Sic कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग

एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेसच्या रिएक्शन चेंबरमध्ये, एसआयसी कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग गॅस प्रवाह वितरण, थर्मल फील्ड कंट्रोल आणि प्रतिक्रिया वातावरण एकसारखेपणा अनुकूलित करण्यासाठी मुख्य घटक आहेत. ते सहसा एसआयसी कोटिंगचे बनलेले असतातग्रेफाइट,अर्ध-चंद्राच्या आकारात डिझाइन केलेले, प्रतिक्रिया कक्षाच्या वरच्या आणि खालच्या ग्रेफाइट भागांमध्ये, सब्सट्रेट क्षेत्राभोवती स्थित आहे.

    •अप्पर हाफमून ग्रेफाइट भाग: प्रतिक्रिया कक्षाच्या वरच्या भागात, गॅस इनलेटच्या जवळ स्थापित केले जाते, प्रतिक्रिया वायूला सब्सट्रेट पृष्ठभागाकडे वाहण्यासाठी मार्गदर्शन करण्यासाठी जबाबदार असते.

    •लोअर हाफमून ग्रेफाइट भाग: रिॲक्शन चेंबरच्या तळाशी स्थित, सामान्यत: सब्सट्रेट धारकाच्या खाली, गॅस प्रवाहाची दिशा नियंत्रित करण्यासाठी आणि थर्मल फील्ड आणि सब्सट्रेटच्या तळाशी गॅस वितरण ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी वापरला जातो.

दरम्यानSiC epitaxy प्रक्रिया, वरचा अर्धा-चंद्र ग्रेफाइट भाग गॅस प्रवाहास सब्सट्रेटवर समान रीतीने वितरित करण्यास मार्गदर्शन करण्यास मदत करते, गॅसला थेट सब्सट्रेट पृष्ठभागावर परिणाम होण्यापासून प्रतिबंधित करते आणि स्थानिक ओव्हरहाटिंग किंवा एअरफ्लो अशांततेस कारणीभूत ठरते. खालच्या अर्ध्या-चंद्राच्या ग्रेफाइट भागामुळे सब्सट्रेटद्वारे गॅस सहजतेने वाहू शकतो आणि नंतर डिस्चार्ज केला जाऊ शकतो, तर अशांततेला एपिटेक्सियल लेयरच्या वाढीच्या एकसमानतेवर परिणाम होण्यापासून प्रतिबंधित करते.

थर्मल फील्ड रेग्युलेशनच्या बाबतीत ， एसआयसी कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भाग आकार आणि स्थितीद्वारे प्रतिक्रिया चेंबरमध्ये उष्णता समान रीतीने वितरीत करण्यास मदत करतात. वरचा हाफमून ग्रेफाइट भाग सब्सट्रेटच्या वरील तापमान स्थिर आहे हे सुनिश्चित करण्यासाठी हीटरची तेजस्वी उष्णता प्रभावीपणे प्रतिबिंबित करू शकते. खालच्या अर्ध्या-चंद्राच्या ग्रेफाइट भागाची देखील समान भूमिका असते, ज्यामुळे तापमानात जास्त फरक रोखण्यासाठी उष्णता वाहकांद्वारे सब्सट्रेटच्या खाली उष्णता समान प्रमाणात वितरित करण्यास मदत होते.

SiC कोटिंग घटकांना उच्च तापमानाला प्रतिरोधक आणि थर्मलली प्रवाहकीय बनवते, म्हणून VeTek सेमीकंडक्टरच्या अर्धचंद्राच्या भागांची सेवा दीर्घकाळ असते. काळजीपूर्वक डिझाइन केलेले, SiC epitaxy साठी आमचे अर्ध-चंद्र ग्रेफाइट भाग अनेक एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांमध्ये अखंडपणे एकत्रित केले जाऊ शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेची एकूण कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यास मदत होते. तुमच्या SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागांना जे काही हवे असेल, कृपया VeTek सेमीकंडक्टरशी संपर्क साधा.

VeteksemSiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट पार्ट्सची दुकाने: