CVD सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट RTP RTA वाहक

उत्पादन वैशिष्ट्ये

· मुख्य उपकरणे:रॅपिड थर्मल एनीलिंग (आरटीए) आणि रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी) सिस्टमसाठी डिझाइन केलेले.

· प्रिमाry Aअर्ज: सेमीकंडक्टर वेफर ॲनिलिंग प्रक्रियेसाठी ऑप्टिमाइझ केलेले.

· सहकारीeरेटिंग Teतापमान:200°C ते 700°C पर्यंत स्थिर ऑपरेशन.

· Excइलेंट थेरmal एकरूपता: सुसंगत वेफर प्रक्रियेसाठी समान उष्णता वितरण सुनिश्चित करते.

· कमी कणGनिर्मिती: दाट CVD SiC कोटिंग दूषितता कमी करते आणि उत्पादन उत्पन्न सुधारते.

· उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार:थर्मल प्रक्रियेदरम्यान ऑक्सिडेशन आणि संक्षारक प्रक्रिया वायूंना प्रतिरोधक.

· उत्कृष्टg थर्मअल शॉक प्रतिकार: पुनरावृत्ती जलद गरम आणि शीतकरण चक्रांद्वारे संरचनात्मक अखंडता राखते.

· दीर्घ सेवा जीवन:पोशाख-प्रतिरोधक SiC कोटिंग घटकाचे आयुष्य लक्षणीयरीत्या वाढवते आणि देखभाल खर्च कमी करते.

· सानुकूलउत्पादन:विविध आरटीपी/आरटीए उपकरणांशी जुळण्यासाठी विविध आकार आणि कॉन्फिगरेशनमध्ये उपलब्ध.

तांत्रिक तपशील

अर्ज

·रॅपिड थर्मल एनीलिंग (आरटीए)

· रॅपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP)

· सिलिकॉन वेफर एनीलिंग

· डोपंट सक्रियकरण

· ऑक्सिडेशन

· प्रसार

·कंपाऊंड सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग

·एमईएमएस फॅब्रिकेशन

·पॉवर सेमीकंडक्टर प्रक्रिया

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न

1. RTP/RTA वाहक म्हणजे काय?

आरटीपी/आरटीए वाहक हा वेगवान थर्मल प्रक्रिया आणि जलद थर्मल ॲनिलिंग सिस्टममध्ये वापरला जाणारा वेफर सपोर्ट घटक आहे. संपूर्ण थर्मल सायकलमध्ये एकसमान उष्णता हस्तांतरण प्रदान करताना ते सेमीकंडक्टर वेफर्स सुरक्षितपणे धारण करते.

2. CVD SiC कोटिंगला प्राधान्य का दिले जाते?

बेअर ग्रेफाइटच्या तुलनेत, CVD SiC कोटिंग उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोध, कमी कण निर्मिती, उत्तम रासायनिक स्थिरता आणि लक्षणीय दीर्घ सेवा आयुष्य देते.

3. VETEK सानुकूलित RTP/RTA वाहक प्रदान करू शकतो?

होय. VETEK ग्राहकांच्या रेखाचित्रांवर आधारित सानुकूलित RTP/RTA वाहक ऑफर करते.