AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

उत्पादन वैशिष्ट्ये

 ● उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट कोर + CVD SiC कोटिंग – वास्तविक सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी तयार केलेले.

 ● सायकल नंतर यांत्रिक स्थिरता चक्र न गमावता उच्च-तापमान एपिटॅक्सी रन हाताळते.

 ● पातळ भिंतीचा आकार थर्मल वस्तुमान कमी करतो आणि वेफर हाताळण्याची अचूकता सुधारतो.

 ● SiC थर आक्रमक प्रक्रिया वायू आणि रासायनिक साफसफाईसाठी उभा राहतो.

 ● गुळगुळीत, एकसमान कोटिंग म्हणजे कण कमी होणे आणि अधिक स्थिर प्रक्रिया करणे. आम्ही गंभीर अर्धसंवाहक भागांसाठी CNC मशीनिंगसह घट्ट सहनशीलता ठेवतो.

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

अर्ज

 ● सिलिकॉन एपिटॅक्सी (Si EPI) – 300mm अणुभट्ट्यांच्या आत वेफर्स उचलणे, पोजीशनिंग करणे आणि हलवणे.

 ● सामान्य सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रिया जेथे तुम्हाला उष्णता स्थिरता, गंज प्रतिरोधकता, कमी कण आणि दीर्घ आयुष्य आवश्यक आहे.

 ● AMAT एपिटॅक्सी चेंबर्स आणि सुसंगत वेफर हाताळणी प्रणाली.

VeTek सेमीकंडक्टर का निवडा

 ● उच्च-शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट जे अर्धसंवाहक वापरासाठी आहे.

 ● थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार दोन्ही घन आहेत.

 ● सहनशीलता घट्ट ठेवा — अचूक मशीनिंग ही आमची गोष्ट आहे.

 ● AMAT, ASM, Aixtron आणि LPE सह सुसंगत.