उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर वाहक

1. मुख्य वैशिष्ट्ये आणि फायदे

• अति-उच्च शुद्धता डिहायड्रॉक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%) धातूच्या अशुद्धतेसह ppb स्तरांवर नियंत्रित - वेफर दूषितता कमी करणे

• दीर्घकालीन ऑपरेटिंग तापमान 1100 डिग्री सेल्सियस पर्यंत; 1200 डिग्री सेल्सिअस पर्यंत अल्पकालीन पीक प्रतिरोध

• वारंवार तापमान सायकलिंग अंतर्गत उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि आयामी स्थिरता

• ऑक्सिडायझिंग प्रक्रिया वायू आणि सामान्य ओले-प्रक्रिया रसायने (HF, H₂O₂, ऍसिड/क्षार) विरुद्ध मजबूत रासायनिक जडत्व

• एकसमान वेफर सपोर्टसाठी गोलाकार कडा असलेली उच्च सपाटता आणि अचूक-जमिनीची पृष्ठभाग आणि काठाचे नुकसान कमी

• कमी व्हॅक्यूम आउटगॅसिंग आणि कमी पृष्ठभागाचे शोषण - अचूक व्हॅक्यूम प्रक्रियेसाठी योग्य

• पूर्णपणे सानुकूल करण्यायोग्य संरचना: घन वाहक, छिद्रित/व्हेंटेड डिझाईन्स, स्टेप्ड लोकेटिंग फीचर्स, पोझिशनिंग होल, मल्टी-पॉइंट सपोर्ट आणि 2-12 इंच वेफर्ससाठी जाड अँटी-डिफॉर्मेशन डिझाइन

2. ठराविक अनुप्रयोग

भारदस्त तापमान किंवा आक्रमक रसायनशास्त्रात वेफर्सना स्वच्छ, आकारमान स्थिर आधाराची आवश्यकता असेल तेथे हे वाहक वापरले जातात:

• डिफ्यूजन आणि एनीलिंग फर्नेस लोडिंग

• PECVD आणि LPCVD फिल्म वाढ प्रक्रिया समर्थन

• व्हॅक्यूम चेंबर आणि उच्च-तापमान प्रक्रिया टूलिंग

• पोस्ट-एच कोरडे आणि ओले-स्वच्छ स्टेशन वाहक

• SiC आणि GaN पॉवर-डिव्हाइस थर्मल प्रोसेसिंग

• ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सब्सट्रेट हाताळणी आणि प्रयोगशाळा थर्मल टूल्स

3. मुख्य तांत्रिक मापदंड

• बेस मटेरियल: सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहायड्रॉक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज, SiO₂ ≥ 99.999%

• सुसंगत वेफर आकार: 2, 4, 6, 8, आणि 12 इंच (Si, SiC, GaN, नीलम)

• शिफारस केलेले सतत तापमान श्रेणी: −20 °C ते 1100 °C; अल्पकालीन शिखर अंदाजे 1200 °C पर्यंत

• उत्पादन मार्ग: वन-पीस फॉर्मिंग, अचूक पृष्ठभाग ग्राइंडिंग, एज राऊंडिंग, स्ट्रेस-रिलीफ ॲनिलिंग आणि अल्ट्रा-क्लीन फायनल क्लीनिंग

• उपलब्ध कॉन्फिगरेशन: घन, वेंटेड/सच्छिद्र, स्टेप्ड लोकेटिंग, होल-पॅटर्न केलेले आणि पूर्णपणे सानुकूल भूमिती

• कार्यप्रदर्शन फोकस: उच्च शुद्धता, थर्मल स्थिरता, गंज प्रतिकार, पृष्ठभाग सपाटपणा, कमी आउटगॅसिंग आणि दीर्घकालीन आयामी धारणा

• कस्टमायझेशन स्कोप: बाह्य परिमाणे, जाडी, समर्थन भूमिती, छिद्र लेआउट आणि ग्राहक रेखाचित्रांवर आधारित विशेष वैशिष्ट्ये

4. VeTek उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर वाहक का निवडावे?

सेमीकंडक्टर क्वार्ट्ज घटकांचा व्यावसायिक निर्माता म्हणून, VeTek सेमीकंडक्टर ऑफर करतो:

• थर्मल, व्हॅक्यूम आणि ओले-प्रक्रिया वातावरणासाठी उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर वाहक इंजिनियर

• कठोर शुद्धता नियंत्रण, पृष्ठभाग सपाटपणा आणि प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी योग्य स्वच्छता

• फर्नेस, चेंबर आणि प्रोसेस-स्टेशन टूलिंगसाठी पूर्ण सानुकूलन आणि OEM-सुसंगत डिझाइन

• फर्नेस ट्यूब, वेफर बोट्स, क्रूसिबल्स आणि इतर प्रक्रिया घटकांसह पूरक अर्धसंवाहक क्वार्ट्ज उत्पादने

आमचे उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज वेफर वाहक एकसमान थर्मल संपर्क राखण्यात मदत करतात, कण आणि धातूचे प्रदूषण कमी करतात आणि सतत उच्च-तापमान आणि संक्षारक प्रक्रियेच्या परिस्थितीत टूलिंगचे आयुष्य वाढवतात — उच्च उत्पन्न आणि सेमीकंडक्टर उत्पादनात मालकीची कमी किंमत.