8-इंच CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित एपिटॅक्सी टॉप रिंग

8 इंच SiC Epi टॉप रिंगची प्रमुख वैशिष्ट्ये

● उच्च शुद्धता: 99.9995% किमान. मेटल एपि-लेयरमध्ये स्थलांतरित होणार नाही. हे वेफर वाहक एकाग्रता ठेवते जेथे ते असणे आवश्यक आहे.

● कण दाबणे: CVD रचना दाट आहे. छिद्र नाहीत. साधन चालू असताना ते कण टाकणार नाही. अशा प्रकारे कारखान्यांना चांगले उत्पादन मिळते.

● उष्णता प्रतिरोधक: रिंग 1500°C वर स्थिर राहते. कमी CTE (थर्मल विस्तार) म्हणजे जलद उष्मा-अप/कूल-डाउन सायकल दरम्यान वार्पिंग नाही.

● रासायनिक स्थिरता: घन CVD SiC H2 आणि HCl वायूंना प्रतिकार करते. हे NH3 ला देखील प्रतिकार करते. त्याला सोलण्यासाठी कोटिंग नाही. कठोर CVD वातावरणात ते खराब होत नाही.

● घटक जीवन: पृष्ठभाग अत्यंत कठीण आहे. हे वारंवार HF/HCl रासायनिक साफसफाईसाठी टिकून राहते. हे बदलण्याची वारंवारता कमी करते. हे फॅबसाठी मालकीची एकूण किंमत देखील कमी करते.

तांत्रिक तपशील

बॅचमधील कोटिंग जाडीची एकसमानता 10um वर नियंत्रित केली जाते

अर्ज

CVD SiC epi टॉप रिंग मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते:

● सिलिकॉन एपिटॅक्सी (Si Epi) अणुभट्ट्या

● सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सी (SiC Epi)

● MOCVD प्रणाली

● CVD ठेवण्याचे उपकरण

सहसा यासह जोडलेले:

● ससेप्टर्स

● वेफर वाहक

● प्रीहीट रिंग्ज

● एपिटॅक्सी अणुभट्ट्या

VETEK SiC Epi टॉप रिंग का हुज?

● पूर्ण उत्पादन क्षमता: 

कच्च्या मालाच्या शुद्धीकरणापासून ते अचूक मशीनिंग आणि CVD कोटिंगपर्यंत, VETEK सातत्यपूर्ण सेमीकंडक्टर-ग्रेड गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी संपूर्ण उत्पादन प्रक्रिया नियंत्रित करते.

● उच्च अचूकता: 

आम्ही मायक्रॉन-स्तरीय मशीनिंग वापरतो. CVD जाडी खूप एकसमान आहे. यामुळे प्रत्येक रिंग अगदी त्याच प्रकारे कार्य करते.

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

(1) SiC epi टॉप रिंग काय करते?

रिंग उष्णता आणि वायू प्रवाह व्यवस्थापित करते. हे सुनिश्चित करते की पातळ फिल्म वेफरवर समान रीतीने वाढते.

(2) CVD SiC हे ग्रेफाइटपेक्षा चांगले का आहे?

ग्रेफाइट सच्छिद्र आहे. ग्रेफाइटमध्ये छिद्र असतात आणि ते वायू सोडतात. सॉलिड CVD SiC दाट आणि स्वच्छ आहे. संक्षारक साधनांमध्ये ते जास्त काळ टिकते.

(3). 8 इंच SiC टॉप रिंग सानुकूलित करता येईल का?

होय. आम्ही तुमच्या विशिष्ट टूल ड्रॉइंगवर तयार करतो. आम्ही तुमच्या प्रक्रियेवर आधारित भूमिती समायोजित करू शकतो.

(४) कोणते उद्योग SiC एपिटॅक्सी रिंग वापरतात?

ते मुख्यतः सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये वापरले जातात, ज्यामध्ये पॉवर डिव्हाइसेस, आरएफ उपकरणे आणि SiC वेफर उत्पादन समाविष्ट आहे.