SiC Epitaxy प्रक्रिया

VeTek सेमीकंडक्टरचे अनन्य कार्बाइड कोटिंग्स SiC Epitaxy प्रक्रियेतील ग्रेफाइट भागांना मागणी असलेल्या सेमीकंडक्टर आणि संमिश्र सेमीकंडक्टर सामग्रीच्या प्रक्रियेसाठी उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान करतात. याचा परिणाम म्हणजे विस्तारित ग्रेफाइट घटकांचे आयुष्य, प्रतिक्रिया स्टोइचियोमेट्रीचे संरक्षण, एपिटॅक्सी आणि क्रिस्टल ग्रोथ ऍप्लिकेशनमध्ये अशुद्धतेचे स्थलांतर रोखणे, परिणामी उत्पादन आणि गुणवत्ता वाढते.

आमचे टँटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स उच्च तापमानात (2200°C पर्यंत) गंभीर भट्टी आणि अणुभट्टी घटकांना गरम अमोनिया, हायड्रोजन, सिलिकॉन वाष्प आणि वितळलेल्या धातूपासून संरक्षित करतात. VeTek सेमीकंडक्टरमध्ये तुमच्या सानुकूलित गरजा पूर्ण करण्यासाठी ग्रेफाइट प्रक्रिया आणि मोजमाप क्षमतांची विस्तृत श्रेणी आहे, त्यामुळे आम्ही तुमच्यासाठी आणि तुमच्या विशिष्ट अनुप्रयोगासाठी योग्य उपाय डिझाइन करण्यासाठी आमच्या तज्ञ अभियंत्यांच्या टीमसह फी-पेइंग कोटिंग किंवा पूर्ण-सेवा देऊ शकतो. .

मिश्रित अर्धसंवाहक क्रिस्टल्स

VeTek सेमीकंडक्टर विविध घटक आणि वाहकांसाठी विशेष TaC कोटिंग प्रदान करू शकतो. VeTek सेमीकंडक्टरच्या उद्योगातील अग्रगण्य कोटिंग प्रक्रियेद्वारे, TaC कोटिंग उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता आणि उच्च रासायनिक प्रतिरोधकता प्राप्त करू शकते, ज्यामुळे क्रिस्टल TaC/GaN) आणि EPl स्तरांची उत्पादन गुणवत्ता सुधारते आणि गंभीर अणुभट्टी घटकांचे आयुष्य वाढवते.

थर्मल इन्सुलेटर

क्रुसिबल, सीड होल्डर, डिफ्लेक्टर आणि फिल्टरसह SiC, GaN आणि AlN क्रिस्टल वाढीचे घटक. रेझिस्टिव्ह हीटिंग एलिमेंट्स, नोझल्स, शिल्डिंग रिंग्स आणि ब्रेझिंग फिक्स्चर, GaN आणि SiC एपिटॅक्सियल CVD रिॲक्टर घटकांसह वेफर कॅरियर्स, सॅटेलाइट ट्रे, शॉवर हेड्स, कॅप्स आणि पेडेस्टल्स, MOCVD घटकांसह औद्योगिक असेंब्ली.

उद्देश:

● LED (प्रकाश उत्सर्जक डायोड) वेफर वाहक

● ALD(सेमीकंडक्टर) रिसीव्हर

● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहांचा SiC एपिटॅक्सियल ससेप्टर SiC एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी TaC लेपित रिंग TaC लेपित तीन-पाकळ्यांची रिंग LPE साठी टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग

SiC कोटिंग आणि TaC कोटिंगची तुलना:

	SiC	TaC
मुख्य वैशिष्ट्ये	अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाझ्मा प्रतिकार	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
शुद्धता	>99.9999%	>99.9999%
घनता (g/cm³)	3.21	15
कडकपणा (किलो/मिमी²)	2900-3300	६.७-७.२
प्रतिरोधकता [Ωcm]	0.1-15,000	<1
थर्मल चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्ताराचे गुणांक(10^-6/℃)	४.५-५	6.3
अर्ज	सेमीकंडक्टर उपकरणे सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शॉवर हेड, डमी वेफर)	SiC सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ, Epi, UV LED उपकरणे भाग

