व्हॅक्यूम चक

अर्ज: 

वेफर्स आणि इनगॉट्सच्या अचूक शोषण आणि टणक फिक्सेशनसाठी उच्च कार्यक्षमता व्हॅक्यूम चक तयार केली. हे चांगले आहे - सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग, वेफर कटिंग, प्रेसिजन प्रोसेसिंग, उच्च -तापमान एपिटॅक्सी, एचिंग आणि आयन रोपण यासह परिस्थितीसाठी अनुकूल आहे.

कोर पॅरामीटर्स:

● समायोज्य पोर्सिटी (10 - 200μm पासून).
Tra अल्ट्रा - उच्च तापमान (≤1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत) आणि उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध दर्शविण्यास सक्षम करण्यास सक्षम.
● सोशोशन व्हॅक्यूम: मानक आहे - 90 केपीए (100 केपीए पर्यंत पोहोचण्यासाठी सानुकूलित).

● सक्शन कप परिमाण: 4/6/8/12 - इंच वेफर्सचे समर्थन करू शकते आणि विशिष्ट आवश्यकतेनुसार इनगॉट आकार तयार केला जाऊ शकतो.

Ⅰ. वर्णन

वेटेकसेमिकॉन सिरेमिक व्हॅक्यूम चक सच्छिद्र सिरेमिक आणि मेटल बाह्य रिंगची एकत्रित रचना वापरते. एअर चॅनेल आणि छिद्रांच्या वैयक्तिकृत डिझाइनद्वारे, त्यास सोशोशन फोर्स आणि उच्च स्थिरतेचे समान वितरण लक्षात येते. हे चक सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग, वेफर कटिंग, प्रेसिजन प्रोसेसिंग इत्यादींसाठी फिट आहे. हे उच्च -तापमान आणि उच्च -वेगवान गती सेटिंग्जमध्ये कार्य करू शकते आणि वेगवेगळ्या आकारात वेफर्स/इनगॉट्सच्या सुसंगततेची आवश्यकता पूर्ण करू शकते.

Ⅱ. कोर रचना आणि भौतिक फायदे

मल्टीलेयर कंपोझिट लेआउट:

✔ पृष्ठभागाचा थर: सच्छिद्र सिरेमिकपासून बनविलेले (आपण सच्छिद्र सिलिकॉन कार्बाईड किंवा सच्छिद्र ग्रेफाइट दरम्यान निवडू शकता). छिद्र व्यास समायोजित केले जाऊ शकते (10 - 200μm), जे हमी देते की सोशोशन फोर्स वेफरच्या पृष्ठभागावर समान रीतीने हस्तांतरित केले गेले आहे, ज्यामुळे स्थानिक तणाव तयार होण्यास प्रतिबंध होतो.

✔ मॅट्रिक्स: स्ट्रक्चरल समर्थन आणि हवाबंदपणा ऑफर करण्यासाठी अत्यंत कठोर धातूच्या फ्रेम (एकतर स्टेनलेस स्टील किंवा अ‍ॅल्युमिनियम मिश्र) बनलेले.

✔ वायुमार्ग आणि छिद्र: तंतोतंत मशीन केलेले अंतर्गत वायुमार्ग समान रीतीने अंतर असलेल्या मायक्रोपोरेससह नेटवर्क तयार करतात. हे सेटअप द्रुत व्हॅक्यूम एक्सट्रॅक्शनला समर्थन देते (सोशोशन फोर्स - 90 केपीए पर्यंत पोहोचू शकते) आणि त्वरित रीलिझ.

Ⅲ ? एमएची तुलनाटेरियल वैशिष्ट्ये

1. भौतिक गुणधर्मांची तुलना

2. अनुप्रयोग परिस्थिती आणि प्रकरणे

✔ सेमीकंडक्टर फॅब्रिकटिओ

एपिटॅक्सियल ग्रोथ: हे उच्च तापमानात एसआयसी वेफर्सला घट्टपणे शोषून घेऊ शकते, ज्यामुळे वेफर्सला वॉर्पिंगपासून आणि दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित केले जाऊ शकते.

लिथोग्राफी आणि एचिंग: ग्राफिक संरेखनाची अचूकता सुनिश्चित करून हे उच्च -गती मूव्हिंग प्लॅटफॉर्म (प्रवेग ≤10 जी) वर अचूक स्थिती सक्षम करते.

✔ इनगॉट प्रक्रिया

कटिंग आणि पीसणे: हे जड इनगॉट्स (जसे की नीलम आणि सिलिकॉन - कार्बाईड इंगॉट्स) शोषून घेऊ शकते, कंपमुळे एज क्रॅकिंग कमी करते.

✔ वैज्ञानिक संशोधन आणि विशेष तंत्रज्ञान

उच्च - तापमान ne नीलिंग: सच्छिद्र सिलिकॉन - कार्बाईड सक्शन कप विकृती किंवा प्रदूषण न करता 1600 डिग्री सेल्सियस तापमानात सतत कार्य करू शकतात.

व्हॅक्यूम कोटिंग: उच्च - हवे - घट्टपणा डिझाइनसह, ते पीव्हीडी/सीव्हीडी पोकळीच्या वातावरणाशी जुळवून घेऊ शकते.

3. सानुकूलित सेवा

Size आम्ही आकार आणि लोडसाठी सानुकूलन ऑफर करतो.

Spection विशिष्ट आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी स्टोमाटा आणि वायुमार्ग अनुकूलित केले जाऊ शकते.

✔ हे विशेष वातावरणाशी जुळवून घेतले जाऊ शकते.

Ⅳ. FAQ:

व्हॅक्यूम चक्स मल्टी-साइज वेफर सुसंगतता (उदा. 12/8/6 ") कसे साध्य करतात?

प्रश्नः एकाच वेळी एकच चक 12 इंच, 8 इंच आणि 6 इंचाच्या वेफरमध्ये कसा बसतो? शारीरिक पुनर्रचना आवश्यक आहे का?

एक:अनुकूलक वायुमार्ग आणि स्टोमॅटल विभाजनांद्वारे बहु-आयामी सुसंगतता:

✔ डायनॅमिक स्टोमॅटल कंट्रोल: शोषकाच्या पृष्ठभागावरील स्टोमाटा रिंग क्षेत्रात वितरित केला जातो आणि वेगवेगळ्या भागात एअर सर्किट बाह्य झडपद्वारे नियंत्रित केले जाते.

उदाहरणार्थ, 8 इंचाचा वेफर शोषून घेताना, मध्यवर्ती भागातील केवळ छिद्र सक्षम केले जातात आणि बाह्य छिद्र बंद केले जातात (सोशोशन फोर्सची गळती टाळण्यासाठी).

✔ लवचिक वायुमार्गाची रचना: पोर्ट नेटवर्कमध्ये एक मॉड्यूलर लेआउट आहे जो एकसमान सोशोशन फोर्स कव्हरेज सुनिश्चित करण्यासाठी वेगवेगळ्या आकारांच्या वेफर्सच्या एज प्रोफाइलशी जुळतो. आणि फायदे खालीलप्रमाणे आहेत:

शून्य हार्डवेअर रिप्लेसमेंट: सॉफ्टवेअर किंवा गॅस वाल्व स्विचद्वारे सक्शन कप काढण्याची किंवा पुनर्स्थित करण्याची आवश्यकता नाही, वेगवेगळ्या आकारात रुपांतर केले जाऊ शकते.

खर्च बचत: उपकरणे नूतनीकरणाची किंमत आणि डाउनटाइम कमी करा आणि उत्पादन लाइन लवचिकता वाढवा.