सीव्हीडी एसआयसी लेपित वेफर स्यूससेप्टर

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, एपिटॅक्सी चिप उत्पादनाची एक महत्त्वपूर्ण पायरी आहे आणि वेफर स्यूससेप्टर, एपिटॅक्सियल उपकरणांचा मुख्य घटक म्हणून, एकरूपता, दोष दर आणि एपिटॅक्सियल लेयर ग्रोथच्या कार्यक्षमतेवर थेट परिणाम करते. उद्योगाच्या उच्च-शुद्धतेची वाढती मागणी, उच्च-स्थिरता सामग्री, वेटेकसेमॉनने सीव्हीडी एसआयसी-लेपित वेफर स्यूससेप्टरची ओळख करुन दिली आहे, ज्यात अल्ट्रा-हाय शुद्धता (≤100 पीपीबी, आयसीपी-ई 10 प्रमाणित) आणि पूर्ण-आकार सुसंगतता (6 ", 8", 12 ") ची अग्रगण्य प्रक्रिया आहे.

Ⅰ. मुख्य फायदे

1. उद्योग-अग्रगण्य शुद्धता

आयसीपी-एमएस (इंडक्टिव्हली युग्मित प्लाझ्मा मास स्पेक्ट्रोमेट्री) द्वारे सत्यापित केल्यानुसार, केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) द्वारे जमा केलेले सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) कोटिंग ≤100 पीपीबी (ई 10 मानक) च्या अशुद्धता पातळी प्राप्त करते. ही अल्ट्रा-उच्च शुद्धता एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान दूषित होण्याचे जोखीम कमी करते, गॅलियम नायट्राइड (जीएएन) आणि सिलिकॉन कार्बाईड (एसआयसी) वाइड-बँडगॅप सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग सारख्या गंभीर अनुप्रयोगांसाठी उत्कृष्ट क्रिस्टल गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

2. अपवादात्मक उच्च-तापमान प्रतिकार आणि रासायनिक टिकाऊपणा

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंग उत्कृष्ट आणि रासायनिक स्थिरता वितरीत करते:

उच्च-तापमान सहनशक्ती: डिलमिनेशन किंवा विकृतीशिवाय 1600 डिग्री सेल्सियस पर्यंत स्थिर ऑपरेशन;

गंज प्रतिकार: आक्रमक एपिटॅक्सियल प्रोसेस गॅसचा प्रतिकार करते (उदा. एचसीएल, एच ₂), सेवा आयुष्य वाढवित आहे;

कमी थर्मल तणाव: एसआयसी वेफर्सच्या थर्मल एक्सपेंशन गुणांकांशी जुळते, जेरपेज जोखीम कमी करते.

3. मुख्य प्रवाहातील उत्पादन ओळींसाठी पूर्ण-आकाराची सुसंगतता

6 इंच, 8-इंच आणि 12 इंच कॉन्फिगरेशनमध्ये उपलब्ध, स्यूससेप्टर तृतीय-पिढीतील सेमीकंडक्टर, पॉवर डिव्हाइस आणि आरएफ चिप्ससह विविध अनुप्रयोगांना समर्थन देतो. त्याची सुस्पष्टता-इंजिनियर्ड पृष्ठभाग एएमटीए आणि इतर मुख्य प्रवाहातील एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांसह अखंड एकत्रीकरण सुनिश्चित करते, जे वेगवान उत्पादन लाइन अपग्रेड सक्षम करते.

4. स्थानिक उत्पादन ब्रेकथ्रू

प्रोप्रायटरी सीव्हीडी आणि पोस्ट-प्रोसेसिंग तंत्रज्ञानाचा फायदा घेत, आम्ही घरगुती आणि जागतिक ग्राहकांना एक खर्च-प्रभावी, वेगवान-वितरण आणि स्थानिक पातळीवर समर्थित पर्यायी ऑफर करून उच्च-शुद्धता एसआयसी-लेपित संवेदनाक्षमांवर परदेशी मक्तेदारी तोडली आहे.

Ⅱ. तांत्रिक उत्कृष्टता

● अचूक सीव्हीडी प्रक्रिया: ऑप्टिमाइझ्ड डिपॉझिशन पॅरामीटर्स (तापमान, गॅस प्रवाह) एकसमान जाडी (विचलन ≤3%) सह दाट, छिद्र-मुक्त कोटिंग्ज सुनिश्चित करा, कण दूषितपणा दूर करा;

● क्लीनरूम मॅन्युफॅक्चरिंग: सब्सट्रेटच्या तयारीपासून कोटिंगपर्यंत संपूर्ण उत्पादन प्रक्रिया वर्ग 100 क्लीनरूममध्ये आयोजित केली जाते, सेमीकंडक्टर-ग्रेड स्वच्छता मानकांची पूर्तता केली जाते;

● सानुकूलन: तयार केलेल्या कोटिंगची जाडी, पृष्ठभाग उग्रपणा (आरए ≤0.5μm) आणि उपकरणे कमिशनिंगला गती देण्यासाठी पूर्व-लेपित वृद्धत्व उपचार.

Ⅲ. अनुप्रयोग आणि ग्राहक लाभ

● तृतीय-पिढीतील सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी: एसआयसी आणि जीएएनच्या एमओसीव्हीडी/एमबीई वाढीसाठी आदर्श, डिव्हाइस ब्रेकडाउन व्होल्टेज वर्धित करणे आणि कार्यक्षमता स्विच करणे;

● सिलिकॉन-आधारित एपिटॅक्सी: उच्च-व्होल्टेज आयजीबीटी, सेन्सर आणि इतर सिलिकॉन डिव्हाइससाठी लेयर एकरूपता सुधारते;

● मूल्य वितरित:

एपिटॅक्सियल दोष कमी करते, चिप उत्पन्न वाढवते;

देखभाल वारंवारता आणि मालकीची एकूण किंमत कमी करते;

सेमीकंडक्टर उपकरणे आणि सामग्रीसाठी पुरवठा साखळी स्वातंत्र्य गती देते.

चीनमधील उच्च-शुद्धता सीव्हीडी एसआयसी-लेपित वेफर स्यूससेप्टर्समध्ये एक पायनियर म्हणून आम्ही अत्याधुनिक तंत्रज्ञानाद्वारे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगला प्रगती करण्यास वचनबद्ध आहोत. आमचे समाधान नवीन उत्पादन रेषा आणि लेगसी उपकरणे रिट्रोफिट्स या दोहोंसाठी विश्वसनीय कामगिरी सुनिश्चित करतात, न जुळणारी गुणवत्ता आणि कार्यक्षमतेसह एपिटॅक्सियल प्रक्रियेस सक्षम बनवतात.

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म