View as

SiC एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी TaC लेपित रिंग

वेटेक सेमीकंडक्टर चीनमधील एसआयसी एपिटॅक्सियल अणुभट्टीसाठी टीएसी लेपित रिंगचे एक अग्रगण्य निर्माता आणि तंत्रज्ञान शोधक आहे, जे एसआयसी एपिटॅक्सियल अणुभट्ट्यांसाठी उच्च-कार्यक्षमता समाधान प्रदान करण्यावर लक्ष केंद्रित करते. आमच्याकडे टीएसी कोटिंग तंत्रज्ञानाचा बर्‍याच वर्षांचा अनुभव आहे. टीएसी कोटेड रिंगमध्ये उच्च शुद्धता, उच्च स्थिरता, उत्कृष्ट गंज प्रतिरोध इ. ची वैशिष्ट्ये आहेत आणि एपिटॅक्सियल रिएक्टर्सच्या कठोर कार्यरत वातावरणात दीर्घकालीन स्थिर कामगिरी प्रदान करू शकतात. आम्ही आपल्याबरोबर दीर्घकालीन सामरिक भागीदारी स्थापित करण्यास उत्सुक आहोत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

LPE साठी टँटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भाग

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील LPE साठी टँटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्टचा अग्रगण्य पुरवठादार आहे, जो अनेक वर्षांपासून TaC कोटिंग तंत्रज्ञानावर लक्ष केंद्रित करतो. एलपीईसाठी आमचा टँटलम कार्बाइड कोटेड हाफमून पार्ट लिक्विड फेज एपिटॅक्सी प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला आहे आणि 2000 अंश सेल्सिअसपेक्षा जास्त तापमान सहन करू शकतो. उत्कृष्ट भौतिक कार्यप्रदर्शन आणि प्रक्रिया नावीन्यपूर्णतेसह, आमचे उत्पादन जीवन उद्योगात अग्रगण्य पातळीवर आहे. VeTek Semiconductor चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी उत्सुक आहे.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

टँटलम कार्बाइड लेपित प्लॅनेटरी रोटेशन डिस्क

VeTek सेमीकंडक्टर हा चीनमधील टँटलम कार्बाइड कोटेड प्लॅनेटरी रोटेशन डिस्कचा अग्रगण्य निर्माता आणि पुरवठादार आहे, जो अनेक वर्षांपासून TaC कोटिंग तंत्रज्ञानावर लक्ष केंद्रित करतो. आमच्या उत्पादनांमध्ये उच्च शुद्धता आणि उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिकार आहे, जे सेमीकंडक्टर उत्पादकांद्वारे मोठ्या प्रमाणावर ओळखले जाते. VeTek सेमीकंडक्टर टँटलम कार्बाइड कोटेड प्लॅनेटरी रोटेशन डिस्क हे वेफर एपिटॅक्सी उद्योगाचा कणा बनले आहे. संयुक्तपणे तांत्रिक प्रगती आणि उत्पादन ऑप्टिमायझेशनला प्रोत्साहन देण्यासाठी आम्ही तुमच्यासोबत दीर्घकालीन भागीदारी स्थापन करण्यास उत्सुक आहोत.

अधिक प i हा >> चौकशी पाठवा >>

चीनमधील एक व्यावसायिक SiC Epitaxy प्रक्रिया निर्माता आणि पुरवठादार म्हणून आमच्याकडे आमचा स्वतःचा कारखाना आहे. आपल्या प्रदेशाच्या विशिष्ट गरजा भागविण्यासाठी आपल्याला सानुकूलित सेवांची आवश्यकता असल्यास किंवा चीनमध्ये बनविलेले प्रगत आणि टिकाऊ {77 brook खरेदी करायचे असल्यास आपण आम्हाला एक संदेश सोडू शकता.