उद्योग बातम्या

जागतिक ऊर्जा संक्रमण, AI क्रांती आणि नवीन पिढीच्या माहिती तंत्रज्ञानाच्या लहरीमुळे, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) त्याच्या अपवादात्मक भौतिक गुणधर्मांमुळे "संभाव्य सामग्री" वरून "स्ट्रॅटेजिक फाउंडेशनल मटेरियल" बनले आहे.

सेमीकंडक्टर उच्च-तापमान प्रक्रियेमध्ये, वेफर्सची हाताळणी, समर्थन आणि थर्मल उपचार एका विशेष सपोर्टिंग घटकावर-वेफर बोटवर अवलंबून असतात. प्रक्रिया तापमान वाढते आणि स्वच्छता आणि कण नियंत्रण आवश्यकता वाढत असताना, पारंपारिक क्वार्ट्ज वेफर बोट्स हळूहळू कमी सेवा आयुष्य, उच्च विकृती दर आणि खराब गंज प्रतिकार यासारख्या समस्या प्रकट करतात.

सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट्सच्या औद्योगिक स्तरावरील उत्पादनासाठी, एकल वाढीचे यश हे अंतिम ध्येय नाही. विविध बॅच, टूल्स आणि कालखंडात उगवलेले क्रिस्टल्स गुणवत्तेमध्ये उच्च पातळीचे सातत्य आणि पुनरावृत्तीक्षमता राखतात याची खात्री करणे हे खरे आव्हान आहे. या संदर्भात, टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगची भूमिका मूलभूत संरक्षणाच्या पलीकडे जाते - प्रक्रिया विंडो स्थिर करण्यासाठी आणि उत्पादनाच्या उत्पन्नाचे रक्षण करण्यासाठी हा एक महत्त्वाचा घटक बनतो.