सीव्हीडी एसआयसी पॅनकेक संवेदनशील

हे सेमीकंडक्टर उत्कृष्ट टिकाऊपणा आणि अत्यंत तापमान अनुकूलता सुनिश्चित करण्यासाठी सीव्हीडी एसआयसी पॅनकेक सासेप्टर नवीनतम रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) तंत्रज्ञानाचा वापर करून तयार केले जाते. खाली त्याचे मुख्य भौतिक गुणधर्म आहेत:

● थर्मल स्थिरता: सीव्हीडी एसआयसीची उच्च थर्मल स्थिरता उच्च तापमान परिस्थितीत स्थिर कामगिरी सुनिश्चित करते.

● कमी थर्मल विस्तार गुणांक: सामग्रीमध्ये अत्यंत कमी थर्मल विस्तार गुणांक आहे, जे तापमानातील बदलांमुळे होणार्‍या वॉर्पिंग आणि विकृती कमी करते.

● रासायनिक गंज प्रतिकार: उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार वेगवेगळ्या कठोर वातावरणात उच्च कार्यक्षमता राखण्यास सक्षम करते.

अचूक समर्थन आणि ऑप्टिमाइझ्ड उष्णता हस्तांतरण

वेटेकेमीचे पॅनकेक सिसेप्टर आधारित एसआयसी कोटेड सेमीकंडक्टर वेफर्स सामावून घेण्यासाठी आणि एपिटॅक्सियल जमा दरम्यान उत्कृष्ट समर्थन प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. एसआयसी पॅनकेक सासेप्टर वेगवेगळ्या तापमान आणि दबाव परिस्थितीत वार्पिंग आणि विकृती कमी करण्यासाठी प्रगत संगणकीय सिम्युलेशन तंत्रज्ञानाचा वापर करून डिझाइन केले आहे. त्याचे वैशिष्ट्यपूर्ण थर्मल विस्तार गुणांक सुमारे ×. × × १० आहे^-6/° से, ज्याचा अर्थ असा आहे की उच्च-तापमान वातावरणातील पारंपारिक सामग्रीपेक्षा त्याची मितीय स्थिरता लक्षणीयरीत्या चांगली आहे, ज्यामुळे वेफर जाडीची सुसंगतता (सामान्यत: 200 मिमी ते 300 मिमी) सुनिश्चित होते.

याव्यतिरिक्त, सीव्हीडी पॅनकेक सासेप्टर उष्णता हस्तांतरणात उत्कृष्ट आहे, 120 डब्ल्यू/एम · के पर्यंतच्या थर्मल चालकतेसह. ही उच्च थर्मल चालकता त्वरीत आणि प्रभावीपणे उष्णता आणि प्रभावीपणे उष्मा वाढवू शकते, भट्टीच्या आत तापमान एकसारखेपणा वाढवू शकते, एपिटेक्सियल जमा दरम्यान एकस उष्णता वितरण सुनिश्चित करते आणि असमान उष्णतेमुळे उद्भवलेल्या जमा झालेल्या दोष कमी करू शकते. ऑप्टिमाइझ्ड उष्णता हस्तांतरण कार्यक्षमता जमा करण्याची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी गंभीर आहे, जे प्रक्रिया चढउतार प्रभावीपणे कमी करू शकते आणि उत्पन्न सुधारू शकते.

या डिझाइन आणि कामगिरीच्या ऑप्टिमायझेशनच्या माध्यमातून, वेटेक सेमीकंडक्टरचा सीव्हीडी एसआयसी पॅनकेक सससेप्टर सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी एक ठोस पाया प्रदान करतो, कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीत विश्वसनीयता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करतो आणि उच्च सुस्पष्टता आणि गुणवत्तेसाठी आधुनिक सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करतो.

सीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म
मालमत्ता	ठराविक मूल्य
क्रिस्टल स्ट्रक्चर	एफसीसी β फेज पॉलीक्रिस्टलिन, प्रामुख्याने (111) देणारं
घनता	3.21 ग्रॅम/सेमी
कडकपणा	2500 विकर कडकपणा （500 ग्रॅम लोड）
धान्य आकार	2 ~ 10 मिमी
रासायनिक शुद्धता	99.99995%
उष्णता क्षमता	640 जे · किलो-1· के-1
उदात्त तापमान	2700 ℃
लवचिक सामर्थ्य	415 एमपीए आरटी 4-पॉइंट
यंगचे मॉड्यूलस	430 जीपीए 4 पीटी बेंड, 1300 ℃
औष्णिक चालकता	300 डब्ल्यू · मी-1· के-1
थर्मल विस्तार (सीटीई)	4.5 × 10-6K-1