MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर

तांत्रिक मापदंड

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

उत्पादन व्याख्या आणि रचना

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर हा एक प्रीमियम वेफर-वाहक घटक आहे जो विशेषत: GaN आणि SiC सारख्या तृतीय-पिढीच्या अर्धसंवाहकांच्या एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी तयार केला जातो. हे उत्पादन दोन उच्च-कार्यक्षमता सामग्रीचे उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म समाकलित करते:

उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट: बेस मटेरियलमध्ये अपवादात्मक स्ट्रक्चरल अखंडता, उच्च घनता आणि थर्मल प्रोसेसिंग स्थिरता आहे याची खात्री करण्यासाठी आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग तंत्रज्ञान वापरून उत्पादित केले जाते.

CVD SiC कोटिंग: प्रगत रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) तंत्रज्ञानाद्वारे ग्रेफाइट पृष्ठभागावर एक दाट, तणावमुक्त सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) संरक्षक स्तर वाढविला जातो.

VETEK ही तुमची उत्पन्नाची हमी का आहे

थर्मल एकरूपता नियंत्रणात अंतिम अचूकता: पारंपारिक वाहकांच्या विपरीत, VETEK ससेप्टर्स लेप जाडी आणि थर्मल प्रतिरोधकतेच्या नॅनोमीटर-स्केल अचूक नियंत्रणाद्वारे संपूर्ण पृष्ठभागावर उच्च समक्रमित उष्णता हस्तांतरण प्राप्त करतात. हे अत्याधुनिक थर्मल व्यवस्थापन प्रभावीपणे वेफर पृष्ठभागावरील तरंगलांबी मानक विचलन (STD) कमी करते, सिंगल-वेफर गुणवत्ता आणि एकूण बॅच सुसंगतता दोन्ही लक्षणीयरीत्या वाढवते.

शून्य कण दूषिततेसह दीर्घकालीन संरक्षण: उच्च संक्षारक वायू असलेल्या MOCVD प्रतिक्रिया कक्षांमध्ये, सामान्य ग्रेफाइट पेडेस्टल्स कण फ्लेकिंगसाठी प्रवण असतात. VETEK च्या CVD SiC कोटिंगमध्ये अपवादात्मक रासायनिक जडत्व आहे, ग्रेफाइट मायक्रोपोरेस सील करणारी अभेद्य ढाल म्हणून काम करते. हे सब्सट्रेट अशुद्धतेचे संपूर्ण पृथक्करण सुनिश्चित करते, GaN किंवा SiC epitaxial स्तरांच्या कोणत्याही दूषिततेस प्रतिबंध करते.

अपवादात्मक थकवा प्रतिकार आणि सेवा जीवन:VETEK च्या प्रोप्रायटरी इंटरफेस उपचार प्रक्रियेबद्दल धन्यवाद, आमचे SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेटसह ऑप्टिमाइझ थर्मल विस्तार जुळते. उच्च-फ्रिक्वेंसी थर्मल सायकलिंगमध्येही अत्यंत तापमानाच्या दरम्यान, कोटिंग सोलून किंवा सूक्ष्म क्रॅक विकसित न करता उत्कृष्ट आसंजन राखते. हे सुटे भाग देखभालीची वारंवारता लक्षणीयरीत्या कमी करते आणि तुमच्या मालकीची एकूण किंमत कमी करते.

आमची कार्यशाळा