Sic कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स

Ⅰ. उत्पादन वापर विहंगावलोकन

एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वेफर सपोर्ट आणि ट्रान्समिशन घटक म्हणून वापरले जातात. त्याचे मुख्य कार्य म्हणजे उच्च तापमान आणि उच्च गंज यासारख्या अत्यंत प्रक्रियेच्या परिस्थितीत सिलिकॉन वेफर्सवर स्थिर आणि अचूक प्रक्रिया करणे, एक गुळगुळीत आणि कार्यक्षम उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित करणे.

Material.

एसआयसी ही एक प्रगत सिरेमिक सामग्री आहे ज्याची उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्म त्याला सेमीकंडक्टर क्षेत्रात एक अतुलनीय फायदा देतात. खाली एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्सशी संबंधित मुख्य भौतिक पॅरामीटर्स आहेत:

● उच्च शुद्धता: उच्च-शुद्धता एसआयसी मटेरियलचा वापर प्रक्रिया दूषितता कमी करू शकतो आणि उत्पादन उत्पादन सुधारू शकतो.

● उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार: एसआयसीचा 2830 डिग्री सेल्सियस पर्यंतचा वितळणारा बिंदू आहे, जो प्लाझ्मा एचिंग आणि उच्च-तापमान ne नीलिंग सारख्या अत्यंत तापमान वातावरणात स्ट्रक्चरल अखंडता राखण्यास सक्षम करतो आणि दीर्घकालीन ऑपरेटिंग तापमान 1000 डिग्री सेल्सिअसपेक्षा जास्त पोहोचू शकते.

● उच्च कडकपणा आणि प्रतिकार परिधान करा: एमओएचएस कडकपणा 9-9.5 आहे, डायमंडच्या दुसर्‍या क्रमांकावर आहे, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध आणि उच्च-वारंवारता वेफर ट्रान्समिशन दरम्यान मितीय स्थिरता राखते.

● उत्कृष्ट थर्मल चालकता: एसआयसी सिरेमिक्सची थर्मल चालकता 120-250 डब्ल्यू/(एम · के) (विशिष्ट मूल्य) इतकी जास्त आहे, जी उष्णता त्वरीत कमी करते आणि स्थानिक ओव्हरहाटिंग टाळते ज्यामुळे वेफरचे नुकसान होऊ शकते.

● कमी थर्मल विस्तार गुणांक: कमी थर्मल विस्तार गुणांक (सुमारे × .० × १०⁻⁶ /के) तापमान बदलते तेव्हा थर्मल विस्तार आणि संकुचिततेमुळे होणारे तणाव टाळते आणि त्यामुळे वेफरच्या नुकसानीचा धोका कमी होतो.

Ⅲ. एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्सचे अनुप्रयोग परिदृश्य

एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्सचे अद्वितीय गुणधर्म त्यांना सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या एकाधिक दुव्यांमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावण्यास सक्षम करतात:

● प्लाझ्मा एचिंग उपकरणे: प्लाझ्मा एचिंग चेंबरमध्ये, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स वेफर समर्थन म्हणून काम करतात, जे आयामी स्थिरता राखताना प्लाझ्मा बॉम्बस्फोट आणि संक्षारक गॅस इरोशनचा प्रतिकार करू शकतात, एचिंगची अचूकता सुनिश्चित करतात आणि उपकरणे जीवन वाढवितात.

● पातळ फिल्म जमा उपकरणे (सीव्हीडी/पीव्हीडी): रासायनिक वाष्प जमा (सीव्हीडी) आणि भौतिक वाष्प साठवण (पीव्हीडी) च्या प्रक्रियेत, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स वेफरला समर्थन देण्यासाठी वापरले जातात. त्यांचे उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध आणि थर्मल चालकता पातळ फिल्म जमा प्रक्रियेदरम्यान व्युत्पन्न केलेल्या कण दूषिततेस एकसमानपणे गरम करण्यास मदत करते.

● वेफर ट्रान्सफर सिस्टम: स्वयंचलित वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स उच्च-कठोरपणामुळे आणि परिधान करण्याच्या प्रतिकारांमुळे उच्च-वारंवारता यांत्रिक हालचालीचा प्रतिकार करू शकतात, वेगवेगळ्या प्रक्रिया कक्षांमध्ये वेफर्सचे अचूक आणि वेगवान हस्तांतरण सुनिश्चित करतात, ज्यामुळे वेफर नुकसान आणि दूषित होण्याचा धोका कमी होतो.

● उच्च तापमान ne नीलिंग प्रक्रिया: उच्च तापमान ne नीलिंग फर्नेसमध्ये, एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल्स अल्ट्रा-उच्च तापमान वातावरणास प्रतिकार करू शकतात, वेफर्ससाठी स्थिर समर्थन प्रदान करतात आणि ne नीलिंग प्रक्रियेची एकरूपता आणि प्रभावीपणा सुनिश्चित करतात.

उत्पादनाच्या गुणवत्तेसाठी सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या कठोर आवश्यकतांबद्दल वेटेकसेमॉन चांगले आहे. म्हणूनच, आम्ही सानुकूलित सेवांचे समर्थन करतो आणि आपल्या विशिष्ट उपकरणे आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतेनुसार सानुकूलित एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल डिझाइन आणि उत्पादन प्रदान करू शकतो. आणि प्रत्येक उत्पादनात सर्वोच्च उद्योग मानकांची पूर्तता होईल हे सुनिश्चित करण्यासाठी प्रत्येक उत्पादन कठोर गुणवत्ता तपासणीत आहे हे सुनिश्चित करण्यासाठी आम्ही कठोर गुणवत्ता नियंत्रण नियंत्रित करू.

महत्त्वाचे म्हणजे, वेटेक सेमीकंडक्टरची तांत्रिक कार्यसंघ आपल्याला व्यापक तांत्रिक सल्लामसलत आणि उत्पादन समाधान प्रदान करेल. आमचे एसआयसी कॅन्टिलिव्हर पॅडल निवडणे म्हणजे उच्च उत्पादन कार्यक्षमता, दीर्घ उपकरणे जीवन आणि चांगले उत्पादन उत्पादन निवडणे. आपल्या पुढील सल्ल्याची अपेक्षा आहे.