वेफर कॅरियरसाठी CVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर

1. उत्पादन फायदे

• उच्च शुद्धता सामग्री:सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट सामग्री आणि दाट SiC कोटिंग रचना दूषित होण्याचे धोके कमी करते आणि CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टरची विश्वासार्हता सुधारते.
• उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता:ऑप्टिमाइज्ड ग्रेफाइट संरचना आणि SiC कोटिंग स्थिर उष्णता हस्तांतरण आणि एकसमान वेफर तापमान नियंत्रण प्रदान करते.
• उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार:दाट SiC कोटिंग प्रक्रिया वायू आणि संक्षारक वातावरणास मजबूत प्रतिकार देते.
• दीर्घ सेवा जीवन:उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार उच्च-तापमान एपिटॅक्सी परिस्थितीत टिकाऊपणा सुधारतात.
• कमी कण निर्मिती:दाट CVD SiC पृष्ठभाग कण सोडणे कमी करते आणि वेफर प्रक्रियेची विश्वासार्हता सुधारते.
• सानुकूलित डिझाइन क्षमता:उपकरणे आवश्यकतेनुसार विविध आकार, संरचना आणि कॉन्फिगरेशनमध्ये उपलब्ध.

2. तांत्रिक तपशील

3. अनुप्रयोग

• SiC एपिटॅक्सी प्रक्रिया:ग्रेफाइट ससेप्टरचा वापर SiC epitaxy उपकरणांमध्ये वेफर वाहक म्हणून केला जातो, उच्च-तापमान एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान SiC सब्सट्रेट्सला आधार देतो.
• सिलिकॉन एपिटॅक्सी प्रक्रिया:वेफर्सना सपोर्ट करण्यासाठी आणि स्थिर थर्मल स्थिती राखण्यासाठी सिलिकॉन एपिटॅक्सियल रिॲक्टर्समध्ये लागू केले जाते.
• MOCVD Epitaxy:VETEK ग्रेफाइट ससेप्टर्स MOCVD, LED epitaxy, GaN epitaxy, सिलिकॉन epitaxy आणि इतर सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी योग्य आहेत ज्यांना उत्कृष्ट थर्मल एकरूपता आणि रासायनिक स्थिरता आवश्यक आहे.
• सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणे:LPE क्षैतिज भट्टी, Aixtron, NuFlare आणि संबंधित सेमीकंडक्टर उपकरणांसह विविध एपिटॅक्सी प्लॅटफॉर्मसह सुसंगत.

4. VETEK का निवडावे?

VETEK सानुकूलित CVD SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर सोल्यूशन्स प्रदान करते जे ग्रेफाइट शुद्धीकरण, अचूक मशीनिंग, CVD कोटिंग आणि तपासणी क्षमता एकत्रित करते. आमच्या सेमीकंडक्टर-ग्रेड ग्रेफाइट ससेप्टर उत्पादनांमध्ये उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग जाडी, उत्कृष्ट थर्मल कार्यप्रदर्शन आणि वेफर वाहक अनुप्रयोगांची मागणी करण्यासाठी दीर्घ सेवा आयुष्य वैशिष्ट्यीकृत आहे.