उत्पादने
उत्पादने
टीएसी कोटिंग चक
  • टीएसी कोटिंग चकटीएसी कोटिंग चक

टीएसी कोटिंग चक

वेटेक सेमीकंडक्टरच्या टीएसी कोटिंग चकमध्ये पृष्ठभागावर उच्च-गुणवत्तेची कोटिंग आहे, जी त्याच्या उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक जडत्वसाठी ओळखली जाते, विशेषत: सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) एपिटॅक्सी (ईपीआय) प्रक्रियेमध्ये. त्याच्या अपवादात्मक वैशिष्ट्यांसह आणि उत्कृष्ट कामगिरीसह, आमची टीएसी कोटिंग चक अनेक मुख्य फायदे देते. आम्ही स्पर्धात्मक किंमतीत दर्जेदार उत्पादने प्रदान करण्यास वचनबद्ध आहोत आणि चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहोत.

एसआयसी ईपीआय प्रक्रियेमध्ये अपवादात्मक परिणाम साध्य करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टरचा टीएसी कोटिंग चक हा एक आदर्श उपाय आहे. त्याच्या टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग, उच्च-तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक जडत्व सह, आमचे उत्पादन आपल्याला सुस्पष्टता आणि विश्वासार्हतेसह उच्च-गुणवत्तेचे क्रिस्टल्स तयार करण्यास सामर्थ्य देते. आम्हाला चौकशी करण्याचे काम.



टॅक टॅन्टलम कार्बाईड ही एक सामग्री आहे जी सामान्यत: एपिटेक्सियल उपकरणांच्या अंतर्गत भागांच्या पृष्ठभागावर कोट करण्यासाठी वापरली जाते. त्यात खालील वैशिष्ट्ये आहेत:


Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section

उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार: टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग 2200 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमानाचा प्रतिकार करू शकते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल रिएक्शन चेंबर्ससारख्या उच्च तापमान वातावरणात अनुप्रयोगांसाठी ते आदर्श बनवतात.


उच्च कडकपणा: टॅन्टलम कार्बाईडची कडकपणा सुमारे 2000 एचके पर्यंत पोहोचते, जी सामान्यतः वापरल्या जाणार्‍या स्टेनलेस स्टील किंवा अ‍ॅल्युमिनियम धातूंच्या तुलनेत खूपच कठीण आहे, जी पृष्ठभागाच्या पोशाखास प्रभावीपणे प्रतिबंधित करू शकते.


मजबूत रासायनिक स्थिरता: टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग रासायनिकदृष्ट्या संक्षारक वातावरणात चांगले प्रदर्शन करते आणि एपिटॅक्सियल उपकरणांच्या घटकांच्या सेवा जीवनात मोठ्या प्रमाणात वाढवू शकते.


चांगली विद्युत चालकता: कोटिंग पृष्ठभागामध्ये चांगली विद्युत चालकता असते, जी इलेक्ट्रोस्टेटिक रिलीझ आणि उष्णता वाहकांना अनुकूल आहे.


हे गुणधर्म टॅक टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंगला अंतर्गत बुशिंग्ज, रिएक्शन चेंबरच्या भिंती आणि एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी हीटिंग घटकांसारख्या गंभीर भागांच्या निर्मितीसाठी एक आदर्श सामग्री बनवतात. या घटकांना टीएसीसह लेप देऊन, एपिटॅक्सियल उपकरणांचे एकूण कार्यप्रदर्शन आणि सेवा जीवन सुधारले जाऊ शकते.


सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सीसाठी, टीएसी कोटिंगचा भाग देखील महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावू शकतो. पृष्ठभाग कोटिंग गुळगुळीत आणि दाट आहे, जे उच्च-गुणवत्तेच्या सिलिकॉन कार्बाइड चित्रपटांच्या निर्मितीस अनुकूल आहे. त्याच वेळी, टीएसीची उत्कृष्ट थर्मल चालकता उपकरणांच्या आत तापमान वितरणाची एकसमानता सुधारण्यास मदत करू शकते, ज्यामुळे एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची तापमान नियंत्रण अचूकता सुधारते आणि शेवटी उच्च गुणवत्तेची प्राप्ती होतेसिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियलथर वाढ.


टीएसी टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग भागाचे उत्पादन पॅरामीटर

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म
कोटिंग घनता 14.3 (जी/सेमी)
विशिष्ट एमिसिव्हिटी 0.3
औष्णिक विस्तार गुणांक 6.3*10-6/के
कडकपणा (एचके) 2000 एचके
प्रतिकार 1 × 10-5ओहम*सेमी
थर्मल स्थिरता <2500 ℃
ग्रेफाइट आकार बदल -10 ~ -20um
कोटिंग जाडी ≥20UM ठराविक मूल्य (35um ± 10um)


वेटेक सेमीकंडक्टरची उत्पादने दुकाने:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment


हॉट टॅग्ज: टीएसी कोटिंग चक
चौकशी पाठवा
संपर्क माहिती
  • पत्ता

    वांगडा रोड, झियांग स्ट्रीट, वुई काउंटी, जिन्हुआ सिटी, झेजियांग प्रांत, चीन

  • दूरध्वनी

    +86-18069220752

  • ई-मेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग, टँटलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट किंवा किंमत सूचीबद्दल चौकशीसाठी, कृपया आम्हाला तुमचा ईमेल पाठवा आणि आम्ही 24 तासांच्या आत संपर्कात राहू.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept