टीएसी कोटिंग ग्रेफाइट घटकांच्या सेवा जीवनात कसे सुधारते? - वेटेक सेमीकंडक्टर

सीव्हीडी टँटलम कार्बाईड कोटिंगवेटेक सेमीकंडक्टरच्या मालकीच्या रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) प्रक्रियेचा वापर करून उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर टॅन्टलम कार्बाइड (टीएसी) च्या वाष्प जमा करून तयार केले जाते.

टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग्जची सेवा जीवनात लक्षणीय सुधारणा कराग्रेफाइट भागअनेक यंत्रणांद्वारे, विशेषत: उच्च-तापमानात, सेमीकंडक्टर उत्पादन आणि क्रिस्टल वाढ यांसारख्या अत्यंत संक्षारक वातावरणात. 

येथे विशिष्ट कारणे येथे आहेतTaC कोटिंग्जग्रेफाइट भागांची टिकाऊपणा वाढवणे:

●  उच्च तापमानाचा प्रतिकार सुधारला

अत्यंत उच्च थर्मल स्थिरता: TaC कोटिंग्स 2000°C पेक्षा जास्त उच्च तापमानात स्थिर राहण्यास सक्षम असतात आणि 2200C वर प्रभावीपणे कार्य करू शकतात. हे उच्च तापमान सहिष्णुता कोटिंगला अर्धसंवाहक उत्पादनादरम्यान वितळलेल्या धातू आणि रासायनिक वायूंचे धूप सहन करण्यास अनुमती देते, ज्यामुळे ग्रेफाइट भागांचे सेवा आयुष्य वाढते.

● उत्कृष्ट गंज प्रतिकार

रासायनिक इरोशन रेझिस्टन्सः टीएसी कोटिंग्जमध्ये हायड्रोजन, अमोनिया आणि सिलिकॉन वाष्प यासारख्या संक्षारक वायूंचा तीव्र प्रतिकार असतो, ज्यामुळे या वायूंना ग्रेफाइट सब्सट्रेटचे प्रमाण वाढविण्यापासून प्रभावीपणे रोखता येते आणि कठोर वातावरणातील ग्रेफाइट भागांचे नुकसान कमी होते. याचा अर्थ असा की क्रिस्टल वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान, कोटिंग अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखू शकते आणि क्रिस्टल गुणवत्ता आणि उत्पन्न सुधारू शकते.

●  वर्धित यांत्रिक गुणधर्म

चांगले आसंजन आणि थर्मल शॉक प्रतिरोध: TaC कोटिंग्समध्ये ग्रेफाइट सब्सट्रेटला मजबूत आसंजन असते, हे सुनिश्चित करते की उच्च-तापमान ऑपरेशन्स दरम्यान कोटिंग सोलणार नाही किंवा कमी होणार नाही. शिवाय, त्याची उत्कृष्ट थर्मल शॉक रेझिस्टन्स क्रॅकिंग किंवा सोलल्याशिवाय तापमानातील जलद बदलांना तोंड देऊ शकते, ग्रेफाइट भागांचे सेवा आयुष्य पुढे वाढवते.

●  अशुद्धता प्रदूषण कमी करा

अति-उच्च शुद्धता: TaC कोटिंग्जमध्ये अत्यंत कमी अशुद्धता असते, जी उच्च तापमानाच्या परिस्थितीत उद्भवू शकणाऱ्या दूषित समस्या कमी करण्यास मदत करते. अवांछित अशुद्धींना एपिटॅक्सियल लेयरमध्ये स्थलांतरित होण्यापासून रोखून, TaC कोटिंग्स क्रिस्टल वाढीच्या प्रक्रियेची शुद्धता आणि गुणवत्ता लक्षणीयरीत्या सुधारतात.

● थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमाइझ करा

थर्मल चालकता आणि प्रतिरोधकता सुधारा: TaC कोटिंग्समध्ये तुलनेने कमी थर्मल चालकता आणि प्रतिरोधकता असते, ज्यामुळे ऊर्जेची कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी आणि उर्जेची हानी कमी करण्यासाठी हीटर्स आणि इतर थर्मल व्यवस्थापन घटकांमध्ये त्याचा वापर करणे शक्य होते. हे वैशिष्ट्य केवळ कार्यक्षमतेत सुधारणा करत नाही तर सामग्रीचा थकवा आणि अतिउष्णतेमुळे होणारे नुकसान देखील कमी करते.