CVD TaC लेपित ससेप्टर

उत्पादन व्याख्या आणि रचना

VETEK CVD TaC कोटेड ससेप्टर हा हाय-एंड वेफर वाहक घटक आहे जो विशेषत: थर्ड-जनरेशन सेमीकंडक्टर (SiC, GaN, AlN) एपिटॅक्सियल प्रक्रियेसाठी वापरला जातो. हे उत्पादन दोन उच्च-कार्यक्षमता सामग्रीचे भौतिक फायदे एकत्र करते:

उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट: सब्सट्रेटमध्ये उत्कृष्ट संरचनात्मक सामर्थ्य, उच्च घनता आणि थर्मल प्रक्रिया स्थिरता असल्याची खात्री करण्यासाठी आयसोस्टॅटिक प्रेसिंग मोल्डिंग प्रक्रियेचा वापर करते.

CVD TaC कोटिंग: प्रगत रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) तंत्रज्ञानाद्वारे ग्रेफाइट पृष्ठभागावर एक दाट, तणावमुक्त टँटलम कार्बाइड (TaC) संरक्षक स्तर वाढविला जातो.

मुख्य तांत्रिक फायदे: असाधारण अत्यंत पर्यावरण अनुकूलता

MOCVD प्रक्रियेमध्ये, TaC कोटिंग हा केवळ एक भौतिक संरक्षणात्मक स्तर नाही तर प्रक्रियेची पुनरावृत्ती सुनिश्चित करण्यासाठी मुख्य आहे:

अत्यंत उच्च तापमानास सहनशीलता: TaC चा वितळण्याचा बिंदू 3880°C इतका उच्च आहे, अगदी 1600°C वरील अति-उच्च तापमान एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतही उत्कृष्ट आकार स्थिरता राखतो.

उत्कृष्ट गंज प्रतिकार: NH₃(अमोनिया) किंवा H₂(हायड्रोजन) असलेल्या मजबूत कमी करणाऱ्या वातावरणात, TaC चा गंज दर अत्यंत कमी आहे, प्रभावीपणे सब्सट्रेटचे नुकसान आणि अशुद्धता पर्जन्य रोखते.

अति-उच्च शुद्धता हमी: कोटिंगची शुद्धता 99.9995% इतकी जास्त आहे. त्याची दाट रचना ग्रेफाइट मायक्रोपोरेस पूर्णपणे सील करते, एपिटॅक्सियल फिल्म अत्यंत कमी अशुद्धतेच्या पातळीपर्यंत पोहोचते याची खात्री करते.

अचूक थर्मल फील्ड वितरण: VETEK चे ऑप्टिमाइझ्ड कोटिंग कंट्रोल तंत्रज्ञान हे सुनिश्चित करते की ससेप्टर पृष्ठभागाच्या तापमानातील फरक ±2°C च्या आत नियंत्रित केला जातो, ज्यामुळे वेफर एपिटॅक्सियल लेयरची जाडी आणि तरंगलांबी सुसंगतता लक्षणीयरीत्या सुधारते.

तांत्रिक मापदंड

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:

कोर ऍप्लिकेशन फील्ड

SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) एपिटॅक्सियल ग्रोथ: 6-इंच, 8-इंच आणि मोठ्या आकाराच्या SiC पॉवर उपकरणांच्या उत्पादनास समर्थन देते.

GaN (Gallium Nitride) आधारित उपकरणे: उच्च-ब्राइटनेस LEDs, HEMT पॉवर डिव्हाइसेस आणि RF चिप्ससाठी MOCVD प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते.

AlN (ॲल्युमिनियम नायट्राइड) आणि UVC वाढ: डीप यूव्ही LEDs सारख्या अल्ट्रा-वाइड बँडगॅप सामग्रीसाठी अत्यंत उच्च-तापमान (1400°C+) वाहक उपाय प्रदान करते.

सानुकूलित संशोधन समर्थन: विविध अनियमित भाग आणि मल्टी-होल डिस्क्ससाठी संशोधन संस्थांच्या अचूक सानुकूलन आवश्यकतांशी जुळवून घेते.

सुसंगत मॉडेल आणि कस्टमायझेशन सेवा

VETEK कडे अचूक यांत्रिक प्रक्रिया आणि कोटिंग क्षमता आहेत, जागतिक मुख्य प्रवाहातील MOCVD उपकरणांशी पूर्णपणे जुळवून घेत:

AIXTRON: विविध ग्रह परिभ्रमण डिस्क आणि तळांना समर्थन देते.

वीको: K465i, प्रोपेल आणि इतर उभ्या ससेप्टर मालिकेला सपोर्ट करते.

AMEC आणि इतर: पूर्णपणे सुसंगत पुनर्स्थित भाग किंवा अपग्रेड उपाय प्रदान करते.