बातम्या

एपिटॅक्सियल फर्नेसचे कार्यरत तत्त्व म्हणजे उच्च तापमान आणि उच्च दाब अंतर्गत सब्सट्रेटवर सेमीकंडक्टर सामग्री जमा करणे. सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ग्रोथ म्हणजे विशिष्ट क्रिस्टल ओरिएंटेशनसह सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटवर सब्सट्रेट आणि भिन्न जाडी सारख्याच क्रिस्टल ओरिएंटेशनसह क्रिस्टलचा एक थर वाढविणे. हा लेख प्रामुख्याने सिलिकॉन एपिटॅक्सियल ग्रोथ पद्धतींचा परिचय देतो: वाष्प टप्प्यात एपिटॅक्सी आणि लिक्विड फेज एपिटॅक्सी.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील केमिकल वाफ डिपॉझिशन (सीव्हीडी) चा वापर चेंबरमध्ये पातळ फिल्म मटेरियल जमा करण्यासाठी केला जातो, ज्यात एसआयओ 2, पाप इत्यादींचा समावेश आहे आणि सामान्यत: वापरल्या जाणार्‍या प्रकारांमध्ये पीईसीव्हीडी आणि एलपीसीव्हीडीचा समावेश आहे. तापमान, दबाव आणि प्रतिक्रिया गॅस प्रकार समायोजित करून, सीव्हीडी वेगवेगळ्या प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी उच्च शुद्धता, एकसारखेपणा आणि चांगले फिल्म कव्हरेज प्राप्त करते.

हा लेख प्रामुख्याने सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सच्या व्यापक उपयोगाच्या संभाव्यतेचे वर्णन करतो. हे सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्समधील सिंटरिंग क्रॅकच्या कारणांचे विश्लेषण आणि संबंधित उपायांवर देखील लक्ष केंद्रित करते.