उद्योग बातम्या

केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) रासायनिक अभिक्रिया आणि यांत्रिक घर्षण यांच्या एकत्रित क्रियेद्वारे अतिरिक्त सामग्री आणि पृष्ठभागावरील दोष काढून टाकते. वेफर पृष्ठभागाचे जागतिक प्लॅनराइझेशन साध्य करण्यासाठी ही एक प्रमुख प्रक्रिया आहे आणि बहुस्तरीय कॉपर इंटरकनेक्ट आणि लो-के डायलेक्ट्रिक संरचनांसाठी अपरिहार्य आहे. व्यावहारिक उत्पादनात

सिलिकॉन वेफर सीएमपी (केमिकल मेकॅनिकल प्लानरायझेशन) पॉलिशिंग स्लरी हा सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेतील एक महत्त्वाचा घटक आहे. सिलिकॉन वेफर्स - एकात्मिक सर्किट्स (ICs) आणि मायक्रोचिप तयार करण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या - उत्पादनाच्या पुढील टप्प्यांसाठी आवश्यक असलेल्या गुळगुळीतपणाच्या अचूक स्तरावर पॉलिश केले जातात याची खात्री करण्यात ते महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, केमिकल मेकॅनिकल प्लानरायझेशन (सीएमपी) महत्वाची भूमिका बजावते. सीएमपी प्रक्रिया सिलिकॉन वेफर्सची पृष्ठभाग गुळगुळीत करण्यासाठी रासायनिक आणि यांत्रिक क्रिया एकत्र करते, त्यानंतरच्या चरणांसाठी एकसमान पाया प्रदान करते जसे की पातळ-फिल्म डिपॉझिशन आणि एचिंग. सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी, या प्रक्रियेचा मुख्य घटक म्हणून, पॉलिशिंग कार्यक्षमता, पृष्ठभागाची गुणवत्ता आणि उत्पादनाच्या अंतिम कार्यक्षमतेवर लक्षणीय परिणाम करते