PZT पायझोइलेक्ट्रिक वेफर्स (Si/SOI वर PZT)

1. तांत्रिक आर्किटेक्चर

आमच्या वेफर्समध्ये जटिल एमईएमएस प्रक्रियेदरम्यान इष्टतम आसंजन, चालकता आणि पायझोइलेक्ट्रिक प्रतिसाद सुनिश्चित करण्यासाठी डिझाइन केलेली एक अत्याधुनिक मल्टी-लेयर स्टॅक रचना आहे:

 ●शीर्ष इलेक्ट्रोड (की स्तर): पं. (प्लॅटिनम).

● पायझो लेयर (कोर लेयर): PZT.

● मध्यवर्ती स्तर: धान्याभिमुखता आणि संरचनात्मक स्थिरता अनुकूल करण्यासाठी बफर लेयर, बॉटम इलेक्ट्रोड आणि आसंजन स्तर समाविष्ट आहे.

● थर: Si किंवा SOI वेफर्सशी सुसंगत.

2. गुणवत्ता आश्वासन आणि सूक्ष्म संरचना विश्लेषण

आम्ही कठोर तांत्रिक वैशिष्ट्यांद्वारे उच्च विश्वसनीयता सुनिश्चित करतो:

 ●SEM विश्लेषण: स्कॅनिंग इलेक्ट्रॉन मायक्रोस्कोपी (SEM) प्रतिमा एकसमान धान्य आकार वितरणासह दाट, क्रॅक-मुक्त पृष्ठभाग आकारविज्ञान प्रकट करते, उच्च-विश्वसनीयता MEMS अनुप्रयोगांसाठी आदर्श.

 ●XRD वैशिष्ट्यीकरण: एक्स-रे डिफ्रॅक्शन (एक्सआरडी) पॅटर्नने जास्तीत जास्त पायझोइलेक्ट्रिक कामगिरी गुणांक सुनिश्चित करून, मजबूत (100) पसंतीच्या अभिमुखतेसह शुद्ध पेरोव्स्काईट फेज निर्मितीची पुष्टी केली.

3. तांत्रिक तपशील (वैशिष्ट्ये)

4. मुख्य अनुप्रयोग

 ● Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUT): फिंगरप्रिंट सेन्सर, जेश्चर रेकग्निशन आणि ऑटोमोटिव्ह अल्ट्रासोनिक रडारसाठी उच्च-फ्रिक्वेंसी मिनिएचराइज्ड ॲरे.

 ● संवाद: 5G/6G मध्ये FBAR किंवा SAW फिल्टर बनवण्याची किल्ली विस्तृत बँडविड्थ आणि कमी अंतर्भूत नुकसान प्राप्त करण्यासाठी.

 ● ध्वनिक MEMS: MEMS स्पीकर्ससाठी शक्तिशाली क्षणिक प्रतिसाद देते आणि MEMS मायक्रोफोनसाठी सिग्नल-टू-नॉईज रेशो (SNR) सुधारते.

 ● अचूक द्रव नियंत्रण: इंकजेट प्रिंटहेड्समधील ड्रॉपलेट व्हॉल्यूमच्या नॅनोलिटर-स्केलच्या अचूक नियंत्रणासाठी d31 मोडद्वारे हाय-स्पीड कंपन.

 ● वैद्यकीय आणि सौंदर्य (मायक्रो-पंपिंग): उच्च विश्वासार्हता आणि संक्षिप्त आकारासह वैद्यकीय नेब्युलायझर किंवा कॉस्मेटिक अल्ट्रासोनिक पंप चालवते.

5. सानुकूलन सेवा

Si wafers वर मानक डिपॉझिशन व्यतिरिक्त, आम्ही कस्टम डिपॉझिशन सेवा देखील प्रदान करतो:

 ●चित्रपट आणि जाडी सानुकूलन: विशिष्ट फिल्म प्रकार आणि डिझाइन आवश्यकतांनुसार सानुकूल जाडी जमा करणे.

 ●OEM फाउंड्री: उच्च-गुणवत्तेच्या पिझोइलेक्ट्रिक पातळ-फिल्म वाढीसाठी ग्राहकांकडून पुरवलेल्या वेफर्सची स्वीकृती.

 ●SOI सब्सट्रेट सपोर्ट: खालील वैशिष्ट्यांसह एसओआय वेफर्सवर विशेष डिपॉझिशन: