सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग

VeTek मधील हा AMAT 0200-03201 वेफर लिफ्ट पिन उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटने सुरू होतो, त्यानंतर आम्ही वर एक दाट CVD SiC कोटिंग जोडतो. हे 300 मिमी एपिटॅक्सी सिस्टम आणि अप्लाइड मटेरियल EPI रिॲक्टर्ससाठी बनवले आहे. ग्रेफाइट आणि SiC का? ग्रेफाइट उष्णता खरोखर चांगले हाताळते. SiC थर संक्षारक वायू घेतो आणि लवकर झिजत नाही. पातळ भिंत डिझाइन? ते क्लिनर वेफर उचलणे आणि पोझिशनिंगसाठी, कमी कण आणि उच्च तापमानात दीर्घ आयुष्यासाठी आहे. आम्ही ASM, Aixtron आणि LPE सिस्टीमसाठी समान SiC कोटेड ग्रेफाइट भाग बनवतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

वेटेक सेमीकंडक्टर VEECO MOCVD सिस्टीमसाठी वेफर वाहक बनवते, विशेषत: GaN LEDs, निळे-हिरवे LEDs, आणि खोल UV LED ग्रोथ सारख्या LED epitaxy कार्यासाठी तयार केले आहे. हे वाहक उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून सुरू होतात आणि त्यांना दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते. हे संयोजन तुम्ही MOCVD मध्ये पाहत असलेल्या उच्च तापमानात चांगले टिकून राहते - चांगली थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिकार आणि कोटिंग टिकते.

हाफमून हा एक ग्रेफाइट घटक आहे जो LPE SiC अणुभट्ट्यांच्या आत वापरला जातो, जो मुख्यतः चेंबर हॉट झोनभोवती स्थापित केला जातो. जरी ते वेफरशी थेट संपर्क साधत नाही, तरीही ते एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान गॅस प्रवाह स्थिरता आणि अणुभट्टी ऑपरेशनमध्ये भूमिका बजावते. उच्च तापमान आणि प्रतिक्रियाशील प्रक्रिया परिस्थिती हाताळण्यासाठी, घटक सामान्यतः CVD SiC कोटिंगसह संरक्षित केला जातो, तर काही अनुप्रयोगांसाठी TaC कोटिंग देखील उपलब्ध आहे. VETEK SiC epitaxy सिस्टीमसाठी ग्रेफाइट फील इन्सुलेशन आणि इतर कोटेड ग्रेफाइट भाग देखील पुरवते.

8-इंच SiC epi टॉप रिंग सेमीकंडक्टर रिॲक्टर्ससाठी हार्डवेअर भाग आहे. हे Si/SiC epitaxy आणि MOCVD/CVD सिस्टीममध्ये कार्य करते. ही रिंग चेंबरच्या आत उष्णता स्थिर करते. ते वायूंच्या प्रवाहावरही नियंत्रण ठेवते. सामग्री उच्च-शुद्धता CVD सिलिकॉन कार्बाइड आहे. त्यात ग्रेफाइटचे आउटगॅसिंग समस्या नाहीत. हे उत्पादनादरम्यान कणांचे प्रदूषण देखील कमी करते. आम्ही तुमच्या चौकशीचे स्वागत करतो.

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर हे एक अचूक-अभियांत्रिक वाहक समाधान आहे जे विशेषतः LED आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सियल वाढीसाठी विकसित केले आहे. हे जटिल MOCVD वातावरणात अपवादात्मक थर्मल एकरूपता आणि रासायनिक जडत्व दाखवते. VETEK च्या कठोर CVD डिपॉझिशन प्रक्रियेचा लाभ घेत, आम्ही वेफरच्या वाढीची सातत्य वाढवण्यासाठी आणि मुख्य घटकांचे सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी वचनबद्ध आहोत, तुमच्या सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या प्रत्येक बॅचसाठी स्थिर आणि विश्वासार्ह कामगिरीची हमी प्रदान करतो.

Veteksemicon सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) फोकसिंग रिंग हा प्रगत सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी आणि प्लाझ्मा एचिंग प्रक्रियेमध्ये वापरला जाणारा एक महत्त्वपूर्ण उपभोग्य घटक आहे, जेथे प्लाझ्मा वितरण, थर्मल एकरूपता आणि वेफर एज इफेक्ट्सचे अचूक नियंत्रण आवश्यक आहे. उच्च-शुद्धतेच्या सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडपासून निर्मित, ही फोकसिंग रिंग अपवादात्मक प्लाझ्मा इरोशन प्रतिरोध, उच्च-तापमान स्थिरता आणि रासायनिक जडत्व दर्शवते, आक्रमक प्रक्रिया परिस्थितीत विश्वसनीय कार्यप्रदर्शन सक्षम करते. आम्ही तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहोत.