सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

ASM साठी Veteksemicon SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील मुख्य वाहक घटक आहे. हे उत्पादन आमच्या मालकीचे पायरोलाइटिक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तंत्रज्ञान आणि अचूक मशीनिंग प्रक्रियांचा वापर करून उच्च-तापमान आणि संक्षारक प्रक्रिया वातावरणात उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आणि अति-दीर्घ आयुष्य सुनिश्चित करते. आम्ही सब्सट्रेट शुद्धता, थर्मल स्थिरता आणि सुसंगतता यावरील एपिटॅक्सियल प्रक्रियेच्या कठोर आवश्यकता समजून घेतो आणि ग्राहकांना स्थिर, विश्वासार्ह समाधान प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहोत जे एकूण उपकरणांची कार्यक्षमता वाढवतात.

Veteksemicon फोकस रिंग विशेषतः सेमीकंडक्टर एचिंग उपकरणे, विशेषतः SiC एचिंग ऍप्लिकेशन्सची मागणी करण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे. इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक (ESC) च्या आजूबाजूला माउंट केलेले, वेफरच्या अगदी जवळ, त्याचे प्राथमिक कार्य म्हणजे प्रतिक्रिया कक्षातील इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्ड वितरण ऑप्टिमाइझ करणे, संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर एकसमान आणि केंद्रित प्लाझ्मा क्रिया सुनिश्चित करणे. उच्च-कार्यक्षमता फोकस रिंग लक्षणीयरीत्या एच रेट एकसमानता सुधारते आणि कडा प्रभाव कमी करते, थेट उत्पादन उत्पादन आणि उत्पादन कार्यक्षमता वाढवते.

एलईडी एचिंगसाठी वेटेकसेमिकॉन सिलिकॉन कार्बाइड वाहक प्लेट, विशेषत: एलईडी चिप उत्पादनासाठी डिझाइन केलेली, कोरींग प्रक्रियेत वापरता येणारी कोर आहे. अचूक-सिंटर्ड उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनविलेले, ते अपवादात्मक रासायनिक प्रतिकार आणि उच्च-तापमान मितीय स्थिरता देते, मजबूत ऍसिड, बेस आणि प्लाझ्मा यांच्या गंजला प्रभावीपणे प्रतिकार करते. त्याचे कमी दूषित गुणधर्म LED एपिटॅक्सियल वेफर्ससाठी उच्च उत्पादनाची खात्री देतात, तर त्याची टिकाऊपणा, पारंपारिक सामग्रीपेक्षा कितीतरी जास्त आहे, ग्राहकांना एकूण परिचालन खर्च कमी करण्यास मदत करते, ज्यामुळे ते एचिंग प्रक्रियेची कार्यक्षमता आणि सुसंगतता सुधारण्यासाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनते.

Veteksemi सॉलिड SiC फोकस रिंग वेफर एजवर इलेक्ट्रिक फील्ड आणि एअरफ्लो तंतोतंत नियंत्रित करून एचिंग एकसमानता आणि प्रक्रियेची स्थिरता लक्षणीयरीत्या सुधारते. हे सिलिकॉन, डायलेक्ट्रिक्स आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर सामग्रीसाठी अचूक नक्षीकाम प्रक्रियेमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते आणि मोठ्या प्रमाणावर उत्पादन उत्पादन आणि दीर्घकालीन विश्वसनीय उपकरण ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी एक प्रमुख घटक आहे.

वेटेकसेमिकॉन मधील सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड हा एक उच्च-कार्यक्षमता घटक आहे जो विशेषत: सेमीकंडक्टर केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला आहे. उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटपासून तयार केलेले आणि रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंगसह संरक्षित, हे शॉवर हेड थकबाकी टिकाऊपणा, थर्मल स्थिरता आणि संक्षारक प्रक्रिया वायूंचा प्रतिकार देते. आपल्या पुढील सल्ल्याची अपेक्षा आहे.

वेटेकसेमॉनद्वारे सिलिकॉन कार्बाईड कोटिंग वेफर धारक एमओसीव्हीडी, एलपीसीव्हीडी आणि उच्च-तापमान ne नीलिंग सारख्या प्रगत सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत अचूकता आणि कामगिरीसाठी इंजिनियर केले जाते. एकसमान सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगसह, हा वेफर धारक अपवादात्मक थर्मल चालकता, रासायनिक जडत्व आणि यांत्रिक सामर्थ्य सुनिश्चित करते-दूषित-मुक्त, उच्च-उत्पन्न वेफर प्रक्रियेसाठी आवश्यक.