उद्योग बातम्या

MOCVD एपिटॅक्सी ग्रेफाइट ससेप्टर्सवर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगच्या कडा पिवळ्या आणि सोलण्याच्या कारणांचे सखोल विश्लेषण. VeTek ने प्रारंभिक CVD डिपॉझिशन रेट आणि फ्लो फील्ड तंतोतंत नियंत्रित करून, कोटिंगचे उत्पन्न 50% वरून 90% पर्यंत वाढवून आणि उच्च-शुद्धतेच्या ग्रेफाइट भागांचे सेवा आयुष्य वाढवून सूक्ष्म-तणाव दूर केले.

मल्टी-पॉकेट सिलिकॉन एपिटॅक्सी ग्रेफाइट ससेप्टर्समध्ये 1.4% पॉकेट-टू-पॉकेट जाडीच्या फरकाला संबोधित करताना, VeTek सेमीने ससेप्टर फ्लॅटनेस <0.08 मिमी पर्यंत सुधारित केले आणि CVD फ्लो फील्ड सिम्युलेशन आणि अल्ट्रा-प्रिसिजन सिम्युलेशनद्वारे 0.69% फरक कमी केला.

Vetek ने मोठ्या आकाराच्या MOCVD SiC-कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्समध्ये रेडियल क्रॅकिंग कसे दूर केले ते जाणून घ्या. स्ट्रक्चरल स्ट्रेस बफर रीडिझाइन आणि CTE मॅचिंगमुळे सेवा आयु 300%+ वाढली.