिकार करू शकतो.

● थर्मल स्थिरता: टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) सामग्री उच्च तापमान वातावरणात स्थिर राहू शकते आणि उच्च तापमान वातावरणात सुसंगत कामगिरी सुनिश्चित करते आणि थर्मल स्थिरता मजबूत आहे.

● उच्च थर्मल चालकता: पोर्सिटी असूनही, सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड अजूनही चांगली थर्मल चालकता कायम ठेवते, कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण सुनिश्चित करते.

● कमी थर्मल विस्तार गुणांक: टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) चे कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक लक्षणीय तापमानात चढ -उतारांनुसार सामग्री आयामी स्थिर राहण्यास मदत करते आणि थर्मल तणावाचा प्रभाव कमी करते.

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (टीएसी) खालील विशिष्ट की भूमिका बजावतेs

उच्च-तापमान प्रक्रियेत जसे कीप्लाझ्मा एचिंगआणि सीव्हीडी, वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड बर्‍याचदा प्रक्रिया उपकरणासाठी संरक्षणात्मक कोटिंग म्हणून वापरला जातो. हे च्या मजबूत गंज प्रतिकारामुळे आहेटीएसी कोटिंगआणि त्याची उच्च-तापमान स्थिरता. हे गुणधर्म हे सुनिश्चित करतात की ते प्रतिक्रियाशील वायू किंवा अत्यंत तापमानाच्या संपर्कात असलेल्या पृष्ठभागाचे प्रभावीपणे संरक्षण करते, ज्यामुळे उच्च-तापमान प्रक्रियेची सामान्य प्रतिक्रिया सुनिश्चित होते.

प्रसार प्रक्रियेमध्ये, सच्छिद्र टॅन्टलम कार्बाईड उच्च-तापमान प्रक्रियेत सामग्रीचे मिश्रण रोखण्यासाठी एक प्रभावी प्रसार अडथळा म्हणून काम करू शकते. हे वैशिष्ट्य बर्‍याचदा आयन रोपण आणि सेमीकंडक्टर वेफर्सच्या शुद्धता नियंत्रणासारख्या प्रक्रियेत डोपंट्सच्या प्रसार नियंत्रित करण्यासाठी वापरले जाते.

वेटेक सेमीकंडक्टर सच्छिद्र टँटलम कार्बाईडची सच्छिद्र रचना सेमीकंडक्टर प्रक्रिया वातावरणासाठी योग्य आहे ज्यास अचूक गॅस प्रवाह नियंत्रण किंवा गाळण्याची प्रक्रिया आवश्यक आहे. या प्रक्रियेमध्ये, सच्छिद्र टीएसी प्रामुख्याने गॅस गाळण्याची प्रक्रिया आणि वितरणाची भूमिका बजावते. त्याची रासायनिक जडत्व हे सुनिश्चित करते की गाळण्याची प्रक्रिया किंवा पध्दती प्रक्रियेदरम्यान कोणतेही दूषित घटक सादर केले जात नाहीत. हे प्रक्रिया केलेल्या उत्पादनाच्या शुद्धतेची प्रभावीपणे हमी देते.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग