उत्पादने
उत्पादने
ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील
  • ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशीलईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील
  • ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशीलईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील
  • ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशीलईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील

ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील

बॅरल प्रकार एपिटॅक्सियल वेफर हीटिंग बेस हे क्लिष्ट प्रक्रिया तंत्रज्ञान असलेले उत्पादन आहे, जे मशीनिंग उपकरणे आणि क्षमतेसाठी खूप आव्हानात्मक आहे. वेटेक सेमीकंडक्टरकडे प्रगत उपकरणे आहेत आणि EPI साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टरवर प्रक्रिया करण्याचा समृद्ध अनुभव आहे, मूळ फॅक्टरी लाइफ प्रमाणेच, अधिक किफायतशीर एपिटॅक्सियल बॅरल्स प्रदान करू शकतात. तुम्हाला आमच्या डेटामध्ये स्वारस्य असल्यास, कृपया आमच्याशी संपर्क करण्यास अजिबात संकोच करू नका.

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनचा निर्माता आणि पुरवठादार आहे जो प्रामुख्याने अनेक वर्षांच्या अनुभवासह EPI साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर तयार करतो. तुमच्याशी व्यावसायिक संबंध निर्माण करण्याची आशा आहे.आणि (एपिटॅक्सी)प्रगत अर्धसंवाहकांच्या निर्मितीमध्ये ही एक महत्त्वपूर्ण प्रक्रिया आहे. यात जटिल उपकरण संरचना तयार करण्यासाठी सब्सट्रेटवर सामग्रीचे पातळ थर जमा करणे समाविष्ट आहे. EPI साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट बॅरल ससेप्टर सामान्यतः EPI अणुभट्ट्यांमध्ये त्यांच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि उच्च तापमानास प्रतिरोधकतेमुळे ससेप्टर म्हणून वापरले जातात. सहCVD-SiC कोटिंग, हे दूषितपणा, धूप आणि थर्मल शॉकला अधिक प्रतिरोधक बनते. याचा परिणाम संवेदनशील आणि सुधारित चित्रपटाच्या गुणवत्तेसाठी दीर्घ आयुष्यमान होतो.


आमच्या एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशीलतेचे फायदे:


कमी झालेले प्रदूषण: SiC चे जड स्वरूप अशुद्धतेला ससेप्टर पृष्ठभागावर चिकटून राहण्यापासून प्रतिबंधित करते, जमा केलेल्या फिल्म्सच्या दूषित होण्याचा धोका कमी करते.

क्षरण प्रतिरोध वाढला: SiC पारंपारिक ग्रेफाइटपेक्षा धूप होण्यास लक्षणीयरीत्या जास्त प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ससेप्टरचे आयुष्य जास्त असते.

सुधारित थर्मल स्थिरता: SiC मध्ये उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे आणि लक्षणीय विकृतीशिवाय उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो.

वर्धित चित्रपट गुणवत्ता: सुधारित थर्मल स्थिरता आणि कमी दूषिततेमुळे सुधारित एकरूपता आणि जाडी नियंत्रणासह उच्च-गुणवत्तेच्या जमा केलेल्या चित्रपटांचा परिणाम होतो.


अर्ज:

एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनाक्षम विविध ईपीआय अनुप्रयोगांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात, यासह:

✔ GaN-आधारित LEDs

✔ पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स

✔ ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक डिव्हाइस

✔ उच्च-वारंवारता ट्रान्झिस्टर

✔ सेन्सर

एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील उत्पादन पॅरामीटर

चे भौतिक गुणधर्मआयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट
मालमत्ता युनिट ठराविक मूल्य
मोठ्या प्रमाणात घनता जी/सेमी 1.83
कडकपणा एचएसडी 58
विद्युत प्रतिरोधकता μΩ.m 10
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ एमपीए 47
संकुचित शक्ती एमपीए 103
तन्य शक्ती एमपीए 31
यंग चे मॉड्यूलस जीपीए 11.8
थर्मल विस्तार (CTE) 10-6K-1 4.6
औष्णिक चालकता डब्ल्यू · मी-1· के-1 130
सरासरी धान्य आकार μ मी 8-10
पोरोसिटी % 10
राख सामग्री पीपीएम ≤10 (शुद्ध झाल्यानंतर)

        टीप: कोटिंग करण्यापूर्वी, आम्ही पहिले शुद्धीकरण करू, लेप केल्यानंतर, दुसरे शुद्धीकरण करू.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

CVD SiC कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर एफसीसी β फेज पॉलीक्रिस्टलिन, प्रामुख्याने (111) देणारं
एसआयसी कोटिंग घनता 3.21 ग्रॅम/सेमी
CVD SiC कोटिंग कडकपणा 2500 विकर कडकपणा (500 ग्रॅम लोड)
धान्य आकार 2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता 99.99995%
उष्णता क्षमता 640 जे · किलो-1· के-1
उदात्तीकरण तापमान 2700 ℃
फ्लेक्सरल स्ट्रेंथ 415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंग चे मॉड्यूलस 430 जीपीए 4 पीटी बेंड, 1300 ℃
औष्णिक चालकता 300 डब्ल्यू · मी-1· के-1
थर्मल विस्तार (CTE) 4.5 × 10-6K-1

VeTek सेमीकंडक्टरईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशीलउत्पादन दुकान

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

हॉट टॅग्ज: ईपीआयसाठी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट बॅरेल संवेदनशील
चौकशी पाठवा
संपर्क माहिती
  • पत्ता

    वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

  • दूरध्वनी/

    +86-18069220752

  • ई-मेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, टँटलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट किंवा किंमत सूचीबद्दल चौकशीसाठी, कृपया आम्हाला तुमचा ईमेल पाठवा आणि आम्ही 24 तासांच्या आत संपर्कात राहू.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept