PECVD साठी ग्रेफाइट बोट

अर्ज: PECVD साठी Veteksemicon ग्रेफाइट बोट प्लाझ्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प जमा प्रक्रियेतील एक मुख्य घटक आहे. हे विशेषतः उच्च-गुणवत्तेचे सिलिकॉन नायट्राइड, सिलिकॉन ऑक्साईड आणि इतर पातळ फिल्म्स सिलिकॉन वेफर्स, कंपाऊंड सेमीकंडक्टर आणि डिस्प्ले पॅनेल सब्सट्रेट्सवर जमा करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. त्याची कामगिरी थेट चित्रपटाची एकरूपता, प्रक्रियेची स्थिरता आणि उत्पादन खर्च ठरवते.

ज्या सेवा दिल्या जाऊ शकतात: ग्राहक अनुप्रयोग परिस्थिती विश्लेषण, जुळणारे साहित्य, तांत्रिक समस्या सोडवणे.

कंपनी प्रोफाइल：Veteksemicon कडे 2 प्रयोगशाळा आहेत, 20 वर्षांचा भौतिक अनुभव, R&D आणि उत्पादन, चाचणी आणि पडताळणी क्षमतांसह तज्ञांची टीम आहे.

सामान्य उत्पादन माहिती

उत्पादन व्यवसाय अटी

मुख्य अनुप्रयोग फील्ड

PECVD कोर फायद्यांसाठी Veteksemicon Graphite बोट

1. उच्च-शुद्धता सब्सट्रेट्स, स्त्रोतापासून प्रदूषण नियंत्रित करते

1600°C च्या सतत कार्यरत वातावरणातही ते धातूच्या अशुद्धतेचा उपसा करणार नाही याची खात्री करण्यासाठी आम्ही 99.995% पेक्षा जास्त स्थिर शुद्धतेसह आयसोस्टॅटिकली दाबलेले उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट वापरण्याचा आग्रह धरतो. ही कठोर सामग्रीची आवश्यकता वाहक दूषिततेमुळे होणारे वेफर कार्यक्षमतेत होणारे ऱ्हास थेट टाळू शकते, उच्च-गुणवत्तेचे सिलिकॉन नायट्राइड किंवा सिलिकॉन ऑक्साईड फिल्म्स जमा करण्यासाठी सर्वात मूलभूत हमी प्रदान करते.

2. प्रक्रिया एकसमानता सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक थर्मल फील्ड आणि संरचनात्मक डिझाइन

विस्तृत फ्लुइड सिम्युलेशन आणि प्रक्रिया मापन डेटाद्वारे, आम्ही बोटचा स्लॉट कोन, मार्गदर्शक खोबणी खोली आणि गॅस प्रवाह मार्ग ऑप्टिमाइझ केला आहे. हे सूक्ष्म संरचनात्मक विचार वेफर्स दरम्यान प्रतिक्रियाशील वायूंचे समान वितरण करण्यास सक्षम करते. वास्तविक मोजमाप दर्शविते की पूर्ण लोडवर, एकाच बॅचमधील वेफर्समधील फिल्म जाडीचे एकसमान विचलन ±1.5% च्या आत स्थिरपणे नियंत्रित केले जाऊ शकते, ज्यामुळे उत्पादनाच्या उत्पन्नात लक्षणीय सुधारणा होते.

3. विशिष्ट प्रक्रिया गंज सोडविण्यासाठी सानुकूलित कोटिंग उपाय

वेगवेगळ्या ग्राहकांच्या विविध प्रक्रिया वायू वातावरणाला पूर्ण करण्यासाठी, आम्ही दोन परिपक्व कोटिंग पर्याय ऑफर करतो: पायरोलाइटिक कार्बन आणि सिलिकॉन कार्बाइड. आपण प्रामुख्याने सिलिकॉन नायट्राइड जमा केल्यास आणि हायड्रोजन साफसफाईचा वापर केल्यास, दाट पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग हायड्रोजन प्लाझ्मा इरोशनला उत्कृष्ट प्रतिकार प्रदान करू शकते. जर तुमच्या प्रक्रियेत फ्लोरिनयुक्त स्वच्छता वायूंचा समावेश असेल, तर उच्च-कडकपणाचे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग हा एक चांगला पर्याय आहे. हे अत्यंत संक्षारक वातावरणात ग्रेफाइट बोटीचे सेवा आयुष्य सामान्य अनकोटेड उत्पादनांपेक्षा तिप्पट वाढवू शकते.

4. उत्कृष्ट थर्मल शॉक स्थिरता, वारंवार तापमान चक्रांना अनुकूल

आमच्या अद्वितीय ग्रेफाइट फॉर्म्युला आणि अंतर्गत मजबुतीकरण बरगडी डिझाइनमुळे धन्यवाद, आमच्या ग्रेफाइट बोटी PECVD प्रक्रियेच्या वारंवार होणाऱ्या जलद थंड आणि गरम होण्याच्या धक्क्यांचा सामना करू शकतात. कठोर प्रयोगशाळा चाचण्यांमध्ये, खोलीच्या तपमानापासून ते 800 डिग्री सेल्सिअस पर्यंत 500 जलद थर्मल चक्रांनंतर, बोटचा लवचिक सामर्थ्य टिकवून ठेवण्याचा दर अद्याप 90% पेक्षा जास्त आहे, थर्मल तणावामुळे होणारे क्रॅकिंग प्रभावीपणे टाळून आणि उत्पादन सातत्य आणि सुरक्षितता सुनिश्चित करते.

5. इकोलॉजिकल चेन सत्यापन समर्थन

PECVD' पर्यावरणीय साखळी पडताळणीसाठी Veteksemicon Graphite बोट उत्पादनासाठी कच्चा माल समाविष्ट करते, आंतरराष्ट्रीय दर्जाचे प्रमाणीकरण उत्तीर्ण केले आहे, आणि सेमीकंडक्टर आणि नवीन ऊर्जा क्षेत्रात तिची विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंट तंत्रज्ञान आहेत.

तपशीलवार तांत्रिक तपशील, श्वेतपत्रिका किंवा नमुना चाचणी व्यवस्थांसाठी, Veteksemicon तुमच्या प्रक्रियेची कार्यक्षमता कशी वाढवू शकते हे शोधण्यासाठी कृपया आमच्या तांत्रिक सहाय्य कार्यसंघाशी संपर्क साधा.