SiC Epitaxy प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टरचे अनन्य कार्बाइड कोटिंग्स SiC Epitaxy प्रक्रियेतील ग्रेफाइट भागांना मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर आणि संमिश्र सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करतात. याचा परिणाम म्हणजे विस्तारित ग्रेफाइट घटकांचे आयुष्य, प्रतिक्रिया स्टोइचियोमेट्रीचे संरक्षण, एपिटॅक्सी आणि क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशनमध्ये अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखणे, परिणामी उत्पादन आणि गुणवत्ता वाढते.

आमचे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च तापमानात (2200°C पर्यंत) गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी घटकांना गरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प आणि वितळलेल्या धातूपासून संरक्षित करतात. VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये तुमच्या सानुकूलित गरजा पूर्ण करण्यासाठी ग्रेफाइट प्रक्रिया आणि मोजमाप क्षमतांची विस्तृत श्रेणी आहे, त्यामुळे आम्ही तुमच्यासाठी आणि तुमच्या विशिष्ट अनुप्रयोगासाठी योग्य उपाय डिझाइन करण्यासाठी आमच्या तज्ञ अभियंत्यांच्या टीमसह फी-पेइंग कोटिंग किंवा पूर्ण-सेवा देऊ शकतो. .

मिश्रित अर्धसंवाहक क्रिस्टल्स

VeTek सेमीकंडक्टर विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष TaC कोटिंग प्रदान करू शकतो. VeTek सेमीकंडक्टरच्या उद्योगातील अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेद्वारे, TaC कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता प्राप्त करू शकते, ज्यामुळे क्रिस्टल TaC/GaN) आणि EPl स्तरांची उत्पादन गुणवत्ता सुधारते आणि गंभीर अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवते.

थर्मल इन्सुलेटर

क्रुसिबल, सीड होल्डर, डिफ्लेक्टर आणि फिल्टरसह SiC, GaN आणि AlN क्रिस्टल वाढीचे घटक. रेझिस्टिव्ह हीटिंग एलिमेंट्स, नोझल्स, शिल्डिंग रिंग्स आणि ब्रेझिंग फिक्स्चर, GaN आणि SiC एपिटॅक्सियल CVD रिॲक्टर घटकांसह वेफर कॅरियर्स, सॅटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड्स, कॅप्स आणि पेडेस्टल्स, MOCVD घटकांसह औद्योगिक असेंब्ली.

उद्देश:

● LED (प्रकाश उत्सर्जक डायोड) वेफर वाहक

● ALD(सेमीकंडक्टर) रिसीव्हर

● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहांचा SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर SiC एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी TaC लेपित रिंग TaC लेपित तीन-पाकळ्यांची रिंग LPE साठी टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग

SiC कोटिंग आणि TaC कोटिंगची तुलना:

	SiC	TaC
मुख्य वैशिष्ट्ये	अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिकार	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
शुद्धता	>99.9999%	>99.9999%
घनता (g/cm³)	3.21	15
कडकपणा (किलो/मिमी²)	2900-3300	६.७-७.२
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
थर्मल चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10^-6/℃)	४.५-५	6.3
अर्ज	सेमीकंडक्टर उपकरणे सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शॉवर हेड, डमी वेफर)	SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, Epi, UV LED उपकरणे भाग

View as

सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड

वेटेक सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक निर्माता आणि चीनमधील सच्छिद्र टँटलम कार्बाइड उत्पादनांचे नेते आहेत. सच्छिद्र टँटलम कार्बाईड सामान्यत: रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) पद्धतीने तयार केले जाते, जे त्याच्या छिद्र आकार आणि वितरणाचे अचूक नियंत्रण सुनिश्चित करते आणि उच्च तापमान अत्यंत वातावरणास समर्पित एक सामग्री साधन आहे. आपल्या पुढील सल्ल्याचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टीएसी कोटिंग मार्गदर्शक रिंग

VeTek सेमीकंडक्टरची TaC कोटिंग गाईड रिंग ग्रेफाइटच्या भागांवर टँटलम कार्बाइड लेप लावून केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (CVD) या उच्च प्रगत तंत्राचा वापर करून तयार केली जाते. ही पद्धत सुस्थापित आहे आणि अपवादात्मक कोटिंग गुणधर्म देते. TaC कोटिंग गाईड रिंगचा वापर करून, ग्रेफाइट घटकांचे आयुर्मान लक्षणीयरीत्या वाढवता येते, ग्रेफाइट अशुद्धतेची हालचाल दाबली जाऊ शकते आणि SiC आणि AIN सिंगल क्रिस्टल गुणवत्ता विश्वसनीयरित्या राखली जाऊ शकते. आमच्या चौकशीसाठी आपले स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाइड रिंग

चीनमधील टँटलम कार्बाईड रिंग उत्पादनांचे प्रगत निर्माता आणि उत्पादक म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड रिंगमध्ये अत्यंत कठोरता आहे, परिधान प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक स्थिरता आहे आणि सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणात वापरला जातो. विशेषत: सीव्हीडी, पीव्हीडी, आयन इम्प्लांटेशन प्रक्रिया, एचिंग प्रक्रिया आणि वेफर प्रक्रिया आणि वाहतुकीत हे सेमीकंडक्टर प्रक्रिया आणि उत्पादनासाठी एक अपरिहार्य उत्पादन आहे. आपल्या पुढील सल्ल्याची अपेक्षा आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट

एक व्यावसायिक टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट उत्पादन निर्माता आणि चीनमधील कारखाना म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटिंग सपोर्ट सामान्यत: सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील स्ट्रक्चरल घटक किंवा सपोर्ट घटकांच्या पृष्ठभागाच्या कोटिंगसाठी वापरला जातो, विशेषत: सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेतील मुख्य उपकरणाच्या घटकांच्या पृष्ठभागाच्या संरक्षणासाठी. CVD आणि PVD. तुमच्या पुढील सल्लामसलतीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाईड मार्गदर्शक रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर एक व्यावसायिक निर्माता आणि चीनमधील टँटलम कार्बाईड गाईड रिंग उत्पादनांचे नेते आहेत. आमची टॅन्टलम कार्बाईड (टीएसी) गाईड रिंग हा टँटलम कार्बाईडपासून बनविलेला एक उच्च-कार्यक्षमता रिंग घटक आहे, जो सामान्यत: सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये वापरला जातो, विशेषत: उच्च-तापमान आणि उच्च संक्षिप्त वातावरणात जसे की सीव्हीडी, पीव्हीडी, एचिंग आणि डिफ्यूजन. वेटेक सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी प्रगत तंत्रज्ञान आणि उत्पादन समाधान प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहे आणि आपल्या पुढील चौकशीचे स्वागत करते.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर

चीनमधील TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर उत्पादनांचा व्यावसायिक निर्माता, नवोदित आणि नेता म्हणून. VeTek सेमीकंडक्टर TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर सामान्यत: रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) आणि आण्विक बीम एपिटॅक्सी (MBE) उपकरणांमध्ये स्थापित केले जाते आणि वेफर्सला एकसमान सामग्री जमा करणे आणि कार्यक्षम प्रतिक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी समर्थन आणि फिरवते. सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. तुमच्या पुढील सल्लामसलतीचे स्वागत आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक SiC Epitaxy प्रक्रिया निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.