उद्योग बातम्या

एसआयसी सिरेमिक ही एक सिरेमिक सामग्री आहे जी सिलिकॉन (एसआय) आणि कार्बन (सी) घटकांच्या प्रतिक्रियेद्वारे तयार केली जाते, ज्यामध्ये अत्यंत कठोरता, उष्णता प्रतिकार आणि रासायनिक स्थिरता असते.

सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनच्या उच्च-स्टेक्स जगात, सुस्पष्टता आणि स्थिरता ही प्रत्येक गोष्ट आहे-आणि तिथेच इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ईएससी) आत प्रवेश करते. फक्त होल्डिंग टूलपेक्षा जास्त, ईएससी इलेक्ट्रोस्टॅटिक शक्तींचा वापर एचिंग, डिपॉझिशन आणि आयन इम्प्लांटेशन सारख्या गंभीर प्रक्रियेदरम्यान सुरक्षितपणे पककण्यासाठी करते. पण प्रत्यक्षात ते कसे कार्य करते? हे पारंपारिक मेकॅनिकल क्लॅम्पिंगपेक्षा श्रेष्ठ का आहे? आणि नॅनोस्केल अचूकता आणि थ्रूपूट कार्यक्षमता मिळविण्यात कोणती भूमिका बजावते? वाचन आपले स्वागत आहे.

इलेक्ट्रोस्टेटिक चकचे डेकक तत्त्व त्याच्या वर्कफ्लोचा एक महत्त्वाचा भाग आहे ज्यामध्ये इलेक्ट्रोस्टेटिक शक्ती निर्मूलन आणि वेफर रीलिझ यंत्रणेचा समावेश आहे.