उत्पादने

तुम्ही डिपॉझिशन चेंबरमध्ये असमान वायू प्रवाह किंवा कण दूषिततेचा सामना केला असल्यास, VETEK CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट शॉवर हेड हे निराकरण करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. हे थर्मल स्थिरता आणि सुलभ मशीनिंगसाठी उच्च-शुद्धतेच्या आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइटसह सुरू होते, नंतर एक दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते जे पृष्ठभागावर सील करते, संक्षारक वायूंचा प्रतिकार करते (जसे की HCl किंवा NF₃), आणि बाहेर पडणे प्रतिबंधित करते. परिणाम म्हणजे गॅस वितरण प्लेट जी संपूर्ण वेफरमध्ये एकसमान प्रवाह वितरीत करते, उच्च-तापमान एपिटॅक्सी हाताळते आणि बेअर ग्रेफाइट किंवा क्वार्ट्जपेक्षा जास्त काळ टिकते – ज्यामुळे ते CVD, PECVD, MOCVD, सिलिकॉन एपिटॅक्सी आणि SiC एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी एक विश्वसनीय घटक बनते. आम्ही सानुकूल भोक नमुने आणि आकार देखील ऑफर करतो, कारण कोणतेही दोन अणुभट्ट्या एकसारखे नसतात.

VeTek सेमीकंडक्टर हाय प्युरिटी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पावडर विशेषतः SiC क्रिस्टल ग्रोथ, सेमीकंडक्टर मटेरियल आणि प्रगत सिरेमिक ऍप्लिकेशन्ससाठी विकसित केले आहे. प्रगत शुद्धीकरण तंत्रज्ञान आणि कठोर गुणवत्ता नियंत्रणाद्वारे, आमची SiC पावडर अल्ट्रा-कमी अशुद्धता पातळी, स्थिर कण वितरण आणि मागणी उत्पादन प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट सुसंगतता प्रदान करते.

SiC PVT क्रिस्टल ग्रोथ सेटअपमध्ये, ग्रेफाइटचे भाग खूप उच्च तापमानात दीर्घ कालावधीसाठी चालवले जातात. VeTek ची PyC लेपित ग्रेफाइट रिंग अशा प्रकारच्या कर्तव्यासाठी तयार केली आहे. पायरोलिटिक कार्बनचा थर CVD द्वारे उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटवर जमा होतो. यामुळे भागाला चांगली पृष्ठभागाची स्थिरता मिळते आणि ऑपरेशन दरम्यान कमी कण बाहेर पडतात. वाष्प प्रवाह आणि भट्टीमध्ये उष्णता कशी पसरते हे व्यवस्थापित करण्यात मदत करण्यासाठी तुम्ही सहसा ते थर्मल फील्ड एरियामध्ये ठेवता. जेव्हा गोष्टी 2200°C च्या वर जातात तेव्हा कोटिंग ग्रेफाइटचे उदात्तीकरण कमी करते, ज्यामुळे संपूर्ण घटक जास्त काळ टिकतो.

वेफर ट्रॅकिंग झोनला वेढण्यासाठी डिझाइन केलेले, सॉलिड SiC फोकस रिंग रेखीय प्लाझ्मा वितरण आणि अचूक एज-टू-सेंटर इच प्रोफाइल सुनिश्चित करते. हे प्रीमियम β-SiC घटक Vetek सेमीकंडक्टर (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) द्वारे तयार केले जातात. कच्च्या मालाचे दाट, बाइंडरलेस मॅट्रिक्समध्ये बाष्पीभवन करून, वेटेक जुन्या सामग्रीमध्ये सामान्य सच्छिद्र सूक्ष्म अंतर काढून टाकते. स्टँडर्ड क्वार्ट्ज किंवा सिलिकॉन शील्डिंगच्या तुलनेत, आमचे CVD SiC घटक गंजणाऱ्या हॅलोजन वायूंपेक्षा जास्त चांगले उभे राहतात, वेफरला डीप सब-7nm लॉजिक आणि दाट मेमरी चिप मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये संरक्षण देतात. तुमच्या पुढील चौकशीची वाट पाहत आहोत.

VeTek मधील हा AMAT 0200-03201 वेफर लिफ्ट पिन उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटने सुरू होतो, त्यानंतर आम्ही वर एक दाट CVD SiC कोटिंग जोडतो. हे 300 मिमी एपिटॅक्सी सिस्टम आणि अप्लाइड मटेरियल EPI रिॲक्टर्ससाठी बनवले आहे. ग्रेफाइट आणि SiC का? ग्रेफाइट उष्णता खरोखर चांगले हाताळते. SiC थर संक्षारक वायू घेतो आणि लवकर झिजत नाही. पातळ भिंत डिझाइन? ते क्लिनर वेफर उचलणे आणि पोझिशनिंगसाठी, कमी कण आणि उच्च तापमानात दीर्घ आयुष्यासाठी आहे. आम्ही ASM, Aixtron आणि LPE सिस्टीमसाठी समान SiC कोटेड ग्रेफाइट भाग बनवतो. तुमच्या चौकशीची वाट पाहत आहे.

वेटेक सेमीकंडक्टर VEECO MOCVD सिस्टीमसाठी वेफर वाहक बनवते, विशेषत: GaN LEDs, निळे-हिरवे LEDs, आणि खोल UV LED ग्रोथ सारख्या LED epitaxy कार्यासाठी तयार केले आहे. हे वाहक उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइटपासून सुरू होतात आणि त्यांना दाट CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग मिळते. हे संयोजन तुम्ही MOCVD मध्ये पाहत असलेल्या उच्च तापमानात चांगले टिकून राहते - चांगली थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिकार आणि कोटिंग टिकते.