उद्योग बातम्या

सेमीकंडक्टर उच्च-तापमान प्रक्रियेमध्ये, वेफर्सची हाताळणी, समर्थन आणि थर्मल उपचार एका विशेष सपोर्टिंग घटकावर-वेफर बोटवर अवलंबून असतात. प्रक्रिया तापमान वाढते आणि स्वच्छता आणि कण नियंत्रण आवश्यकता वाढत असताना, पारंपारिक क्वार्ट्ज वेफर बोट्स हळूहळू कमी सेवा आयुष्य, उच्च विकृती दर आणि खराब गंज प्रतिकार यासारख्या समस्या प्रकट करतात.

सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट्सच्या औद्योगिक स्तरावरील उत्पादनासाठी, एकल वाढीचे यश हे अंतिम ध्येय नाही. विविध बॅच, टूल्स आणि कालखंडात उगवलेले क्रिस्टल्स गुणवत्तेमध्ये उच्च पातळीचे सातत्य आणि पुनरावृत्तीक्षमता राखतात याची खात्री करणे हे खरे आव्हान आहे. या संदर्भात, टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगची भूमिका मूलभूत संरक्षणाच्या पलीकडे जाते - प्रक्रिया विंडो स्थिर करण्यासाठी आणि उत्पादनाच्या उत्पन्नाचे रक्षण करण्यासाठी हा एक महत्त्वाचा घटक बनतो.

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) PVT वाढीमध्ये गंभीर थर्मल सायकलिंग (खोलीचे तापमान 2200 ℃ पेक्षा जास्त) समाविष्ट असते. कोटिंग आणि ग्रेफाइट सब्सट्रेट यांच्यामध्ये थर्मल एक्सपेन्शन (CTE) च्या गुणांकांमध्ये जुळत नसल्यामुळे निर्माण होणारा प्रचंड थर्मल स्ट्रेस हे कोटिंगचे आयुष्यमान आणि अनुप्रयोगाची विश्वासार्हता ठरवणारे मुख्य आव्हान आहे.