सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड

वेटेकसेमिकॉन सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड, त्याची सुस्पष्टता-इंजिनियर्ड पृष्ठभाग एकसमान गॅस वितरण सुनिश्चित करते, जे वेफर्समध्ये सातत्यपूर्ण चित्रपट जमा करण्यासाठी गंभीर आहे. दSic कोटिंगकेवळ पोशाख प्रतिकार आणि ऑक्सिडेशन प्रतिरोध वाढवित नाही तर कठोर प्रक्रियेच्या परिस्थितीत सेवा जीवन देखील वाढवते.

सेमीकंडक्टर वेफर फॅब्रिकेशन, एपिटॅक्सी आणि पातळ-फिल्म जमा मध्ये व्यापकपणे लागू, सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड विश्वासार्ह, उच्च-शुद्धता आणि दीर्घ-स्थिर प्रक्रिया घटक शोधणार्‍या उत्पादकांसाठी एक आदर्श पर्याय आहे जे पुढील पिढीतील सेमीकंडक्टर उत्पादनाची मागणी पूर्ण करतात.

वेटकेसेमी सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड शॉवरहेड उच्च-शुद्धता केमिकल वाष्प जमा केलेल्या सिलिकॉन कार्बाईडपासून तयार केले जाते आणि सेमीकंडक्टर, एलईडी आणि प्रगत इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगातील सीव्हीडी आणि एमओसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी अनुकूलित केले जाते. त्याची थकबाकी थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिकार आणि एकसमान गॅस वितरण उच्च-तापमान, अत्यंत संक्षारक वातावरणात दीर्घकालीन स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करते, प्रक्रिया पुनरावृत्ती आणि उत्पन्नामध्ये लक्षणीय सुधारणा करते.

वेटेकसेमिकॉन सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड कोर फायदे

● अल्ट्रा-उच्च शुद्धता आणि घनता

सीव्हीडी एसआयसी लेपित ग्रेफाइट शॉवर हेड उच्च-शुद्धता सीव्हीडी प्रक्रियेचा वापर करून तयार केले जाते, ज्यामुळे कोणतीही धातूची अशुद्धी दूर होते. त्याची नॉन-सच्छिद्र रचना गॅस पारगम्य आणि कण शेडिंगला प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी आणि प्रगत पॅकेजिंग प्रक्रियेसाठी अत्यंत उच्च स्वच्छता आवश्यक आहे. पारंपारिक सिंटर्ड एसआयसी किंवा ग्रेफाइट घटकांच्या तुलनेत, आमचे उत्पादन दीर्घकाळापर्यंत उच्च-तापमान ऑपरेशननंतरही स्थिर कामगिरी राखते, देखभाल वारंवारता आणि उत्पादन खर्च कमी करते.

● उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता

उच्च-तापमान सीव्हीडी आणि एमओसीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये, थर्मल तणावामुळे पारंपारिक सामग्री विकृती किंवा क्रॅक करण्यास संवेदनशील असते. सीव्हीडी एसआयसी शॉवरहेड 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत तापमानाचा प्रतिकार करते आणि थर्मल विस्ताराचे अत्यंत कमी गुणांक दर्शवते, जलद तापमानात वाढ आणि कमी होण्याच्या दरम्यान स्ट्रक्चरल स्थिरता सुनिश्चित करते. त्याची एकसमान थर्मल चालकता रिएक्शन चेंबरमध्ये तापमान वितरणास अधिक अनुकूल करते, वेफर एज आणि सेंटरमधील जमा दरातील फरक कमी करते आणि चित्रपट एकरूपता सुधारते.

● प्लाझ्मा अँटी गंज

एचिंग किंवा जमा प्रक्रियेदरम्यान, अत्यंत संक्षारक वायू (जसे की सीएफ₄, सीएल₂, आणि एचबीआर) पारंपारिक क्वार्ट्ज किंवा ग्रेफाइट घटक वेगाने कमी करा. सीव्हीडी एसआयसी मटेरियल प्लाझ्मा वातावरणात अपवादात्मक गंज प्रतिकार दर्शविते, ज्यात पारंपारिक सामग्रीच्या 3-5 पट आयुष्य आहे. वास्तविक ग्राहक चाचणीने हे सिद्ध केले आहे की 2000 तासांच्या सतत ऑपरेशननंतरही, छिद्र आकाराचे भिन्नता ± 1%च्या आतच राहते, दीर्घकालीन स्थिर गॅस प्रवाह वितरण सुनिश्चित करते.

● दीर्घ आयुष्य आणि कमी देखभाल खर्च

पारंपारिक ग्रेफाइट घटकांना वारंवार बदलीची आवश्यकता असते, तर एसआयसी लेपित सीव्हीडी शॉवर हेड कठोर वातावरणातही स्थिर कामगिरी राखते. यामुळे एकूण खर्च 40%पेक्षा कमी होते. शिवाय, सामग्रीची उच्च यांत्रिक शक्ती हाताळणी किंवा स्थापनेदरम्यान अपघाती नुकसान प्रतिबंधित करते.

● पर्यावरणीय साखळी सत्यापन मान्यता

वेटेकसेमिकॉन सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड शॉवरहेड 'इकोलॉजिकल चेन सत्यापनात कच्च्या मालाचे उत्पादन कच्चे आहे, आंतरराष्ट्रीय प्रमाणित प्रमाणपत्र पास झाले आहे आणि सेमीकंडक्टर आणि नवीन उर्जा क्षेत्रात त्याची विश्वसनीयता आणि टिकाव सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंट तंत्रज्ञान आहे.

तांत्रिक मापदंड

प्रकल्प	पॅरामीटर
साहित्य	सीव्हीडी एसआयसी (कोटिंग पर्याय उपलब्ध)
व्यास श्रेणी	100 मिमी -450 मिमी (सानुकूल करण्यायोग्य)
जाडी सहिष्णुता	± 0.05 मिमी
पृष्ठभाग उग्रपणा	≤0.2μm
लागू प्रक्रिया	सीव्हीडी/एमओसीव्हीडी/पीईसीव्हीडी/एचिंग/एपिटॅक्सी

मुख्य अनुप्रयोग फील्ड

अर्जाची दिशा	ठराविक परिस्थिती
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग	सिलिकॉन एपिटॅक्सी, गॅन/गाएस डिव्हाइस
पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स	Sic एपिटॅक्सियल वेफर उत्पादन
एलईडी	एमओसीव्हीडी नीलमणी सब्सट्रेट जमा
वैज्ञानिक संशोधन उपकरणे	उच्च-परिशुद्धता पातळ फिल्म जमा प्रणाली

पर्यावरणीय साखळी सत्यापन मान्यता

वेटेकसेमिकॉन सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाईड शॉवरहेड 'इकोलॉजिकल चेन सत्यापनात कच्च्या मालाचे उत्पादन कच्चे आहे, आंतरराष्ट्रीय प्रमाणित प्रमाणपत्र पास झाले आहे आणि सेमीकंडक्टर आणि नवीन उर्जा क्षेत्रात त्याची विश्वसनीयता आणि टिकाव सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंट तंत्रज्ञान आहे.

तपशीलवार तांत्रिक वैशिष्ट्ये, पांढरे कागदपत्रे किंवा नमुना चाचणी व्यवस्थेसाठी, कृपयाआमच्या तांत्रिक समर्थन कार्यसंघाशी संपर्क साधावेटेकसेमॉन आपली प्रक्रिया कार्यक्षमता कशी वाढवू शकते हे शोधण्यासाठी.