CVD सिलिकॉन कार्बाइड(SiC) लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड

प्रमुख वैशिष्ट्ये

• अति-उच्च शुद्धता – SiC कोटिंग ग्रेफाइटला पूर्णपणे सील करते, त्यामुळे आउटगॅसिंग किंवा धातू दूषित होत नाही.

• उत्कृष्ट गॅस वितरण - प्रत्येक शॉवर हेड संपूर्ण वेफरमध्ये एकसमान वायू वेग वितरीत करण्यासाठी मशीन केलेले आहे.

• सुपीरियर गंज प्रतिकार - CVD SiC हॅलोजन किंवा प्रक्रिया अवशेषांसह प्रतिक्रिया देत नाही. हे बेअर ग्रेफाइट किंवा क्वार्ट्जपेक्षा जास्त काळ टिकते.

• उत्कृष्ट थर्मल कार्यप्रदर्शन - कोटिंग ग्रेफाइटच्या थर्मल विस्ताराशी जवळून जुळते, त्यामुळे जलद तापमानाच्या उतारावर क्रॅक होत नाही.

• अचूक उत्पादन - आम्ही CNC मशीनिंग आणि इन-हाऊस CVD कोटिंग वापरतो. भोक व्यास आणि नमुने घट्ट tolerances धरले जातात.

तांत्रिक तपशील

अर्ज

हे शॉवर हेड यामध्ये वापरले जातात:

• सेमीकंडक्टर CVD प्रणाली (उत्पादन आणि R&D दोन्ही)

• PECVD उपकरणे – कमी-तापमान डायलेक्ट्रिक्स

• MOCVD अणुभट्ट्या – III‑V संयुगे जसे की GaN, InP

• सिलिकॉन एपिटॅक्सी (Si Epi) – पॉवर उपकरणे आणि CMOS साठी

• SiC epitaxy – उच्च-व्होल्टेज पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स

• मिश्रित अर्धसंवाहक फॅब्स

• प्रगत पॅकेजिंग (उदा. TSV लाइनर डिपॉझिशन)

• कोणतेही पातळ-फिल्म साधन ज्याला गंज-रोधक, उच्च-शुद्धता गॅस वितरक आवश्यक आहे

VETEK का निवडावे?

• आम्ही ट्रेडिंग कंपनी नाही. सर्व काही – ग्रेफाइट मशीनिंगपासून ते अंतिम CVD SiC कोटिंगपर्यंत – घरामध्ये केले जाते. याचा अर्थ आम्ही गुणवत्ता, लीड टाइम आणि किंमत नियंत्रित करतो.

• घरातील उत्पादन पूर्ण करा - आउटसोर्सिंग आश्चर्य नाही

• प्रगत कोटिंग तंत्रज्ञान – दाट, पिन-होल-फ्री CVD SiC

• सानुकूल अभियांत्रिकी समर्थन – आम्हाला तुमचे शॉवर हेड ड्रॉइंग किंवा फक्त अणुभट्टीचे मॉडेल पाठवा

• विश्वसनीय अर्धसंवाहक पुरवठा साखळी – आम्ही अनेक वर्षांपासून फॅब आणि OEM पुरवठा करत आहोत

• तुम्हाला प्रत्येक वेळी नवीन डिझाइन पुन्हा-पात्र करण्याची गरज नाही. आम्ही अनेक सामान्य प्लॅटफॉर्म (AMAT, TEL, LAM, ASM, इ.) साठी आधीच शॉवर हेड्स लेपित केले आहेत.