उद्योग बातम्या

उपलब्ध तंत्रज्ञानांपैकी, मोठ्या आकाराची प्रतिरोधक हीटिंग SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस सुधारित सातत्य आणि कार्यक्षमतेसह मोठ्या-व्यास, कमी-दोष असलेल्या SiC क्रिस्टल्सच्या निर्मितीसाठी एक महत्त्वपूर्ण उपाय म्हणून उदयास आली आहे. हा लेख हे तंत्रज्ञान कसे कार्य करते, त्याचे फायदे, अनुप्रयोग आणि वेटेकसेमीच्या नाविन्यपूर्ण उपायांवर उद्योगाचे नेते का विश्वास ठेवतात हे शोधतो.

ASM साठी SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर हा केवळ एपिटॅक्सी सिस्टीममध्ये बदललेला भाग नाही. हा एक प्रक्रिया-गंभीर वाहक आहे जो थर्मल एकरूपता, वेफर स्वच्छता, कोटिंग टिकाऊपणा, चेंबर स्थिरता आणि दीर्घकालीन उत्पादन खर्चावर प्रभाव टाकतो.

CVD TaC कोटिंग कव्हर हे फक्त एक संरक्षक झाकण किंवा लेपित ग्रेफाइट घटक नाही. उच्च-तापमान अर्धसंवाहक प्रक्रियांमध्ये, ते चेंबरची स्वच्छता, थर्मल स्थिरता, आंशिक जीवनकाळ आणि प्रक्रियेची सुसंगतता प्रभावित करू शकते.