डिफ्यूजन फर्नेससाठी क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

1. प्रमुख वैशिष्ट्ये आणि फायदे

• अति-उच्च शुद्धता डिहायड्रॉक्सीलेटेड फ्यूज्ड क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%) धातूच्या अशुद्धतेसह ppb स्तरांवर नियंत्रित आणि अत्यंत कमी हायड्रॉक्सिल सामग्री

• दीर्घकालीन ऑपरेटिंग तापमान 1100 °C पर्यंत; 1200 डिग्री सेल्सिअस पर्यंत अल्पकालीन पीक प्रतिरोध

• पूर्ण ताण-निवारण ॲनिलिंगनंतर उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध—जलद तापमान बदलांमध्ये क्रॅक होण्यास प्रतिरोधक

• ऑक्सिडायझिंग, कमी करणे आणि हॅलोजन-युक्त प्रक्रिया वायूंविरूद्ध उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व; प्लाझ्मा आणि संक्षारक वातावरणासाठी योग्य

• खूप कमी व्हॅक्यूम आउटगॅसिंग; गुळगुळीत आतील भिंत उपउत्पादन तयार करणे कमी करते आणि प्रक्रिया पुनरावृत्ती होण्यास समर्थन देते

• एकसमान भिंतीची जाडी, उच्च समाक्षीयता आणि विश्वसनीय सीलिंगसाठी अचूक-पूर्ण टोकांसह एक-तुकडा तयार होतो

• सानुकूल करण्यायोग्य संरचना: सरळ नळ्या, रीड्यूसर ट्यूब, फ्लँग ट्यूब, विस्तारित लांबी आणि उभ्या किंवा क्षैतिज भट्टीसाठी विशेष अंत कॉन्फिगरेशन

2. ठराविक अनुप्रयोग

VeTek क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब्सचा वापर मुख्य प्रतिक्रिया कक्ष म्हणून मोठ्या प्रमाणावर केला जातो:

• थर्मल ऑक्सिडेशन भट्टी (कोरडे/ओले ऑक्सीकरण)

• डोपंट परिचय (B, P, As, इ.) साठी प्रसार भट्टी

• पातळ-फिल्म जमा करण्यासाठी LPCVD प्रणाली

• व्हॅक्यूम ॲनिलिंग आणि इतर उच्च-तापमान उष्णता-उपचार प्रक्रिया

• 4-इंच, 6-इंच, 8-इंच आणि 12-इंच वेफर प्लॅटफॉर्मसह सुसंगत (Si, SiC, GaN, नीलम सबस्ट्रेट्स)

ते लॉजिक, मेमरी, पॉवर डिव्हाईस, MCU, LED, MEMS आणि वाइड-बँडगॅप सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग लाईन्सचे समर्थन करतात ज्यांना स्थिर तापमान एकसमानता, गॅस-फ्लो कंट्रोल आणि अल्ट्रा-क्लीन प्रक्रिया वातावरण आवश्यक असते.

3. प्रमुख तांत्रिक मापदंड

• साहित्य: सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहायड्रॉक्सीलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%), कमी हायड्रॉक्सिल, कमी धातूची अशुद्धता

• वेफर सुसंगतता: 4 / 6 / 8 / 12 इंच

• दीर्घकालीन कार्यरत तापमान: −20 °C ते 1100 °C; अल्पकालीन शिखर 1200 डिग्री सेल्सियस पर्यंत

• प्रक्रिया: वन-पीस थर्मल फॉर्मिंग, वॉल होमोजेनायझेशन, एंड फिनिशिंग, स्ट्रेस-रिलीफ ॲनिलिंग, हेलियम लीक टेस्ट, अल्ट्रा-क्लीन क्लीनिंग

• उपलब्ध संरचना: सरळ ट्यूब, रिड्यूसर ट्यूब, फ्लँग्ड ट्यूब, विस्तारित / कस्टम-लांबीची ट्यूब, स्पेशल-एंड कॉन्फिगरेशन

• सानुकूलन: आतील/बाह्य व्यास, लांबी, भिंतीची जाडी, बाहेरील बाजूचे चष्मा आणि प्रति ग्राहक रेखाचित्रे विशेष भूमिती

4. VeTek क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब्स का निवडतात?

सेमीकंडक्टर क्वार्ट्ज घटकांचा व्यावसायिक निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर ऑफर करतो:

• ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन, LPCVD आणि ॲनिलिंग उपकरणांसाठी इंजिनिअर केलेल्या उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

• कठोर शुद्धता नियंत्रण, मितीय अचूकता आणि स्वच्छता वर्ग 10 / वर्ग 100 क्लीनरूम उत्पादनासाठी योग्य

• उभ्या आणि क्षैतिज ट्यूब फर्नेससाठी पूर्ण सानुकूलन आणि OEM-सुसंगत डिझाइन

• वेफर बोट्स, क्रूसिबल्स, लाइनर्स आणि इतर प्रक्रिया घटकांसह पूरक अर्धसंवाहक क्वार्ट्ज उत्पादने

आमच्या क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब स्थिर थर्मल आणि गॅस-फ्लो स्थिती राखण्यात मदत करतात, कण आणि धातूचे प्रदूषण कमी करतात आणि सतत उच्च-तापमान सायकलिंग अंतर्गत सेवा आयुष्य वाढवतात — उच्च उत्पन्न आणि सेमीकंडक्टर थर्मल प्रक्रियेमध्ये मालकीची कमी किंमत.