MOCVD साठी उच्च-शुद्ध अपारदर्शक क्वार्ट्ज शील्ड आणि शटर

1. तांत्रिक तपशील

तुमच्या विशिष्ट उपकरणांच्या मॉडेल्समध्ये परिपूर्ण फिट असल्याची खात्री करण्यासाठी आम्ही तुमच्या तांत्रिक रेखाचित्रांवर आधारित उच्च-सुस्पष्टता मशीनिंग प्रदान करतो.

2. कोर ऍप्लिकेशन फील्ड

● MOCVD प्रक्रिया संरक्षण: प्रतिक्रिया वातावरणाचे संरक्षण करण्यासाठी आवश्यक अंतर्गत ढाल/लाइनर म्हणून काम करणे.

● सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सी: पातळ-फिल्म वाढीदरम्यान प्रवाह आणि तापमान स्थिरीकरणासाठी उच्च-परिशुद्धता शटर म्हणून वापरले जाते.

● वाइड-बँडगॅप सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग: GaN आणि इतर प्रगत सामग्रीसाठी उच्च-मागणी वातावरणाशी सुसंगत.

3. VETEK क्वार्ट्ज सोल्यूशन्स का निवडावे?

● सुपीरियर थर्मल रेडिएशन व्यवस्थापन: आमच्या दुधाळ पांढऱ्या क्वार्ट्जमध्ये उच्च-तापमान थर्मल रेडिएशन (>1000 डिग्री सेल्सिअस) प्रभावीपणे विखुरलेले आणि अवरोधित करणारे सूक्ष्म-फुगे उच्च घनतेचे असतात. हे गरम घटकांमधून दृश्यमान आणि जवळ-अवरक्त प्रकाश शोषून घेते आणि त्याचे दूर-अवरक्त किरणोत्सर्गात रूपांतर करते, उच्च एकसमान गरम सुनिश्चित करते.
● प्रदूषण नियंत्रण आणि सुलभ देखभाल: बलिदान किंवा बदलण्यायोग्य आतील लाइनर म्हणून, क्वार्ट्ज शील्ड महागड्या चेंबरच्या भिंती आणि हीटर्सवर उपउत्पादन जमा होण्यापासून रोखून प्रतिक्रिया कक्ष स्वच्छ ठेवते. हे भाग ओल्या साफसफाईद्वारे (जसे की SPM+DHF सोल्यूशन्स) पुन्हा निर्माण केले जाऊ शकतात किंवा उच्च वेफर उत्पादन सुनिश्चित करण्यासाठी सहजपणे बदलले जाऊ शकतात.
● अत्यंत रासायनिक प्रतिकार: VETEK क्वार्ट्ज हे वारंवार थर्मल सायकलिंगला तोंड देण्यासाठी आणि मेटल ऑर्गेनिक्स (TMGa सारखे) आणि हायड्राइड्स (जसे AsH₃) पासून गंजण्यास प्रतिकार करण्यासाठी इंजिनियर केलेले आहे.
● अचूक प्रक्रिया नियंत्रण: आमचे क्वार्ट्ज शटर इन्फ्रारेड किंवा फिलामेंट हीटिंग अंतर्गत उच्च मितीय स्थिरता राखतात. त्यांचे कमी थर्मल जडत्व जलद यांत्रिक प्रतिसाद देते, अचूक "अणू पातळी" वाढ नियंत्रण सक्षम करते आणि मल्टी-वेफर किंवा मल्टी-प्रोसेस स्विचिंग दरम्यान क्रॉस-दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करते.
● खर्च-प्रभावी पर्याय: कठोर बजेट आवश्यकता असलेल्या प्रकल्पांसाठी, आमची क्वार्ट्ज उत्पादने कोटेड ग्रेफाइटच्या तुलनेत विश्वासार्ह एंट्री पॉइंट प्रदान करतात, MOCVD सिस्टमसाठी आवश्यक संरक्षण आणि कार्यक्षमता प्रदान करतात.