उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज इच रिंग

1.मुख्य वैशिष्ट्ये आणि फायदे

• SiO₂ ≥ 99.999% आणि घट्टपणे नियंत्रित धातूच्या अशुद्धतेसह सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहायड्रॉक्सिलेटेड फ्यूज्ड क्वार्ट्ज

• 1100 °C पर्यंत स्थिर सतत ऑपरेशन, 1200 °C जवळ अल्प-मुदतीच्या क्षमतेसह

• फ्लोरिन- आणि क्लोरीन-आधारित इच रसायनशास्त्र आणि उच्च-ऊर्जा प्लाझ्मा एक्सपोजरला मजबूत प्रतिकार

• वारंवार चेंबर तापमान चक्रांतर्गत कमी थर्मल विस्तार आणि चांगली थर्मल-शॉक कामगिरी

• चेंबर बेस प्रेशर आणि प्रक्रिया गॅस रचना संरक्षित करण्यासाठी कमी व्हॅक्यूम आउटगॅसिंग

• सुसंगत चेंबर फिट आणि प्लाझ्मा सीमा परिभाषासाठी पॉलिश संपर्क पृष्ठभागांसह मायक्रो-स्तरीय आयामी नियंत्रण

• कॉन्फिगर करण्यायोग्य डिझाईन्स: फ्लॅट रिंग, स्टेप्ड एच रिंग, शोधणे/ठेवून ठेवणे, आणि प्रमुख एच टूल प्लॅटफॉर्मसाठी पूर्णपणे सानुकूल प्रोफाइल

2.ठराविक अनुप्रयोग

हाय प्युरिटी क्वार्ट्ज इच रिंग्स ड्राय प्लाझ्मा इच प्रोसेस चेंबर्समध्ये वापरल्या जातात:

• लॉजिक आणि मेमरी डिव्हाइस प्लाझ्मा एच स्टेप्स

• SiC आणि GaN पॉवर-डिव्हाइस ईच प्रक्रिया

• उच्च-पक्ष-गुणोत्तर रचना इच

• ऑप्टिकल आणि कंपाऊंड-सेमिकंडक्टर सब्सट्रेट प्लाझ्मा प्रक्रिया

• प्रगत पॅकेजिंग प्लाझ्मा इच आणि संबंधित साफसफाईची पायरी

• RIE / ICP प्रयोगशाळा आणि उत्पादन नक्षी साधने

3.मुख्य तांत्रिक मापदंड

• साहित्य: सेमीकंडक्टर-ग्रेड डिहायड्रॉक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज, SiO₂ ≥ 99.999%

• वेफर सुसंगतता: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 इंच सिलिकॉन, SiC, GaN, आणि नीलम

• ऑपरेटिंग तापमान: −20 °C ते 1100 °C सतत; अल्पकालीन शिखर अंदाजे 1200 °C

• प्राथमिक कार्ये: प्लाझ्मा एज बंदिस्त, गॅस-फ्लो मार्गदर्शन, काठ संरक्षण आणि चेंबर अलगाव

• मशीनिंग गुणवत्ता: मायक्रॉन-स्तरीय सहनशीलता, पॉलिश पृष्ठभाग, नियंत्रित कडा आणि स्वच्छ समाप्त

• संरचनेचे पर्याय: सपाट रिंग, स्टेप्ड इच रिंग, रिंग शोधणे/ठेवणे आणि सानुकूल भूमिती

• सानुकूलन: बाह्य/आतील व्यास, जाडी, पायरीची उंची, स्थान वैशिष्ट्ये, चेम्फर्स आणि प्रति रेखांकन इंटरफेस तपशील

4.VeTek उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज Etch रिंग का निवडा?

VeTek सेमीकंडक्टर एच आणि थर्मल टूल्ससाठी प्रोसेस-क्रिटिकल क्वार्ट्ज हार्डवेअर पुरवतो. एच रिंगसाठी, फोकस यावर आहे:

• सामग्रीची शुद्धता आणि पृष्ठभागाची स्वच्छता प्रगत कोरड्या कोरड्या वातावरणास अनुकूल आहे

• स्थिर प्लाझ्मा सीमा नियंत्रण आणि पुनरावृत्ती करण्यायोग्य चेंबर फिटला समर्थन देणारी आयामी अचूकता

• OEM-शैली बदलण्यासाठी आणि पूर्णपणे सानुकूल चेंबर इंटरफेससाठी डिझाइन लवचिकता

• एक संपूर्ण क्वार्ट्ज घटक श्रेणी ज्यामध्ये वेफर वाहक, भट्टीच्या नळ्या, बोटी आणि संबंधित प्रक्रिया भाग देखील समाविष्ट आहेत

उच्च शुद्धता, प्लाझ्मा टिकाऊपणा आणि घट्ट भूमिती नियंत्रण एकत्र करून, VeTek उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज इच रिंग्स संपूर्ण वेफर इच एकसमानता सुधारण्यास मदत करतात, काठाशी संबंधित दोष कमी करतात आणि ड्राय प्लाझ्मा इच टूल्समध्ये दीर्घ, अधिक स्थिर उत्पादन चक्रांना समर्थन देतात.