सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक चक्स

वेटेकसेमिकॉनद्वारे ऑफर केलेले सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक चक्स उच्च-शुद्धता सच्छिद्र सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) पासून बनविलेले आहेत, हे सिरेमिक चक उच्च व्हॅक्यूम आणि तापमान परिस्थितीत एकसमान गॅस प्रवाह, उत्कृष्ट सपाटपणा आणि थर्मल स्थिरता सुनिश्चित करते. हे व्हॅक्यूम क्लॅम्पिंग सिस्टमसाठी आदर्श आहे, जेथे संपर्क नसलेले, कण-मुक्त वेफर हाताळणी गंभीर आहे.

Ⅰ. की मटेरियल प्रॉपर्टीज आणि परफॉरमन्स फायदे

1. उत्कृष्ट थर्मल चालकता आणि तापमान प्रतिकार

सिलिकॉन कार्बाईड उच्च थर्मल चालकता (120-200 डब्ल्यू/एम · के) ऑफर करते आणि 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त ऑपरेटिंग तापमानाचा प्रतिकार करू शकते, ज्यामुळे प्लाझ्मा एचिंग, आयन बीम प्रक्रिया आणि उच्च-तापमान जमा प्रक्रियेसाठी चक एक आदर्श आहे.

भूमिका: एकसमान उष्णता अपव्यय सुनिश्चित करते, वेफर वॉरपेज कमी करते आणि प्रक्रिया एकरूपता सुधारते.

2. उत्कृष्ट यांत्रिक सामर्थ्य आणि परिधान प्रतिरोध

एसआयसीची दाट मायक्रोस्ट्रक्चर चक अपवादात्मक कडकपणा (> 2000 एचव्ही) आणि यांत्रिक टिकाऊपणा देते, पुनरावृत्ती वेफर लोडिंग/अनलोडिंग चक्र आणि कठोर प्रक्रिया वातावरणासाठी आवश्यक आहे.

भूमिका: आयामी स्थिरता आणि पृष्ठभागाची अचूकता राखताना चकचे आयुष्य वाढवते.

3. एकसमान व्हॅक्यूम वितरणासाठी नियंत्रित पोर्सिटी

सिरेमिकची बारीक ट्यून केलेली सच्छिद्र रचना वेफर पृष्ठभागाच्या ओलांडून सातत्यपूर्ण व्हॅक्यूम सक्शन सक्षम करते, कमीतकमी कण दूषिततेसह सुरक्षित वेफर प्लेसमेंट सुनिश्चित करते.

भूमिका: क्लीनरूमची सुसंगतता वाढवते आणि नुकसान-मुक्त वेफर प्रक्रिया सुनिश्चित करते.

4. उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार

संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा वातावरणाशी संबंधित एसआयसीची जडत्व प्रतिक्रियाशील आयन एचिंग किंवा रासायनिक साफसफाईच्या दरम्यान चकला क्षीण होण्यापासून संरक्षण करते.

भूमिका: ऑपरेशनल खर्च कमी करून डाउनटाइम आणि साफसफाईची वारंवारता कमी करते.

Ⅱ. वेटेकसेमॉनची सानुकूलन आणि समर्थन सेवा

वेटेकसेमॉन येथे, आम्ही सेमीकंडक्टर उत्पादकांच्या मागणीची मागणी पूर्ण करण्यासाठी तयार केलेल्या सेवांचे संपूर्ण स्पेक्ट्रम प्रदान करतो:

● सानुकूल भूमिती आणि छिद्र आकार डिझाइन: आम्ही आपल्या उपकरणांच्या वैशिष्ट्यांनुसार आणि व्हॅक्यूम आवश्यकतांसाठी सानुकूलित विविध आकार, जाडी आणि छिद्र घनतेमध्ये चक्स ऑफर करतो.

● फास्ट टर्नअराऊंड प्रोटोटाइपिंग: आर अँड डी आणि पायलट लाइनसाठी शॉर्ट लीड टाइम्स आणि कमी एमओक्यू उत्पादन समर्थन.

Ofter विक्रीनंतरची सेवा विश्वासार्ह: इन्स्टॉलेशन मार्गदर्शनापासून ते लाइफसायकल मॉनिटरिंगपर्यंत, आम्ही दीर्घकालीन कामगिरी स्थिरता आणि तांत्रिक समर्थन सुनिश्चित करतो.

Ⅲ. अनुप्रयोग

Ch एचिंग आणि प्लाझ्मा प्रक्रिया उपकरणे

● आयन रोपण आणि ne नीलिंग चेंबर

● केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) सिस्टम

● मेट्रोलॉजी आणि तपासणी प्लॅटफॉर्म

Clean क्लीनरूम वातावरणात व्हॅक्यूम होल्डिंग आणि क्लॅम्पिंग सिस्टम

वीकेकेमिकॉन उत्पादने दुकान: