एपीआय वेफर धारक

वेटेक सेमीकंडक्टर सानुकूलित उत्पादन सेवांचे समर्थन करते, जेणेकरून ईपीआय वेफर धारक आपल्याला आकाराच्या आधारे सानुकूलित उत्पादन सेवा प्रदान करू शकेलवेफर(100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी इ.). आम्ही चीनमधील आपला दीर्घकालीन भागीदार होण्याची मनापासून आशा करतो.

एपी वेफर धारकांचे कार्य आणि कार्यरत तत्त्व

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या क्षेत्रात, उच्च - कामगिरी सेमीकंडक्टर डिव्हाइस बनविण्यासाठी एपिटॅक्सी प्रक्रिया महत्त्वपूर्ण आहे. या प्रक्रियेच्या मध्यभागी एपीआय वेफर धारक आहे, जो गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी मध्यवर्ती भूमिका बजावतेएपिटॅक्सियल वाढ.

एपीआय वेफर होल्डर प्रामुख्याने एपीटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान वेफर सुरक्षितपणे ठेवण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. तंतोतंत नियंत्रित तापमान आणि वायू - प्रवाह वातावरणामध्ये वेफर राखणे हे त्याचे मुख्य कार्य आहे. हे सावध नियंत्रण एपिटॅक्सियल सामग्री वेफर पृष्ठभागावर समान रीतीने जमा करण्यास अनुमती देते, एकसमान आणि उच्च -गुणवत्ता अर्धसंवाहक थर तयार करण्याची एक महत्त्वपूर्ण पायरी.

एपिटॅक्सी प्रक्रियेच्या उच्च -तापमानाच्या परिस्थितीत, ईपीआय वेफर धारक त्याच्या फंक्शनमध्ये उत्कृष्ट आहे. हे रिएक्शन चेंबरमध्ये वेफरचे दृढनिश्चिती करते, तर स्क्रॅचसारख्या कोणत्याही संभाव्य नुकसानीस टाळाटाळ करतात आणि वेफर पृष्ठभागावर कण दूषित होण्यापासून प्रतिबंधित करतात.

भौतिक गुणधर्म:कासिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी)चमक

एपीआय वेफर धारक बर्‍याचदा सिलिकॉन कार्बाइड (एसआयसी) कडून तयार केले जातात, ही सामग्री फायदेशीर गुणधर्मांचे एक अद्वितीय संयोजन प्रदान करते. एसआयसीमध्ये कमी थर्मल विस्तार गुणांक अंदाजे 4.0 x 10⁻⁶ /° से. हे वैशिष्ट्य एलिव्हेटेड तापमानात धारकाची मितीय स्थिरता राखण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहे. थर्मल विस्तार कमी करून, ते वेफरवरील तणाव प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते जे तापमान - संबंधित आकाराच्या बदलांमुळे उद्भवू शकते.

याव्यतिरिक्त, एसआयसी उत्कृष्ट उच्च - तापमान स्थिरतेचा अभिमान बाळगते. हे एपिटॅक्सी प्रक्रियेमध्ये 1,200 डिग्री सेल्सियस ते 1,600 डिग्री सेल्सियस पर्यंतच्या उच्च तापमानास अखंडपणे सहन करू शकते. त्याच्या अपवादात्मक गंज प्रतिकार आणि प्रशंसनीय थर्मल चालकता (सामान्यत: 120 - 160 डब्ल्यू/एमके दरम्यान) सह, एसआयसी एपिटॅक्सियल वेफर धारकांसाठी इष्टतम निवड म्हणून उदयास येते.

एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील की कार्ये

एपिटॅक्सियल प्रक्रियेतील ईपीआय वेफर धारकाचे महत्त्व ओव्हरस्टेट केले जाऊ शकत नाही. हे उच्च -तापमान आणि संक्षारक वायू वातावरणाखाली स्थिर वाहक म्हणून कार्य करते, हे सुनिश्चित करते की वेफर एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान अप्रभावित राहते आणि एपिटॅक्सियल लेयरच्या एकसमान विकासास चालना देते.

