VEECO MOCVD (LED Epitaxy) साठी वेफर वाहक

उत्पादन वैशिष्ट्ये:

1. दाट CVD SiC लेयरसह उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट बेस
2. स्थिर एलईडी एपिटॅक्सीसाठी चांगली थर्मल एकरूपता
3. प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या NH₃, HCl आणि इतर संक्षारक वायूंपर्यंत उभे राहते
4. कमी कण शेडिंग आणि दीर्घ सेवा जीवन
5. पॉकेट डिझाईन्स विविध वेफर आकार आणि अणुभट्टी प्लॅटफॉर्मसाठी सानुकूलित केले जाऊ शकतात
6. दीर्घकालीन, उच्च-तापमान MOCVD ऑपरेशनसाठी चांगले कार्य करते

अर्ज:
हे वेफर वाहक मोठ्या प्रमाणावर एलईडी आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीमध्ये वापरले जातात, यासह:

• GaN LED एपिटॅक्सी
• निळा-हिरवा एलईडी एपिटॅक्सी
• खोल UV LED वाढ
• Si-आधारित GaN epitaxy
• सामान्य कंपाऊंड सेमीकंडक्टर उत्पादन

सानुकूल वाहक उपाय एकाधिक LED MOCVD प्लॅटफॉर्मवर बसतात, जसे की:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

तांत्रिक फायदे:

1. CVD SiC कोटिंगतंत्रज्ञान जे तुम्हाला चांगली घनता आणि शुद्धता देते
2. कोटिंगची जाडी ±10 μm मध्ये ठेवली जाते - थर्मल कार्यप्रदर्शन स्थिर राहण्यास मदत करते
3. चांगल्या वेफर फिट आणि रोटेशन स्थिरतेसाठी सीएनसी मशीनिंग 3 μm पर्यंत कमी होते
4. कोटिंग चांगले चिकटते आणि उच्च-तापमान MOCVD चक्र पुनरावृत्तीनंतर क्रॅक होण्यास प्रतिकार करते
5. NH₃, HCl आणि इतर कठोर एपिटॅक्सी वातावरणास त्रास न होता हाताळते
6. उच्च-उत्पादनास समर्थन देण्यासाठी कमी कण निर्मिती आणि स्वच्छ पृष्ठभागएलईडी एपिटॅक्सी
7. विविध अणुभट्टी प्लॅटफॉर्म आणि वेफर लेआउटसाठी मोठ्या किंवा सानुकूल आकाराचे कोट करू शकतात
8. सह दीर्घ अनुभवसानुकूल ग्रेफाइट आणि SiC-लेपित भागLED आणि कंपाऊंड सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न:
1. वेफर वाहक काय करतोMOCVDएलईडी एपिटॅक्सी?

A: हे MOCVD अणुभट्टीच्या आत वेफर्स ठेवते आणि फिरवते आणि एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान तापमान स्थिर ठेवण्यास मदत करते.

2. MOCVD साठी SiC-कोटेड ग्रेफाइट वेफर वाहक का वापरावे?

A: दCVD SiC कोटिंगचांगले गंज प्रतिकार, थर्मल स्थिरता आणि टिकाऊपणा देते. हे उच्च-तापमान एपिटॅक्सीमध्ये कण दूषित होण्यास देखील मदत करते.

3. वेटेक सेमीकंडक्टर कस्टम वेफर वाहक बनवते का?
उ: होय. आम्ही तुमच्या रिॲक्टर प्लॅटफॉर्म, वेफरचा आकार, पॉकेट लेआउट आणि इतर प्रक्रियेच्या गरजांवर आधारित सानुकूल वाहक डिझाइन करू शकतो.