उद्योग बातम्या

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग इंडस्ट्रीमध्ये, डिव्हाइसचा आकार संकुचित होत असताना, पातळ फिल्म मटेरियलच्या जमा तंत्रज्ञानाने अभूतपूर्व आव्हाने निर्माण केली आहेत. अणु स्तरावर अचूक नियंत्रण मिळवू शकणारे पातळ फिल्म जमा तंत्रज्ञान म्हणून अणु थर जमा (एएलडी) अर्धसंवाहक उत्पादनाचा अपरिहार्य भाग बनला आहे. प्रगत चिप मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये त्याची महत्त्वपूर्ण भूमिका समजण्यास मदत करण्यासाठी या लेखाचे उद्दीष्ट प्रक्रिया प्रवाह आणि एएलडीची तत्त्वे सादर करणे आहे.

परिपूर्ण क्रिस्टलीय बेस लेयरवर इंटिग्रेटेड सर्किट किंवा सेमीकंडक्टर डिव्हाइस तयार करणे हे आदर्श आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील एपिटॅक्सी (ईपीआय) प्रक्रियेचा हेतू एकल-क्रिस्टलिन सब्सट्रेटवर साधारणत: 0.5 ते 20 मायक्रॉन, एक सिंगल-क्रिस्टलिन लेयर जमा करणे आहे. एपिटॅक्सी प्रक्रिया सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसाठी एक महत्त्वपूर्ण पायरी आहे, विशेषत: सिलिकॉन वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये.

एपिटॅक्सी आणि अणु थर जमा (एएलडी) मधील मुख्य फरक त्यांच्या चित्रपटाच्या वाढीच्या यंत्रणेत आणि ऑपरेटिंग परिस्थितीत आहे. एपिटॅक्सी विशिष्ट अभिमुखता संबंध असलेल्या क्रिस्टलीय सब्सट्रेटवर क्रिस्टलीय पातळ फिल्म वाढविण्याच्या प्रक्रियेस संदर्भित करते, समान किंवा तत्सम क्रिस्टल स्ट्रक्चर राखते. याउलट, एएलडी हे एक जमा करण्याचे तंत्र आहे ज्यात एका वेळी पातळ फिल्म वन अणु थर तयार करण्यासाठी अनुक्रमात वेगवेगळ्या रासायनिक पूर्ववर्तींवर सब्सट्रेट उघडकीस आणणे समाविष्ट आहे.

सीव्हीडी टीएसी कोटिंग सब्सट्रेट (ग्रेफाइट) वर दाट आणि टिकाऊ कोटिंग तयार करण्याची प्रक्रिया आहे. या पद्धतीमध्ये उच्च तापमानात सब्सट्रेट पृष्ठभागावर टीएसी जमा करणे समाविष्ट आहे, परिणामी उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि रासायनिक प्रतिकार असलेले टॅन्टलम कार्बाइड (टीएसी) लेप होते.