सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड

VeTek सेमीकंडक्टर सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड हा प्लाझ्मा एचिंग उपकरण, सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइडमध्ये एक महत्त्वाचा सिरेमिक घटक आहेCVD सिलिकॉन कार्बाइड) नक्षीकाम उपकरणांमधील भागांचा समावेश होतोफोकसिंग रिंग, गॅस शॉवरहेड, ट्रे, एज रिंग्स इ. घन सिलिकॉन कार्बाइड (सीव्हीडी सिलिकॉन कार्बाइड) ची क्लोरीन - आणि फ्लोरिनयुक्त नक्षी वायूंची कमी प्रतिक्रिया आणि चालकता यामुळे, हे प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे फोकस करणाऱ्या रिंग्ज आणि इतरांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. घटक

उदाहरणार्थ, फोकस रिंग हा एक महत्त्वाचा भाग आहे जो वेफरच्या बाहेर ठेवला जातो आणि वेफरच्या थेट संपर्कात असतो, रिंगमधून जाणारा प्लाझ्मा फोकस करण्यासाठी रिंगला व्होल्टेज लागू करून, त्याद्वारे प्लाझ्मा वेफरवर फोकस करून एकसमानता सुधारते. प्रक्रिया करत आहे. पारंपारिक फोकस रिंग सिलिकॉन किंवा बनलेले आहेक्वार्ट्ज, एक सामान्य फोकस रिंग सामग्री म्हणून प्रवाहकीय सिलिकॉन, ते जवळजवळ सिलिकॉन वेफर्सच्या चालकतेच्या जवळ आहे, परंतु कमतरता फ्लोरिन-युक्त प्लाझ्मामध्ये खराब कोरीव प्रतिरोधक आहे, एचिंग मशीन भाग साहित्य अनेकदा ठराविक कालावधीसाठी वापरले जाते, तेथे गंभीर समस्या असतील. गंज घटना, गंभीरपणे त्याची उत्पादन कार्यक्षमता कमी.

Solid SiC फोकस रिंगकार्य तत्त्व：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना:

आणि आधारित फोकसिंग रिंग आणि CVD SiC फोकसिंग रिंगची तुलना
आयटम	आणि	CVD SiC
घनता (g/cm³)	2.33	3.21
बँड गॅप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
लवचिक मापांक (GPa)	150	440
कडकपणा (GPa)	11.4	24.5
पोशाख आणि गंज प्रतिकार	गरीब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकंडक्टर सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी SiC फोकसिंग रिंगसारखे प्रगत सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड (CVD सिलिकॉन कार्बाइड) भाग ऑफर करते. यांत्रिक शक्ती, रासायनिक प्रतिकार, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान टिकाऊपणा आणि आयन एचिंग प्रतिरोधकता या बाबतीत आमची घन सिलिकॉन कार्बाइड फोकसिंग रिंग पारंपारिक सिलिकॉनला मागे टाकते.

आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्सची प्रमुख वैशिष्ट्ये समाविष्ट आहेत:

कमी नक्षी दरांसाठी उच्च घनता.

उच्च बँडगॅपसह उत्कृष्ट इन्सुलेशन.

उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्तार कमी गुणांक.

उत्कृष्ट यांत्रिक प्रभाव प्रतिरोध आणि लवचिकता.

उच्च कडकपणा, पोशाख प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार.

वापरून उत्पादितप्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प संचय (PECVD)तंत्रे, आमच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उत्पादनात एचिंग प्रक्रियेच्या वाढत्या मागण्या पूर्ण करतात. ते विशेषतः उच्च प्लाझ्मा पॉवर आणि उर्जेचा सामना करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहेतकॅपेसिटिवली कपल्ड प्लाझ्मा (सीसीपी)प्रणाली

VeTek सेमीकंडक्टरच्या SiC फोकसिंग रिंग्स सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मितीमध्ये अपवादात्मक कामगिरी आणि विश्वासार्हता प्रदान करतात. उत्कृष्ट गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसाठी आमचे SiC घटक निवडा.

View as

सॉलिड sic एचिंग फोकसिंग रिंग

सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंग हे वेफर एचिंग प्रक्रियेचा मुख्य घटक आहे, जो वेफरचे निराकरण करण्यात, प्लाझ्मावर लक्ष केंद्रित करण्यास आणि वेफर एचिंग एकरूपता सुधारण्यात भूमिका बजावते. चीनमधील अग्रगण्य एसआयसी फोकसिंग रिंग निर्माता म्हणून, वेटेक सेमीकंडक्टरकडे प्रगत तंत्रज्ञान आणि परिपक्व प्रक्रिया आहे आणि ग्राहकांच्या आवश्यकतेनुसार शेवटच्या ग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करणार्‍या सॉलिड एसआयसी एचिंग फोकसिंग रिंगची निर्मिती करते. आम्ही आपल्या चौकशीची आणि एकमेकांचे दीर्घकालीन भागीदार बनण्याची अपेक्षा करतो.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक सॉलिड सिलिकॉन कार्बाइड निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.