टँटलम कार्बाईड कोटिंग समर्थन

वेटेक सेमीकंडक्टरचे मुख्य कार्यटँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंगसमर्थन सुधारणे आहेउष्णता प्रतिकार, प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार परिधान कराटॅन्टलम कार्बाईड कोटिंगचा एक थर लेप देऊन सब्सट्रेटचा, जेणेकरून प्रक्रियेची अचूकता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यासाठी आणि घटकांची सेवा जीवन वाढवा. हे सेमीकंडक्टर प्रक्रियेच्या क्षेत्रात वापरले जाणारे एक उच्च-कार्यक्षमता कोटिंग उत्पादन आहे.

वेटेक सेमीकंडक्टरच्या टॅन्टलम कार्बाईड कोटिंग सपोर्टमध्ये एमओएचएस कठोरता जवळपास 9 ~ 10, डायमंडच्या दुसर्‍या क्रमांकावर आहे. यात अत्यंत मजबूत पोशाख प्रतिकार आहे आणि प्रक्रियेदरम्यान पृष्ठभागाच्या पोशाख आणि परिणामाचा प्रभावीपणे प्रतिकार करू शकतो, ज्यामुळे उपकरणांच्या घटकांच्या सेवा जीवनात प्रभावीपणे विस्तार होईल. सुमारे 3880 डिग्री सेल्सिअस तापमानाच्या उच्च वितळण्याच्या बिंदूसह एकत्रितपणे, हे बहुतेक वेळा सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या मुख्य घटकांच्या कोटिंगसाठी वापरले जाते, जसे की समर्थन स्ट्रक्चर्सचे पृष्ठभाग कोटिंग्ज, उष्णता उपचार उपकरणे, चेंबर्स किंवा सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील गॅस्केट्स त्याचे परिधान प्रतिरोध आणि उच्च तापमान प्रतिकार वाढविण्यासाठी.

सेमीकंडक्टर प्रक्रिया प्रक्रियेत सुमारे 3880 डिग्री सेल्सियसच्या टॅन्टलम कार्बाईडच्या अत्यंत उच्च वितळण्याच्या बिंदूमुळेरासायनिक वाष्प साठा (सीव्हीडी)आणिभौतिक वाष्प साठा (पीव्हीडी), मजबूत उच्च तापमान प्रतिरोध आणि रासायनिक गंज प्रतिकार असलेले टीएसी कोटिंग उपकरणांच्या घटकांचे प्रभावीपणे संरक्षण करू शकते आणि अत्यंत वातावरणात सब्सट्रेटला गंज किंवा नुकसान रोखू शकते, ज्यामुळे वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये उच्च तापमान वातावरणास प्रभावी संरक्षण मिळते. हे वैशिष्ट्य हे देखील निर्धारित करते की वेटेक सेमीकंडक्टरचे टँटलम कार्बाईड कोटिंग समर्थन बहुतेक वेळा एचिंग आणि संक्षारक प्रक्रियेमध्ये वापरले जाते.

टँटलम कार्बाईड कोटिंग समर्थनामध्ये कण दूषितपणा कमी करण्याचे कार्य देखील आहे. वेफर प्रक्रियेदरम्यान, पृष्ठभाग पोशाख सहसा कण दूषितपणा तयार करतो, जो वेफरच्या उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर परिणाम करतो. टीएसी कोटिंगच्या जवळपास 9-10 एमओएचएस कठोरपणाची अत्यंत उत्पादन वैशिष्ट्ये हा पोशाख प्रभावीपणे कमी करू शकतात, ज्यामुळे कणांची निर्मिती कमी होते. टीएसी कोटिंगच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकता (सुमारे 21 डब्ल्यू/एम · के) सह एकत्रित, ते उच्च तापमान परिस्थितीत चांगली थर्मल चालकता राखू शकते, ज्यामुळे वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगचे उत्पन्न आणि सुसंगतता मोठ्या प्रमाणात सुधारते.

वेटेक सेमीकंडक्टरच्या मुख्य टीएसी कोटिंग उत्पादनांमध्ये समाविष्ट आहेटीएसी कोटिंग हीटर, सीव्हीडी टीएसी कोटिंग क्रूसिबल, टीएसी कोटिंग रोटेशन संवेदनाआणिटीएसी कोटिंग स्पेअर पार्ट, इ. आणि सानुकूलित उत्पादन सेवांना समर्थन द्या. सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उत्कृष्ट उत्पादने आणि तांत्रिक समाधान प्रदान करण्यासाठी वेटेक सेमीकंडक्टर वचनबद्ध आहे. आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा करतो.

मायक्रोस्कोपिक क्रॉस-सेक्शनवर टँटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग:

सीव्हीडी टीएसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म：