उच्च शुद्धता कठोर वाटले

SiC epitaxial ग्रोथ हे सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर उच्च-गुणवत्तेचे सिलिकॉन कार्बाइड पातळ फिल्म्स वाढवण्याचे तंत्रज्ञान आहे. सिलिकॉन कार्बाइड पॉवर उपकरणे आणि सिलिकॉन कार्बाइड आरएफ उपकरणांसारख्या उच्च-कार्यक्षमता सिलिकॉन कार्बाइड सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी ही प्रक्रिया आवश्यक आहे. या प्रक्रियेत, तापमान, वायू प्रवाह, दाब आणि इतर मापदंडांसह वाढीचे वातावरण, चांगल्या विद्युत गुणधर्मांसह उच्च-गुणवत्तेच्या, उच्च-शुद्धतेच्या सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल स्तरांची वाढ सुनिश्चित करण्यासाठी कठोरपणे नियंत्रित करणे आवश्यक आहे. SiC coatig हाफमून ग्रेफाइट भाग हा SIC एपिटॅक्सियल वाढीचा मुख्य घटक आहे आणि उच्च शुद्धता कठोर फील प्रामुख्याने SiC कोटिग हाफमून ग्रेफाइट भागांच्या उष्णता संरक्षणाची भूमिका बजावते.

उच्च शुद्धतेच्या कडक फीलमध्ये चांगली थर्मल चालकता असते, जी SiC कोटिग हाफमून ग्रेफाइट भागांभोवती गरम स्त्रोताची उष्णता समान रीतीने वितरीत करू शकते आणि त्याचा चांगला उष्णता संरक्षण प्रभाव असतो. SiC एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान, ते उष्णता शोषून घेते आणि स्थानिक जास्त गरम होणे किंवा जास्त थंड होणे टाळण्यासाठी हळूहळू सोडू शकते, ज्यामुळे सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावरील तापमानातील फरक अगदी लहान मर्यादेत नियंत्रित केला जातो आणि तापमान एकसारखेपणा सामान्यतः ±1 पर्यंत पोहोचू शकतो. - 2℃, जे एकसमान जाडी आणि सातत्यपूर्ण विद्युत गुणधर्मांसह सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॅक्सियल लेयर वाढवण्यासाठी खूप महत्वाचे आहे.

सिलेन (एसआयएच 4) आणि प्रोपेन (सी 3 एच 8) सारख्या काही संक्षारक वायू एसआयसी एपिटॅक्सियल ग्रोथमध्ये प्रतिक्रिया स्त्रोत वायू म्हणून वापरल्या जातात. उच्च शुद्धता कठोर वाटले या रासायनिक वायूंना चांगले सहनशीलता आहे आणि संपूर्ण एपिटॅक्सियल ग्रोथ चक्रात (जे तास किंवा डझनभर तास टिकू शकते) संपूर्ण स्ट्रक्चरल अखंडता राखू शकते. आणि उच्च शुद्धता कठोरपणाची शुद्धता 99.99%च्या वर आहे आणि हे असे पदार्थ सोडणार नाही जे प्रतिक्रियेच्या वातावरणामध्ये एपिटॅक्सियल थर दूषित करू शकतील, ज्यामुळे सिलिकॉन कार्बाईड एपिटॅक्सियल लेयरची उच्च शुद्धता सुनिश्चित होईल.

योग्य घनता उच्च शुद्धता कठोरपणाची यांत्रिक शक्ती आणि औष्णिक चालकता सुनिश्चित करू शकते. थर्मल चालकता सुनिश्चित करताना, ते एसआयसी एपिटॅक्सियल वाढीवरील बाह्य घटकांचा हस्तक्षेप कमी करू शकते.

पारंपारिक सिरॅमिक मटेरियल आणि मेटल मटेरियलच्या तुलनेत, उच्च शुद्धता असलेल्या ग्रेफाइट रिजिड फीलमध्ये उत्तम थर्मल चालकता आणि रासायनिक स्थिरता असते आणि SiC एपिटॅक्सियल वाढीसाठी एक उत्कृष्ट सहायक घटक सामग्री आहे.

एक प्रमुख चायना हाय प्युरिटी रिजिड फील सप्लायर आणि फॅक्टरी म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर अत्यंत सानुकूलित उत्पादने पुरवतो, मग ते साहित्य असो किंवा उत्पादनाचा आकार असो, ते तुमच्यासाठी तयार केले जाऊ शकते. शिवाय, VeTek सेमीकंडक्टर प्रगत उच्च शुद्धता कठोर फील तंत्रज्ञान प्रदान करण्यासाठी खूप पूर्वीपासून वचनबद्ध आहे. आणि सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उत्पादन उपाय. चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.

वेटेक सेमीकंडक्टर उच्च शुद्धता कठोर उत्पादनाची दुकाने: