SiC लेपित वेफर वाहक

चिप मॅन्युफॅक्चरिंग वेफर्सकडून अविभाज्य आहे. वेफर तयारी प्रक्रियेमध्ये दोन मुख्य दुवे आहेत: एक म्हणजे सब्सट्रेटची तयारी, आणि दुसरे म्हणजे एपिटॅक्सियल प्रक्रियेची अंमलबजावणी. सेमीकंडक्टर डिव्हाइस तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट थेट वेफर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये ठेवला जाऊ शकतो किंवा त्याद्वारे पुढील वर्धित केला जाऊ शकतोएपिटॅक्सियल प्रक्रिया? 

Epitaxy म्हणजे एकाच क्रिस्टल सब्सट्रेटवर एकल क्रिस्टलचा एक नवीन थर वाढवणे ज्यावर बारीक प्रक्रिया केली गेली आहे (कटिंग, ग्राइंडिंग, पॉलिशिंग इ.). कारण नवीन वाढलेला एकल क्रिस्टल थर थराच्या क्रिस्टल टप्प्यानुसार विस्तारित होईल, त्याला एपिटॅक्सियल लेयर म्हणतात. जेव्हा एपिटॅक्सियल लेयर सब्सट्रेटवर वाढतो तेव्हा संपूर्ण भागाला एपिटॅक्सियल वेफर म्हणतात. एपिटॅक्सियल तंत्रज्ञानाचा परिचय चतुराईने सिंगल सब्सट्रेट्सच्या अनेक दोषांचे निराकरण करते.

एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेसमध्ये, सब्सट्रेट यादृच्छिकपणे ठेवता येत नाही आणि एवेफर वाहकसब्सट्रेटवर एपिटॅक्सियल जमा करण्यापूर्वी वेफर धारकावर सब्सट्रेट ठेवणे आवश्यक आहे. हा वेफर धारक एसआयसी कोटेड वेफर कॅरियर आहे.

EPI अणुभट्टीचे क्रॉस-सेक्शनल दृश्य

एक उच्च-गुणवत्ताSiC कोटिंगसीव्हीडी तंत्रज्ञानाचा वापर करून एसजीएल ग्रेफाइटच्या पृष्ठभागावर लागू केले जाते:

एसआयसी कोटिंगच्या मदतीने, अनेक गुणधर्मSiC लेपित वेफर धारकलक्षणीय सुधारले आहेत:

● अँटीऑक्सिडेंट गुणधर्म: SiC कोटिंगमध्ये चांगली ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक क्षमता आहे आणि उच्च तापमानात ऑक्सिडेशनपासून ग्रेफाइट मॅट्रिक्सचे संरक्षण करू शकते आणि त्याचे सेवा आयुष्य वाढवू शकते.

●  उच्च तापमानाचा प्रतिकार: एसआयसी कोटिंगचा वितळणारा बिंदू खूप जास्त आहे (सुमारे 2700 डिग्री सेल्सियस). ग्रेफाइट मॅट्रिक्समध्ये एसआयसी कोटिंग जोडल्यानंतर, ते उच्च तापमानास प्रतिकार करू शकते, जे एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेस वातावरणात अनुप्रयोगासाठी फायदेशीर आहे.

●  गंज प्रतिकार: विशिष्ट अम्लीय किंवा अल्कधर्मी वातावरणात ग्रेफाइट रासायनिक गंज होण्याची शक्यता असते, तर SiC कोटिंगमध्ये आम्ल आणि अल्कली गंजांना चांगला प्रतिकार असतो, त्यामुळे ते एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेसमध्ये दीर्घकाळ वापरले जाऊ शकते.

●  प्रतिरोधक परिधान करा: एसआयसी मटेरियलमध्ये उच्च कडकपणा आहे. ग्रेफाइट एसआयसी सह लेपित झाल्यानंतर, एपिटॅक्सियल ग्रोथ फर्नेसमध्ये जेव्हा मटेरियल वेअर रेट कमी होते तेव्हा ते सहजपणे खराब होत नाही.

VeTek सेमीकंडक्टर ग्राहकांना उद्योग-अग्रणी SiC कोटेड वेफर वाहक उत्पादने प्रदान करण्यासाठी सर्वोत्तम सामग्री आणि सर्वात प्रगत प्रक्रिया तंत्रज्ञान वापरते. VeTek Semiconductor ची मजबूत तांत्रिक टीम ग्राहकांसाठी सर्वात योग्य उत्पादने आणि सर्वोत्तम सिस्टम सोल्यूशन्स तयार करण्यासाठी नेहमीच वचनबद्ध असते.

CVD SIC चित्रपटाचा SEM डेटा

हे सेमीकंडक्टरएसआयसी लेपित वेफर कॅरियर शॉप्स