1. वॉफर फिक्सेशन आणि अचूक संरेखनएक उच्च -अचूक अभियंता एपी वेफर धारक रिएक्शन चेंबरच्या भूमितीय केंद्रात वेफरला दृढपणे ठेवतो. हे प्लेसमेंट हमी देते की वेफर पृष्ठभाग प्रतिक्रिया गॅस प्रवाहासह एक आदर्श संपर्क कोन तयार करते. अचूक संरेखन केवळ एकसमान एपिटॅक्सियल लेयर जमा करण्यासाठी आवश्यक नाही तर वेफर पोझिशन विचलनामुळे उद्भवणार्‍या ताण एकाग्रतेस लक्षणीय प्रमाणात कमी करते.

2. युनिफॉर्म हीटिंग आणि थर्मल फील्ड कंट्रोलएसआयसी मटेरियलच्या उत्कृष्ट थर्मल चालकतेचा फायदा घेत, एपीआय वेफर धारक उच्च -तापमान एपिटॅक्सियल वातावरणात वेफरमध्ये कार्यक्षम उष्णता हस्तांतरण सक्षम करते. त्याचबरोबर हीटिंग सिस्टमच्या तापमान वितरणावर बारीक नियंत्रणाचा उपयोग होतो. ही दुहेरी यंत्रणा संपूर्ण वेफर पृष्ठभागावर सुसंगत तापमान सुनिश्चित करते, जास्त तापमान ग्रेडियंट्समुळे होणार्‍या औष्णिक ताण प्रभावीपणे काढून टाकते. परिणामी, वेफर वॉर्पिंग आणि क्रॅक सारख्या दोषांची शक्यता बर्‍यापैकी कमी केली जाते.

Part. वैवाहिक दूषित नियंत्रण आणि भौतिक शुद्धताउच्च - शुद्धता एसआयसी सब्सट्रेट्स आणि सीव्हीडी - कोटेड ग्रेफाइट मटेरियलचा वापर हा एक गेम आहे - कण दूषित नियंत्रणामध्ये चेंजर. ही सामग्री एपिटॅक्सी प्रक्रियेदरम्यान कणांच्या पिढी आणि प्रसारास मोठ्या प्रमाणात कमी करते, जे एपिटॅक्सियल लेयरच्या वाढीसाठी एक मूळ वातावरण प्रदान करते. इंटरफेस दोष कमी करून, ते एपिटॅक्सियल लेयरची गुणवत्ता आणि विश्वासार्हता वाढवतात.

C. क्रॉसियन रेझिस्टन्सदरम्यानMOCVDकिंवा एलपीसीव्हीडी प्रक्रिया, ईपीआय वेफर धारकाने अमोनिया आणि ट्रायमेथिल गॅलियम सारख्या संक्षारक वायूंचा सामना केला पाहिजे. एसआयसी मटेरियलचा थकबाकी गंज प्रतिकार धारकास विस्तारित सेवा जीवन जगण्यास सक्षम करते, ज्यामुळे संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेच्या विश्वासार्हतेची हमी मिळते.

वेटेक सेमीकंडक्टरद्वारे सानुकूलित सेवा

वेटेक सेमीकंडक्टर विविध ग्राहकांच्या गरजा भागविण्यासाठी वचनबद्ध आहे. आम्ही 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी आणि त्यापलीकडे असलेल्या विविध वेफर आकारानुसार सानुकूलित एपीआय वेफर धारक सेवा ऑफर करतो. आमची तज्ञांची कार्यसंघ आपल्या आवश्यकतांशी तंतोतंत जुळणारी उच्च - दर्जेदार उत्पादने वितरित करण्यासाठी समर्पित आहे. आम्ही चीनमधील आपला लांब -टर्म पार्टनर बनण्यास प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत, आपल्याला टॉप - नॉच सेमीकंडक्टर सोल्यूशन्स प्रदान करतो.

सीव्हीडी एसआयसी फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चरचा एसईएम डेटा:

सीव्हीडी एसआयसी कोटिंगचे मूलभूत भौतिक गुणधर्म：

तुलना सेमीकंडक्टर एपीआय वेफर धारक उत्पादन दुकाने: