सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड (TaC) लेपित ग्रेफाइट रिंग

उत्पादन वैशिष्ट्ये

• मुख्य उपकरणे:PVT तंत्रज्ञानासह काम करणाऱ्या SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेससाठी आहे.
• प्राथमिक अर्ज:थर्मल फील्ड सिस्टमसाठी थर्ड-जनरेशन सेमीकंडक्टर SiC क्रिस्टल ग्रोथसाठी उपयुक्त.
• उच्च-तापमान स्थिरता:TaC कोटिंग अति-उच्च तापमानात स्ट्रक्चरल अखंडता टिकवून ठेवते, मागणी असलेल्या थर्मल वातावरणात विस्तारित ऑपरेशनला समर्थन देते.
• गंज संरक्षण:दाट CVD TaC थर ग्रेफाइट सब्सट्रेटला सिलिकॉन वाष्प, कार्बन-वाहक वायू आणि SiC वाढीदरम्यान आलेल्या इतर संक्षारक प्रजातींपासून संरक्षण करते.
• थर्मल फील्ड कामगिरी:सच्छिद्र ग्रेफाइट बेस उष्णतेचे वितरण आणि बाष्प वाहतूक करण्यास मदत करते, जे स्थिर वाढीची स्थिती राखण्यास मदत करते.
• कमी प्रदूषण:उच्च-शुद्धता सुरू होणारी सामग्री आणि दाट कोटिंगमुळे अशुद्धता सोडणे आणि कण कमी होणे, क्रिस्टल गुणवत्तेला फायदा होतो.
• विस्तारित आयुर्मान:TaC थर ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकता, पृष्ठभागाची कडकपणा आणि भारदस्त तापमानात एकंदर टिकाऊपणा सुधारतो.
• कोटिंग आसंजन:CVD प्रक्रियेमुळे TaC फिल्म आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यात मजबूत बंध निर्माण होतो.
• सानुकूल पर्याय:विविध SiC ग्रोथ फर्नेस आवश्यकतांशी जुळण्यासाठी परिमाणे, संरचनात्मक तपशील आणि कोटिंग तपशील समायोजित केले जाऊ शकतात.

तांत्रिक तपशील

अर्ज

VETEK सच्छिद्र TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग प्रामुख्याने यामध्ये वापरली जाते:

• PVT द्वारे SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ
• थर्ड जनरेशन सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग
• SiC सब्सट्रेट उत्पादन
• क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसमध्ये थर्मल फील्ड सिस्टम
• उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रिया
• प्रगत ग्रेफाइट हॉट-झोन घटक

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

1. सच्छिद्र TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग म्हणजे काय?

SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेससाठी हा थर्मल फील्ड घटक आहे. हे थर्मल व्यवस्थापन आणि उच्च-तापमान गंजपासून संरक्षण देण्यासाठी CVD TaC कोटिंगसह छिद्रयुक्त ग्रेफाइट रचना एकत्र करते.

2. SiC क्रिस्टल वाढीसाठी TaC कोटिंग का वापरावे?

TaC उच्च-तापमान स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार प्रदान करते. हे ग्रेफाइटला सिलिकॉन बाष्प हल्ल्यापासून संरक्षण करते आणि स्वच्छ, स्थिर वाढीचे वातावरण राखण्यास मदत करते.

3. सच्छिद्र ग्रेफाइट संरचना काय देते?

सच्छिद्र डिझाइन भट्टीमध्ये थर्मल वितरण आणि गॅस वाहतुकीस समर्थन देते, जे स्थिर SiC क्रिस्टल वाढीच्या स्थितीत योगदान देते.

4. VETEK सानुकूलित TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग तयार करू शकते का?

होय. VETEK ग्राहकांची रेखाचित्रे, फर्नेस डिझाइन आणि प्रक्रियेच्या गरजांवर आधारित कस्टमायझेशन ऑफर करते, ज्यामध्ये परिमाण, सब्सट्रेट कॉन्फिगरेशन आणि कोटिंग पॅरामीटर्स यांचा समावेश आहे.