टीएसी कोटिंग रोटेशन संवेदना

सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंगमध्ये वेफर हाताळण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर टीएसी कोटिंग रोटेशन स्यूससेप्टर हा एक महत्त्वाचा घटक आहे. त्याचेटीएसी कायआमचीउत्कृष्ट तापमान सहिष्णुता (3880 डिग्री सेल्सियस पर्यंत वितळण्याचे बिंदू), रासायनिक स्थिरता आणि गंज प्रतिरोध आहे, जे वेफर प्रक्रियेमध्ये उच्च सुस्पष्टता आणि उच्च गुणवत्तेची सुनिश्चित करते.

टीएसी कोटिंग रोटेशन सासेप्टर (टँटलम कार्बन कोटिंग रोटेशन स्यूससेप्टर) हा सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा उपकरण घटक आहे. हे सहसा मध्ये स्थापित केले जातेरासायनिक वाष्प साठा (सीव्हीडी)आणि एकसमान सामग्री जमा आणि कार्यक्षम प्रतिक्रिया सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर्सचे समर्थन आणि फिरविणे आण्विक बीम एपिटॅक्सी (एमबीई) उपकरणे. या प्रकारचे उत्पादन उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणातील उपकरणांचे सेवा जीवन आणि कार्यक्षमता लक्षणीय सुधारतेटँटलम कार्बन (टीएसी) कोटिंग.

टीएसी कोटिंग रोटेशन सासेप्टर सहसा सब्सट्रेट मटेरियल म्हणून टीएसी कोटिंग आणि ग्रेफाइट किंवा सिलिकॉन कार्बाईडचा बनलेला असतो. टीएसी ही एक अति-उच्च तापमान सिरेमिक सामग्री आहे ज्यात अत्यंत उच्च वितळणारे बिंदू (3880 डिग्री सेल्सियस पर्यंत वितळणारे बिंदू), कडकपणा (विकर्स कडकपणा सुमारे 2000 एचके आहे) आणि उत्कृष्ट रासायनिक गंज प्रतिकार. वेटेक सेमीकंडक्टर सीव्हीडी तंत्रज्ञानाद्वारे सब्सट्रेट सामग्रीवर टॅन्टलम कार्बन लेप प्रभावीपणे आणि समान रीतीने कव्हर करू शकतो.

रोटेशन सासेप्टर सामान्यत: उच्च थर्मल चालकता आणि उच्च सामर्थ्य सामग्रीपासून बनलेले असते (ग्रेफाइट किंवासिलिकॉन कार्बाईड), जे उच्च तापमान वातावरणात चांगले यांत्रिक समर्थन आणि थर्मल स्थिरता प्रदान करू शकते. दोघांचे परिपूर्ण संयोजन टीएसी कोटिंग रोटेशन सॉससेप्टरची परिपूर्ण कार्यक्षमता निर्धारित करते आणि वेफर्सचे समर्थन आणि फिरत आहे.

टीएसी कोटिंग रोटेशन सासेप्टर सीव्हीडी प्रक्रियेमध्ये वेफरला समर्थन आणि फिरवते. टीएसीची विकर्स कडकपणा सुमारे 2000 एचके आहे, जी सामग्रीच्या वारंवार घर्षणाचा प्रतिकार करण्यास आणि चांगली सहाय्यक भूमिका निभावण्यास सक्षम करते, ज्यायोगे रिएक्शन गॅस वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने वितरित केला जातो आणि सामग्री समान रीतीने जमा केली जाते. त्याच वेळी, टीएसी कोटिंगचा उच्च तापमान सहिष्णुता आणि गंज प्रतिकार यामुळे उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणामध्ये दीर्घ काळासाठी वापरण्यास सक्षम करते, जे वेफर आणि कॅरियरच्या दूषिततेस प्रभावीपणे टाळते.

शिवाय, टीएसीची थर्मल चालकता 21 डब्ल्यू/एम · के आहे, ज्यामध्ये उष्णता हस्तांतरण चांगले आहे. म्हणूनच, टीएसी कोटिंग रोटेशन सासेप्टर उच्च तापमान परिस्थितीत वेफर समान रीतीने गरम करू शकतो आणि रोटेशनल मोशनद्वारे गॅस जमा प्रक्रियेची एकरूपता सुनिश्चित करू शकते, ज्यामुळे सुसंगतता आणि उच्च गुणवत्तेची देखभाल होईलवेफर ग्रोथ.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग：

टीएसी कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म：

टीएसी कोटिंग रोटेशन सॉससेप्टर शॉप्स: