सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया, विशेषत: वेफर प्रोसेसिंग, व्हॅक्यूम वातावरणात चालविली जाते आणि मेकॅनिकली क्लॅम्पिंग वेफर्स 

काही जोखीम. जेव्हा बल क्लॅम्पिंग पॉईंटवर केंद्रित होते, तेव्हा ठिसूळ सिलिकॉन वेफर्स लहान तुकडे करू शकतात, ज्यामुळे वेफर उत्पादनास गंभीर नुकसान होते.

या प्रकरणात, सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चक एक चांगली निवड बनते, जे इलेक्ट्रोस्टेटिक फोर्सद्वारे वेफरचे निराकरण करते. इलेक्ट्रोस्टॅटिक फोर्स वेफरवर समान रीतीने कार्य करते, म्हणून वेफरला स्पष्टपणे निश्चित केले जाऊ शकते, प्रक्रियेची अचूकता सुधारते.

संबंधित संशोधन कागदपत्रांनुसार, सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चकमध्ये इतर इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक्सपेक्षा मजबूत सक्शन आहे. उदाहरणार्थ, सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकमध्ये पाळीव प्राण्यांच्या इलेक्ट्रोस्टेटिक चकपेक्षा बरेच मजबूत सक्शन आहे.

सिरेमिक्स चक सहसा अल 2 ओ 3, एएलएन किंवा एसआयसी सारख्या उच्च-कार्यक्षमता सिरेमिक सामग्रीपासून बनलेले असते, ज्यात उष्णता प्रतिरोध, इन्सुलेशन आणि गंज प्रतिरोध जास्त असतो. सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक चक केवळ अत्यंत तापमानातच स्थिर नाही, तर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान रासायनिक अभिकर्मक आणि प्लाझ्मा एचिंगमुळे सिरेमिक ई-चकला प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते.

तापमान नियंत्रण: सिरेमिक मटेरियलची उच्च थर्मल चालकता आणि स्थिर थर्मल गुणधर्म एल्युमिना सिरेमिक व्हॅक्यूम चक प्रभावीपणे तापमान नियंत्रित करण्यास सक्षम करतात, ज्यामुळे प्रक्रियेदरम्यान तापमान वितरण अनुकूलित होते.

व्हॅक्यूम अनुकूलता: सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टॅटिक चक व्हॅक्यूम वातावरणासाठी योग्य आहे, विशेषत: कमी-दाब आणि उच्च-परिशुद्धता एचिंग प्रक्रियेमध्ये.

कमी कण निर्मिती: सच्छिद्र एसआयसी सिरेमिक ई-चक एक गुळगुळीत पृष्ठभाग आहे, जे वेफर फिक्सिंग दरम्यान कण दूषण कमी करू शकते आणि उत्पादनाचे उत्पादन सुधारण्यास मदत करते.

अनुप्रयोगः मुख्यत: सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये वापरला जातो, डिटेच करण्यायोग्य सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चक प्रदान करते जे अचूक स्थिती आणि स्थिरता प्रदान करते, जे लिथोग्राफी, एचिंग आणि इतर सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेसाठी खूप उपयुक्त आहे. प्रक्रियेदरम्यान वेफर अबाधित आहे याची खात्री करा आणि चिप उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारित करा.

हे सेमीकंडक्टरसिरेमिक ई-चक उत्पादन दुकाने: